QR kod

Hakkımızda
Ürünler
Bize Ulaşın
Faks
+86-579-87223657
e-posta
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin
VeTek Semiconductor, yarı iletken işleme alanında yenilikçi ortağınızdır. Yarı iletken sınıfı Silisyum Karbür Seramik malzeme kombinasyonlarından oluşan geniş portföyümüz, bileşen üretim yeteneklerimiz ve uygulama mühendisliği hizmetlerimizle, önemli zorlukların üstesinden gelmenize yardımcı olabiliriz. Mühendislik tekniği Silisyum Karbür Seramikler, olağanüstü malzeme performanslarından dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. VeTek Semiconductor'ın ultra saf Silisyum Karbür Seramikleri, yarı iletken üretim ve işleme döngüsünün tamamında sıklıkla kullanılır.
VeTek Semiconductor, aşağıdakiler de dahil olmak üzere toplu difüzyon ve LPCVD gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış mühendislik seramik bileşenleri sağlar:
• Bölmeler ve tutucular
• Enjektörler
• Gömlekler ve proses tüpleri
• Silisyum Karbür Konsol Kürekler
• Gofret tekneleri ve kaideler
SiC Konsol Kürek
SiC Proses Tüpleri
Silisyum Karbür Proses Borusu
SiC dikey gofret teknesi
SiC yatay gofret teknesi
SiC yatay dörtlü gofret teknesi
SiC LPCVD gofret teknesi
SiC yatay plakalı tekne
SiC Seramik Conta Halkası
Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin:
Odak halkaları
Nozullar
Kalkanlar
Duş başlıkları
Pencereler / Kapaklar
Diğer özel bileşenler
VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisindeki yüksek sıcaklıktaki ısıl işlem uygulamaları için özel olarak tasarlanmış gelişmiş malzeme bileşenleri sağlar. Bu uygulamalar RTP, Epi işlemleri, difüzyon, oksidasyon ve tavlamayı kapsar. Teknik seramiklerimiz termal şoklara dayanacak, güvenilir ve tutarlı performans sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Yarı iletken üreticileri, VeTek Semiconductor bileşenleriyle verimli ve yüksek kaliteli termal işleme ulaşarak yarı iletken üretiminin genel başarısına katkıda bulunabilir.
• Difüzörler
• İzolatörler
• Şüpheliler
• Diğer özel termal bileşenler
Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri | |
Mülk | Tipik Değer |
Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam) |
SiC / SiC içeriği | > %99,96 |
Si / Serbest Si içeriği | < %0,1 |
Yığın yoğunluğu | 2,60-2,70 gr/cm3 |
Görünür gözeneklilik | < %16 |
Sıkıştırma gücü | > 600MPa |
Soğuk bükülme mukavemeti | 80-90 MPa (20°C) |
Sıcak bükülme mukavemeti | 90-100 MPa (1400°C) |
Termal genleşme @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Isı iletkenliği @1200°C | 23 W/m•K |
Elastik modül | 240 GPa |
Termal şok direnci | Son derece iyi |
+86-579-87223657
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin
Telif Hakkı © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd Tüm Hakları Saklıdır.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |