Ürünler

Silisyum Karbür Seramikler

VeTek Semiconductor, yarı iletken işleme alanında yenilikçi ortağınızdır. Yarı iletken sınıfı Silisyum Karbür Seramik malzeme kombinasyonlarından oluşan geniş portföyümüz, bileşen üretim yeteneklerimiz ve uygulama mühendisliği hizmetlerimizle, önemli zorlukların üstesinden gelmenize yardımcı olabiliriz. Mühendislik tekniği Silisyum Karbür Seramikler, olağanüstü malzeme performanslarından dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. VeTek Semiconductor'ın ultra saf Silisyum Karbür Seramikleri, yarı iletken üretim ve işleme döngüsünün tamamında sıklıkla kullanılır.


DİFÜZYON VE LPCVD İŞLEME

VeTek Semiconductor, aşağıdakiler de dahil olmak üzere toplu difüzyon ve LPCVD gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış mühendislik seramik bileşenleri sağlar:

• Bölmeler ve tutucular
• Enjektörler
• Gömlekler ve proses tüpleri
• Silisyum Karbür Konsol Kürekler
• Gofret tekneleri ve kaideler


AŞINDIRMA SÜRECİ BİLEŞENLERİ

Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin:

Odak halkaları

Nozullar

Kalkanlar

Duş başlıkları

Pencereler / Kapaklar

Diğer özel bileşenler


HIZLI ISIL İŞLEM VE EPİTAKSİYEL İŞLEM BİLEŞENLERİ

VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisindeki yüksek sıcaklıktaki ısıl işlem uygulamaları için özel olarak tasarlanmış gelişmiş malzeme bileşenleri sağlar. Bu uygulamalar RTP, Epi işlemleri, difüzyon, oksidasyon ve tavlamayı kapsar. Teknik seramiklerimiz termal şoklara dayanacak, güvenilir ve tutarlı performans sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Yarı iletken üreticileri, VeTek Semiconductor bileşenleriyle verimli ve yüksek kaliteli termal işleme ulaşarak yarı iletken üretiminin genel başarısına katkıda bulunabilir.

• Difüzörler

• İzolatörler

• Şüpheliler

• Diğer özel termal bileşenler


Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri
Mülk Tipik Değer
Çalışma sıcaklığı (°C) 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam)
SiC / SiC içeriği > %99,96
Si / Serbest Si içeriği < %0,1
Yığın yoğunluğu 2,60-2,70 gr/cm3
Görünür gözeneklilik < %16
Sıkıştırma gücü > 600MPa
Soğuk bükülme mukavemeti 80-90 MPa (20°C)
Sıcak bükülme mukavemeti 90-100 MPa (1400°C)
Termal genleşme @1500°C 4,70 10-6/°C
Isı iletkenliği @1200°C 23  W/m•K
Elastik modül 240 GPa
Termal şok direnci Son derece iyi


View as  
 
Sic konsol kürekleri

Sic konsol kürekleri

Veteksemicon Sic konsol kürekleri, yatay difüzyon fırınlarında ve epitaksiyal reaktörlerde gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek saflıkta silikon karbür destek kollarıdır. Olağanüstü termal iletkenlik, korozyon direnci ve mekanik mukavemetle, bu kürekler talep eden yarı iletken ortamlarda stabilite ve temizlik sağlar. Özel boyutlarda mevcuttur ve uzun hizmet ömrü için optimize edilmiştir.
SIC bloğu

SIC bloğu

Veteksemicon’un SIC bloğu, silikon ve safir gofretlerin yüksek verimli taşlaması ve incelmesi için tasarlanmıştır. Mükemmel termal iletkenlik (≥120 w/m · k), yüksek termal şok direnci ve üstün aşınma direnci (MOHS ≥9) ile bloklarımız süreç stabilitesini iyileştirir ve takım değişikliği frekansını azaltır. 120mm ila 480mm arası boyutlarda, özelleştirilmiş seçenekler ve çeşitli üretim ihtiyaçlarını karşılamak için hızlı teslimat ile mevcuttur.
SIC seramik membranı

SIC seramik membranı

Veteksemicon SIC seramik membranları bir tür inorganik membrandır ve membran ayırma teknolojisinde katı membran malzemelerine aittir. SIC membranları 2000 ℃ üzerindeki bir sıcaklıkta ateşlenir. Parçacıkların yüzeyi pürüzsüz ve yuvarlaktır. Destek katmanında ve her katmanda kapalı gözenekler veya kanallar yoktur. Genellikle farklı gözenek boyutlarına sahip üç katmandan oluşurlar.
Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli SIC seramik plakalarımız, ana bileşen olarak silikon karbürden yapılmış ve özel işlemlerle işlenen gözenekli seramik malzemelerdir. Yarıiletken üretiminde, kimyasal buhar birikimi (CVD) ve diğer işlemlerde vazgeçilmez malzemelerdir.
SIC seramik gofret teknesi

SIC seramik gofret teknesi

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen bir SIC seramik gofret tekne tedarikçisi, üretici ve fabrika. SIC seramik gofret teknemiz, fotovoltaik, elektronik ve yarı iletken endüstrilere hitap eden gelişmiş gofret taşıma süreçlerinde hayati bir bileşendir. Danışmanızı dört gözle bekliyorum.
Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesi

Silisyum Karbür Seramik Gofret Teknesi

Vetek Semiconductor, çeşitli yarı iletken işlem gereksinimlerini karşılamak için dikey/sütun ve yatay konfigürasyonlarda yüksek kaliteli gofret tekneleri, kaideler ve özel gofret taşıyıcılarının sağlanması konusunda uzmanlaşmıştır. Silikon karbür kaplama filmlerinin önde gelen üreticisi ve tedarikçisi olarak, silikon karbür seramik gofret teknemiz, Avrupa ve Amerikan pazarları tarafından yüksek maliyet etkinliği ve mükemmel kalitesi için tercih edilmektedir ve ileri yarı iletken üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Vetek Semiconductor, küresel müşterilerle uzun ve istikrarlı işbirlikçi ilişkiler kurmaya kararlıdır ve özellikle Çin'deki güvenilir yarı iletken süreç ortağınız olmayı umuyor.
Çin'de profesyonel bir Silisyum Karbür Seramikler üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Silisyum Karbür Seramikler satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept