Katı Silisyum Karbür

VeTek Yarı İletken Katı Silisyum Karbür, plazma aşındırma ekipmanında önemli bir seramik bileşendir, katı silisyum karbür(CVD silisyum karbür) aşındırma ekipmanındaki parçalar şunları içerir:odaklama halkaları, gaz duş başlığı, tepsi, kenar halkaları vb. Katı silisyum karbürün (CVD silisyum karbür) klor ve flor içeren aşındırma gazlarına karşı düşük reaktivitesi ve iletkenliği nedeniyle, plazma aşındırma ekipmanı odaklama halkaları ve diğerleri için ideal bir malzemedir. bileşenler.

Örneğin, odak halkası, halka içinden geçen plazmayı odaklamak için halkaya bir voltaj uygulanarak, levhanın dışına yerleştirilen ve levha ile doğrudan temas halinde olan önemli bir parçadır, böylece plazmanın levha üzerinde odaklanarak tekdüzeliği geliştirilir. işleme. Geleneksel odak halkası silikondan yapılmıştır veyakuvarsOrtak bir odak halkası malzemesi olarak iletken silikon, neredeyse silikon levhaların iletkenliğine yakındır, ancak flor içeren plazmada zayıf aşındırma direnci eksikliği vardır, aşındırma makinesi parçaları malzemeleri genellikle bir süre kullanılır, ciddi olacaktır Korozyon olgusu, üretim verimliliğini ciddi şekilde azaltır.

Solid SiC Odak HalkasıÇalışma Prensibi：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması:

Ve Tabanlı Odaklama Halkası ve CVD SiC Odaklama Halkasının Karşılaştırılması
Öğe	Ve	CVD SiC
Yoğunluk (g/cm³)	2.33	3.21
Bant aralığı (eV)	1.12	2.3
Isı iletkenliği (W/cm°)	1.5	5
CTE (x10^-6/°C)	2.6	4
Elastik modül (GPa)	150	440
Sertlik (GPa)	11.4	24.5
Aşınma ve korozyona karşı direnç	Fakir	Harika

VeTek Semiconductor, yarı iletken ekipmanlar için SiC odaklama halkaları gibi gelişmiş katı silisyum karbür (CVD silisyum karbür) parçalar sunar. Katı silikon karbür odaklama halkalarımız, mekanik mukavemet, kimyasal direnç, termal iletkenlik, yüksek sıcaklık dayanıklılığı ve iyon aşındırma direnci açısından geleneksel silikondan daha iyi performans gösterir.

VeC odaklama halkalarımızın temel özellikleri şunları içerir::

Azaltılmış aşındırma oranları için yüksek yoğunluk.

Yüksek bant aralığı ile mükemmel yalıtım.

Yüksek ısı iletkenliği ve düşük ısıl genleşme katsayısı.

Üstün mekanik darbe direnci ve esneklik.

Yüksek sertlik, aşınma direnci ve korozyon direnci.

Kullanılarak üretilmiştirplazmayla güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD)Teknikleri sayesinde SiC odaklama halkalarımız, yarı iletken üretiminde dağlama işlemlerinin artan taleplerini karşılamaktadır. Özellikle yüksek plazma gücüne ve enerjiye dayanacak şekilde tasarlanmıştır.kapasitif olarak eşleşmiş plazma (CCP)sistemler.

VeTek Semiconductor'ın SiC odaklama halkaları, yarı iletken cihaz üretiminde olağanüstü performans ve güvenilirlik sağlar. Üstün kalite ve verimlilik için SiC bileşenlerimizi seçin.

View as

Yüksek Saflıklı CVD SIC Hammadde

CVD tarafından hazırlanan yüksek saflıkta CVD SIC hammaddesi, fiziksel buhar taşıma ile silikon karbür kristal büyümesi için en iyi kaynak malzemedir. Vetek yarı iletken tarafından sağlanan yüksek saflıkta CVD SIC Hammaddesinin yoğunluğu, Si ve C içeren gazların spontan yanması ile oluşturulan küçük parçacıklardan daha yüksektir ve özel bir sinterleme fırını gerektirmez ve neredeyse sabit bir buharlaşma oranına sahiptir. Son derece yüksek kaliteli tek kristaller büyüyebilir. Sorgunuzu dört gözle bekliyorum.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Katı sic gofret taşıyıcı

Vetek Semiconductor'ın katı SIC gofret taşıyıcısı, yarı iletken epitaksiyal işlemlerde yüksek sıcaklık ve korozyona dayanıklı ortamlar için tasarlanmıştır ve yüksek saflık gereksinimlerine sahip her türlü gofret üretim süreçleri için uygundur. Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen bir gofret taşıyıcı tedarikçisidir ve yarı iletken endüstrisinde uzun vadeli partneriniz olmayı dört gözle bekliyor.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Katı SIC disk şeklindeki duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen bir yarı iletken ekipman üreticisi ve profesyonel bir üretici ve sağlam SIC disk şeklindeki duş başlığı tedarikçisidir. Disk şekilli duş kafamız, reaksiyon gazının eşit dağılımını sağlamak için CVD işlemi gibi ince film biriktirme üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır ve CVD fırınının temel bileşenlerinden biridir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Sic Sızdırmazlık Bölümü

Çin'de gelişmiş bir SIC Sızdırmazlık Sonrası Ürün Üreticisi ve Fabrikası olarak. Vetek Semiconducto Sic Sızdırmazlık kısmı, yarı iletken işlemede ve diğer aşırı yüksek sıcaklık ve yüksek basınç süreçlerinde yaygın olarak kullanılan yüksek performanslı bir sızdırmazlık bileşenidir. Daha fazla danışmanlığınıza hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silikon karbür duş başlığı

Silikon karbür duş başlığı mükemmel yüksek sıcaklık toleransı, kimyasal stabilite, termal iletkenlik ve iyi gaz dağılım performansına sahiptir, bu da düzgün gaz dağılımı elde edebilir ve film kalitesini artırabilir. Bu nedenle, genellikle kimyasal buhar birikimi (CVD) veya fiziksel buhar birikimi (PVD) işlemleri gibi yüksek sıcaklık işlemlerinde kullanılır. Vetek Semiconductor'a daha fazla danışmanlığınıza hoş geldiniz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silikon karbür mühür halkası

Çin'de profesyonel bir silikon karbür mühür halkası ürün üreticisi ve fabrikası olarak, Vetek yarı iletken silikon karbür conta halkası, mükemmel ısı direnci, korozyon direnci, mekanik mukavemeti ve termal iletkenliği nedeniyle yarı iletken işleme ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle CVD, PVD ve plazma aşınması gibi yüksek sıcaklık ve reaktif gazları içeren işlemler için uygundur ve yarı iletken üretim işleminde önemli bir malzeme seçimidir. Diğer sorularınız kabul edilir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Çin'de profesyonel bir Katı Silisyum Karbür üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Katı Silisyum Karbür satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Katı Silisyum Karbür

VeC odaklama halkalarımızın temel özellikleri şunları içerir::

Yüksek Saflıklı CVD SIC Hammadde

Katı sic gofret taşıyıcı

Katı SIC disk şeklindeki duş başlığı

Sic Sızdırmazlık Bölümü

Silikon karbür duş başlığı

Silikon karbür mühür halkası

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres