Oksidasyon ve difüzyon fırını

Oksidasyon ve difüzyon fırınları, yarı iletken cihazlar, ayrık cihazlar, optoelektronik cihazlar, güç elektronik cihazlar, güneş pilleri ve büyük ölçekli entegre devre üretimi gibi çeşitli alanlarda kullanılır. Difüzyon, oksidasyon, tavlama, alaşım ve gofretlerin sinterlenmesi gibi işlemler için kullanılırlar.

Vetek Semiconductor, oksidasyon ve difüzyon fırınlarında yüksek saflıkta grafit, silikon karbür ve kuvars bileşenlerinin üretiminde uzmanlaşmış önde gelen bir üreticidir. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstriler için yüksek kaliteli fırın bileşenleri sağlamayı taahhüt ediyoruz ve CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbon, vb.

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

● Yüksek sıcaklık direnci (1600'e kadar ℃)

● Mükemmel termal iletkenlik ve termal stabilite

● İyi kimyasal korozyon direnci

● Termal genişleme katsayısı düşük

● Yüksek güç ve sertlik

● Uzun hizmet ömrü

Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gazların varlığı nedeniyle, birçok bileşen, silikon karbürün (sic) yaygın olarak kullanılan bir seçim olduğu yüksek sıcaklık ve korozyona dirençli malzemelerin kullanılmasını gerektirir. Aşağıda oksidasyon fırınlarında ve difüzyon fırınlarında bulunan yaygın silikon karbür bileşenleri:

● gofret teknesi

Silikon karbür gofret teknesi, yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve silikon gofretlerle tepki vermeyecek silikon gofret taşımak için kullanılan bir kaptır.

● Fırın tüpü

Fırın tüpü, silikon gofretleri barındırmak ve reaksiyon ortamını kontrol etmek için kullanılan difüzyon fırının çekirdek bileşenidir. Silikon karbür fırın tüpleri mükemmel yüksek sıcaklık ve korozyon direnci performansına sahiptir.

● Dövme plakası

Fırın içindeki hava akışını ve sıcaklık dağılımını düzenlemek için kullanılır

● Termokupl koruma tüpü

Sıcaklık ölçüm termokupllarını aşındırıcı gazlarla doğrudan temastan korumak için kullanılır.

● Konsol kürek

Silikon karbür konsol kürekleri yüksek sıcaklık ve korozyona dayanıklıdır ve silikon gofret taşıyan silikon tekneleri veya kuvars tekneleri difüzyon fırın tüplerine taşımak için kullanılır.

● Gaz enjektörü

Fırına reaksiyon gazı eklemek için kullanılır, yüksek sıcaklık ve korozyona karşı dirençli olmalıdır.

● Tekne taşıyıcısı

Silikon karbür gofret tekne taşıyıcısı, yüksek mukavemet, korozyon direnci ve iyi yapısal stabilite gibi avantajlara sahip silikon gofretleri düzeltmek ve desteklemek için kullanılır.

● Fırın kapısı

Silikon karbür kaplamalar veya bileşenler fırın kapısının içinde de kullanılabilir.

● Isıtma elemanı

Silikon karbür ısıtma elemanları yüksek sıcaklıklar, yüksek güç için uygundur ve sıcaklıkları hızlı bir şekilde 1000 ℃'ye yükseltebilir.

● sic astar

Fırın tüplerinin iç duvarını korumak için kullanılır, ısı enerjisi kaybını azaltmaya yardımcı olabilir ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınç gibi sert ortamlara dayanabilir.

View as

Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür (sic) robotik kolumuz, gelişmiş yarı iletken üretiminde yüksek performanslı gofret kullanımı için tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta silikon karbürden yapılmış bu robotik kol, yüksek sıcaklıklara, plazma korozyonuna ve kimyasal saldırıya karşı olağanüstü bir direnç sunar ve talepkar temiz oda ortamlarında güvenilir bir çalışma sağlar. Olağanüstü mekanik mukavemeti ve boyutsal stabilitesi, kontaminasyon risklerini en aza indirirken hassas gofret taşımasını mümkün kılar, bu da MOCVD, epitaksi, iyon implantasyonu ve diğer kritik gofret taşıma uygulamaları için ideal bir seçim haline getirir. Sorularınızı memnuniyetle karşılıyoruz.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Silikon karbür sic gofret teknesi

Veteksemicon sic gofret tekneleri, yarı iletken üretiminde kritik yüksek sıcaklık süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır, silikon bazlı entegre devreler için oksidasyon, difüzyon ve tavlama süreçleri için güvenilir taşıyıcılar olarak hizmet vermektedir. Ayrıca, sic ve gan güç cihazları için epitaksiyal büyüme (EPI) ve metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) gibi zorlu süreçler için mükemmel bir şekilde uygun olan üçüncü nesil yarı iletken sektöründe mükemmeldir. Ayrıca fotovoltaik endüstrideki yüksek verimli güneş pillerinin yüksek sıcaklık üretimini desteklerler. Daha fazla danışmanlığınızı dört gözle bekliyorum.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Sic konsol kürekleri

Veteksemicon Sic konsol kürekleri, yatay difüzyon fırınlarında ve epitaksiyal reaktörlerde gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek saflıkta silikon karbür destek kollarıdır. Olağanüstü termal iletkenlik, korozyon direnci ve mekanik mukavemetle, bu kürekler talep eden yarı iletken ortamlarda stabilite ve temizlik sağlar. Özel boyutlarda mevcuttur ve uzun hizmet ömrü için optimize edilmiştir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

SIC seramik membranı

Veteksemicon SIC seramik membranları bir tür inorganik membrandır ve membran ayırma teknolojisinde katı membran malzemelerine aittir. SIC membranları 2000 ℃ üzerindeki bir sıcaklıkta ateşlenir. Parçacıkların yüzeyi pürüzsüz ve yuvarlaktır. Destek katmanında ve her katmanda kapalı gözenekler veya kanallar yoktur. Genellikle farklı gözenek boyutlarına sahip üç katmandan oluşurlar.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli SIC seramik plakalarımız, ana bileşen olarak silikon karbürden yapılmış ve özel işlemlerle işlenen gözenekli seramik malzemelerdir. Yarıiletken üretiminde, kimyasal buhar birikimi (CVD) ve diğer işlemlerde vazgeçilmez malzemelerdir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

SIC seramik gofret teknesi

Vetek Semiconductor, Çin'de önde gelen bir SIC seramik gofret tekne tedarikçisi, üretici ve fabrika. SIC seramik gofret teknemiz, fotovoltaik, elektronik ve yarı iletken endüstrilere hitap eden gelişmiş gofret taşıma süreçlerinde hayati bir bileşendir. Danışmanızı dört gözle bekliyorum.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çin'de profesyonel bir Oksidasyon ve difüzyon fırını üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Oksidasyon ve difüzyon fırını satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Oksidasyon ve difüzyon fırını

Vetek Yarıiletken Silikon Karbür Bileşenlerinin Avantajları:

Silikon karbür robot kolu

Silikon karbür sic gofret teknesi

Sic konsol kürekleri

SIC seramik membranı

Gözenekli sic seramik plaka

SIC seramik gofret teknesi

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres