Sektör Haberleri

SIC seramik, son derece yüksek sertlik, ısı direnci ve kimyasal stabilite içeren silikon (SI) ve karbon (c) elemanlarının reaksiyonu ile üretilen bir seramik malzemedir.

Yarıiletken imalatının yüksek bahisli dünyasında, hassasiyet ve stabilite her şeydir-ve elektrostatik chuck (ESC) sadece bir tutma aracından çok daha fazlası, ESC, gravür, biriktirme ve iyon implantasyonu gibi kritik süreçler sırasında gofretleri güvenli bir şekilde kenetlemek için elektrostatik kuvvetleri kullanır. Ama aslında nasıl çalışıyor? Neden geleneksel mekanik kenetlemeden daha üstün? Ve nano ölçekli doğruluk ve verim verimliliği elde etmede nasıl bir rol oynuyor? Okumaya hoş geldiniz.

Elektrostatik aynanın Dechuck prensibi, iş akışının elementatik kuvvet eliminasyonu ve gofret salım mekanizmalarını içeren önemli bir parçasıdır.