Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Ürünler

Silisyum Karbür Seramikler

VeTek Semiconductor, yarı iletken işleme alanında yenilikçi ortağınızdır. Yarı iletken sınıfı Silisyum Karbür Seramik malzeme kombinasyonlarından oluşan geniş portföyümüz, bileşen üretim yeteneklerimiz ve uygulama mühendisliği hizmetlerimizle, önemli zorlukların üstesinden gelmenize yardımcı olabiliriz. Mühendislik tekniği Silisyum Karbür Seramikler, olağanüstü malzeme performanslarından dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. VeTek Semiconductor'ın ultra saf Silisyum Karbür Seramikleri, yarı iletken üretim ve işleme döngüsünün tamamında sıklıkla kullanılır.


DİFÜZYON VE LPCVD İŞLEME

VeTek Semiconductor, aşağıdakiler de dahil olmak üzere toplu difüzyon ve LPCVD gereksinimleri için özel olarak tasarlanmış mühendislik seramik bileşenleri sağlar:

• Bölmeler ve tutucular
• Enjektörler
• Gömlekler ve proses tüpleri
• Silisyum Karbür Konsol Kürekler
• Gofret tekneleri ve kaideler


AŞINDIRMA SÜRECİ BİLEŞENLERİ

Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, plazma aşındırma işleminin zorlukları için tasarlanmış yüksek saflıkta bileşenlerle kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirin:

Odak halkaları

Nozullar

Kalkanlar

Duş başlıkları

Pencereler / Kapaklar

Diğer özel bileşenler


HIZLI ISIL İŞLEM VE EPİTAKSİYEL İŞLEM BİLEŞENLERİ

VeTek Semiconductor, yarı iletken endüstrisindeki yüksek sıcaklıktaki ısıl işlem uygulamaları için özel olarak tasarlanmış gelişmiş malzeme bileşenleri sağlar. Bu uygulamalar RTP, Epi işlemleri, difüzyon, oksidasyon ve tavlamayı kapsar. Teknik seramiklerimiz termal şoklara dayanacak, güvenilir ve tutarlı performans sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Yarı iletken üreticileri, VeTek Semiconductor bileşenleriyle verimli ve yüksek kaliteli termal işleme ulaşarak yarı iletken üretiminin genel başarısına katkıda bulunabilir.

• Difüzörler

• İzolatörler

• Şüpheliler

• Diğer özel termal bileşenler


Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri
Mülk Tipik Değer
Çalışma sıcaklığı (°C) 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam)
SiC / SiC içeriği > %99,96
Si / Serbest Si içeriği < %0,1
Yığın yoğunluğu 2,60-2,70 gr/cm3
Görünür gözeneklilik < %16
Sıkıştırma gücü > 600MPa
Soğuk bükülme mukavemeti 80-90 MPa (20°C)
Sıcak bükülme mukavemeti 90-100 MPa (1400°C)
Termal genleşme @1500°C 4,70 10-6/°C
Isı iletkenliği @1200°C 23  W/m•K
Elastik modül 240 GPa
Termal şok direnci Son derece iyi


View as  
 
Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür (sic) robotik kolumuz, gelişmiş yarı iletken üretiminde yüksek performanslı gofret kullanımı için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta silikon karbürden yapılmış bu robotik kol, yüksek sıcaklıklara, plazma korozyonuna ve kimyasal saldırıya karşı olağanüstü bir direnç sunar ve talepkar temiz oda ortamlarında güvenilir bir çalışma sağlar. Olağanüstü mekanik mukavemeti ve boyutsal stabilitesi, kontaminasyon risklerini en aza indirirken hassas gofret taşımasını mümkün kılar, bu da MOCVD, epitaksi, iyon implantasyonu ve diğer kritik gofret taşıma uygulamaları için ideal bir seçim haline getirir. Sorularınızı memnuniyetle karşılıyoruz.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Silikon karbür sic gofret teknesi

Silikon karbür sic gofret teknesi

Veteksemicon sic gofret tekneleri, yarı iletken üretiminde kritik yüksek sıcaklık süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır, silikon bazlı entegre devreler için oksidasyon, difüzyon ve tavlama süreçleri için güvenilir taşıyıcılar olarak hizmet vermektedir. Ayrıca, sic ve gan güç cihazları için epitaksiyal büyüme (EPI) ve metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) gibi zorlu süreçler için mükemmel bir şekilde uygun olan üçüncü nesil yarı iletken sektöründe mükemmeldir. Ayrıca fotovoltaik endüstrideki yüksek verimli güneş pillerinin yüksek sıcaklık üretimini desteklerler. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Sic konsol kürekleri

Sic konsol kürekleri

Veteksemicon Sic konsol kürekleri, yatay difüzyon fırınlarında ve epitaksiyal reaktörlerde gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek saflıkta silikon karbür destek kollarıdır. Olağanüstü termal iletkenlik, korozyon direnci ve mekanik mukavemetle, bu kürekler talep eden yarı iletken ortamlarda stabilite ve temizlik sağlar. Özel boyutlarda mevcuttur ve uzun hizmet ömrü için optimize edilmiştir.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
SIC bloğu

SIC bloğu

Veteksemicon’un SIC bloğu, silikon ve safir gofretlerin yüksek verimli taşlaması ve incelmesi için tasarlanmıştır. Mükemmel termal iletkenlik (≥120 w/m · k), yüksek termal şok direnci ve üstün aşınma direnci (MOHS ≥9) ile bloklarımız süreç stabilitesini iyileştirir ve takım değişikliği frekansını azaltır. 120mm ila 480mm arası boyutlarda, özelleştirilmiş seçenekler ve çeşitli üretim ihtiyaçlarını karşılamak için hızlı teslimat ile mevcuttur.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
SIC seramik membranı

SIC seramik membranı

Veteksemicon SIC seramik membranları bir tür inorganik membrandır ve membran ayırma teknolojisinde katı membran malzemelerine aittir. SIC membranları 2000 ℃ üzerindeki bir sıcaklıkta ateşlenir. Parçacıkların yüzeyi pürüzsüz ve yuvarlaktır. Destek katmanında ve her katmanda kapalı gözenekler veya kanallar yoktur. Genellikle farklı gözenek boyutlarına sahip üç katmandan oluşurlar.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli SIC seramik plakalarımız, ana bileşen olarak silikon karbürden yapılmış ve özel işlemlerle işlenen gözenekli seramik malzemelerdir. Yarıiletken üretiminde, kimyasal buhar birikimi (CVD) ve diğer işlemlerde vazgeçilmez malzemelerdir.
Daha fazla göster >> Talep Gönder >>
Çin'de profesyonel bir Silisyum Karbür Seramikler üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Silisyum Karbür Seramikler satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
Haber Önerileri
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8 inç SIC yongaları Aralık ayında üretime sokulması bekleniyor!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8 inç SIC yongaları Aralık ayında üretime sokulması bekleniyor!Daha fazla göster >>
Yarıiletken işlemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)
Yarıiletken işlemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)Daha fazla göster >>
Fiziksel buhar biriktirme kaplamasının ilkeleri ve teknolojisi (1/2) - Vetek Yarıiletken
Fiziksel buhar biriktirme kaplamasının ilkeleri ve teknolojisi (1/2) - Vetek YarıiletkenDaha fazla göster >>
Can izotropik grafit, yüksek sıcaklık fırınlarında aşırı ısıya dayanır
Can izotropik grafit, yüksek sıcaklık fırınlarında aşırı ısıya dayanırDaha fazla göster >>
Aşındırma İşlemindeki Sorunlar
Aşındırma İşlemindeki SorunlarDaha fazla göster >>
8 inçlik silikon karbür tek kristal büyüme fırını teknolojisine dayanmaktadır
8 inçlik silikon karbür tek kristal büyüme fırını teknolojisine dayanmaktadırDaha fazla göster >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept