Silisyum Karbür Seramikler

VeTek Semiconductor, yarı iletken işleme alanında yenilikçi ortağınızdır. Yarı iletken sınıfı Silisyum Karbür Seramik malzeme kombinasyonlarından oluşan geniş portföyümüz, bileşen üretim yeteneklerimiz ve uygulama mühendisliği hizmetlerimizle, önemli zorlukların üstesinden gelmenize yardımcı olabiliriz. Mühendislik tekniği Silisyum Karbür Seramikler, olağanüstü malzeme performanslarından dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. VeTek Semiconductor'ın ultra saf Silisyum Karbür Seramikleri, yarı iletken üretim ve işleme döngüsünün tamamında sıklıkla kullanılır.

DİFÜZYON VE LPCVD İŞLEME

VeTek Semiconductor, aşağıdakiler de dahil olmak üzere toplu difüzyon ve LPCVD gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış mühendislik seramik bileşenleri sağlar:

• Bölmeler ve tutucular
• Enjektörler
• Gömlekler ve proses tüpleri
• Silisyum Karbür Konsol Kürekler
• Gofret tekneleri ve kaideler

SiC Konsol Kürek SiC Proses Tüpleri Silisyum Karbür Proses Borusu SiC dikey gofret teknesi SiC yatay gofret teknesi SiC yatay dörtlü gofret teknesi SiC LPCVD gofret teknesi SiC yatay plakalı tekne SiC Seramik Conta Halkası

AŞINDIRMA SÜRECİ BİLEŞENLERİ

Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin:

Odak halkaları

Nozullar

Kalkanlar

Duş başlıkları

Pencereler / Kapaklar

Diğer özel bileşenler

HIZLI ISIL İŞLEM VE EPİTAKSİYEL İŞLEM BİLEŞENLERİ

VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisindeki yüksek sıcaklıktaki ısıl işlem uygulamaları için özel olarak tasarlanmış gelişmiş malzeme bileşenleri sağlar. Bu uygulamalar RTP, Epi işlemleri, difüzyon, oksidasyon ve tavlamayı kapsar. Teknik seramiklerimiz termal şoklara dayanacak, güvenilir ve tutarlı performans sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Yarı iletken üreticileri, VeTek Semiconductor bileşenleriyle verimli ve yüksek kaliteli termal işleme ulaşarak yarı iletken üretiminin genel başarısına katkıda bulunabilir.

• Difüzörler

• İzolatörler

• Şüpheliler

• Diğer özel termal bileşenler

Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri
Mülk	Tipik Değer
Çalışma sıcaklığı (°C)	1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam)
SiC / SiC içeriği	> %99,96
Si / Serbest Si içeriği	< %0,1
Yığın yoğunluğu	2,60-2,70 gr/cm3
Görünür gözeneklilik	< %16
Sıkıştırma gücü	> 600MPa
Soğuk bükülme mukavemeti	80-90 MPa (20°C)
Sıcak bükülme mukavemeti	90-100 MPa (1400°C)
Termal genleşme @1500°C	4,70 10-6/°C
Isı iletkenliği @1200°C	23 W/m•K
Elastik modül	240 GPa
Termal şok direnci	Son derece iyi

7N Yüksek Saflıkta CVD SiC hammaddesi

Başlangıç kaynak malzemesinin kalitesi, SiC tek kristallerinin üretiminde levha verimini sınırlayan birincil faktördür. VETEK'in 7N Yüksek Saflıkta CVD SiC Bulk ürünü, özellikle Fiziksel Buhar Taşıma (PVT) için tasarlanmış, geleneksel tozlara yüksek yoğunluklu polikristal bir alternatif sunar. Toplu CVD formunu kullanarak yaygın büyüme kusurlarını ortadan kaldırıyoruz ve fırın verimini önemli ölçüde artırıyoruz. Soruşturmanızı sabırsızlıkla bekliyorum.

Silisyum Karbür Tohum Kristal Bağlama Vakumlu Sıcak Pres Fırını

SiC tohum bağlama teknolojisi, kristal büyümesini etkileyen anahtar süreçlerden biridir. VETEK, bu sürecin özelliklerine dayanarak tohum bağlama için özel bir vakumlu sıcak pres fırını geliştirmiştir. Fırın, tohum bağlama işlemi sırasında oluşan çeşitli kusurları etkili bir şekilde azaltabilir, böylece kristal külçenin verimini ve nihai kalitesini iyileştirebilir.

Silikon Kaset Tekne

Veteksemicon'un Silikon Kaset Teknesi, oksidasyon, difüzyon, içeri girme ve tavlama dahil olmak üzere yüksek sıcaklıktaki yarı iletken fırın uygulamaları için özel olarak geliştirilmiş hassas mühendislik ürünü bir levha taşıyıcıdır. Ultra yüksek saflıkta silikondan üretilmiş ve gelişmiş kirlilik kontrol standartlarına göre işlenmiş olup, silikon levhaların özelliklerine çok yakın olan, termal olarak stabil, kimyasal olarak inert bir platform sağlar. Bu hizalama termal stresi en aza indirir, kayma ve kusur oluşumunu azaltır ve parti boyunca olağanüstü derecede eşit ısı dağılımı sağlar

Gofret İşleme için silisyum karbür Konsol Kürek

Veteksemicon'un Silisyum Karbür Konsol Paddle'ı, yarı iletken üretiminde gelişmiş levha işleme için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta SiC'den yapılmış olup olağanüstü termal stabilite, üstün mekanik mukavemet ve yüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı ortamlara karşı mükemmel direnç sağlar. Bu özellikler, MOCVD, epitaksi ve difüzyon gibi işlemlerde hassas levha işleme, daha uzun hizmet ömrü ve güvenilir performans sağlar. Danışmaya hoş geldiniz.

Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür (sic) robotik kolumuz, gelişmiş yarı iletken üretiminde yüksek performanslı gofret kullanımı için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta silikon karbürden yapılmış bu robotik kol, yüksek sıcaklıklara, plazma korozyonuna ve kimyasal saldırıya karşı olağanüstü bir direnç sunar ve talepkar temiz oda ortamlarında güvenilir bir çalışma sağlar. Olağanüstü mekanik mukavemeti ve boyutsal stabilitesi, kontaminasyon risklerini en aza indirirken hassas gofret taşımasını mümkün kılar, bu da MOCVD, epitaksi, iyon implantasyonu ve diğer kritik gofret taşıma uygulamaları için ideal bir seçim haline getirir. Sorularınızı memnuniyetle karşılıyoruz.

Silikon karbür sic gofret teknesi

Veteksemicon sic gofret tekneleri, yarı iletken üretiminde kritik yüksek sıcaklık süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır, silikon bazlı entegre devreler için oksidasyon, difüzyon ve tavlama süreçleri için güvenilir taşıyıcılar olarak hizmet vermektedir. Ayrıca, sic ve gan güç cihazları için epitaksiyal büyüme (EPI) ve metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) gibi zorlu süreçler için mükemmel bir şekilde uygun olan üçüncü nesil yarı iletken sektöründe mükemmeldir. Ayrıca fotovoltaik endüstrideki yüksek verimli güneş pillerinin yüksek sıcaklık üretimini desteklerler. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua Şehri, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık