VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.
Ana ürünler TaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, CVD TaC kaplı üç yapraklı kılavuz halkası, Tantal Karbür TaC Kaplamalı Yarım Ay, CVD TaC kaplama planet SiC epitaksiyel suseptör, Tantal Karbür Kaplama Halkası, Tantal Karbür Kaplı Gözenekli Grafit, TaC Kaplama Dönme Tutucusu, Tantal Karbür Halkası, TaC Kaplama Dönme Plakası, TaC kaplı gofret tutucusu, TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, CVD TaC Kaplama Kapağı, TaC Kaplamalı Ayna vb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.
TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:
Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi işlemi gibi daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aynı zamanda PVT yöntemi SiC kristal büyütme işleminde de geniş bir uygulamaya sahiptir.
Temel Özellikler
● Termal şoka karşı mükemmel dirençle birlikte 2500°C'ye kadar sıcaklık stabilitesi.
● Minimum partikül oluşumu için ultra yüksek saflık (<5ppm) ve grafite güçlü yapışma.
● Zorlu proses ortamlarında H₂, NH₃, SiH₄ ve Si buharlarına karşı üstün direnç.
● 750 mm çapa kadar boyut kapasitesiyle uyumlu kaplama kapsamı, Çin'de benzersiz bir şekilde mevcuttur.
Ürün Özellikleri
VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplamanın Parametresi:
| TaC kaplamanın fiziksel özellikleri |
| Yoğunluk |
14,3 g/cm³ |
| Sertlik |
2000 Hong Kong |
| Termal genleşme |
6,3×10⁻⁶/K |
| Rezistans |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Termal stabilite |
<2500°C |
| Kaplama kalınlığı |
≥20μm (tipik 35±10μm) |
Mikroskobik bir kesit üzerinde karbür (TaC) kaplama:
TaC kaplama EDX verileri:
TaC kaplama kristal yapı verileri:
| Öğe |
Atom yüzdesi |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Ortalama |
| CK |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Uygulamalar
Yarı iletken proseslerin farklı ihtiyaçlarını karşılamak için VeTek, hedefe yönelik Tantal Karbür Kaplama ürünleri sunmaktadır. Aşağıdaki tablo bunları ana uygulama alanlarına göre sınıflandırır, tipik bileşenleri ve uygulanabilir süreçleri listeler:
| Uygulama Alanı |
Tipik Ürünler |
Uygulama Açıklaması |
| SiC Epitaksi |
CVD TaC kaplı planeter suseptör,TaC kaplı gofret tutucu,TaC kaplı kılavuz halkası
|
Yüksek sıcaklıktaki SiC epitaksiyel prosesler (örn. LPE yöntemi) için uygundur, film homojenliğini sağlamak için yüksek termal stabilite ve düşük kirlilik içeren bir arayüz sağlar. |
| GaN / LED Epitaksi (MOCVD) |
Duş başlığı, uydu diski, maskeleme halkası, ısı kalkanı, enjeksiyon başlığı |
Aixtron MOCVD sistemleri için uygundur, H₂/NH₃ korozyonuna dayanıklıdır, partikül kirliliğini azaltır ve LED epitaksiyel verimini artırır. |
| SiC Kristal Büyümesi (PVT Yöntemi) |
TaC kaplı gözenekli grafit,TaC kaplı yarım ay,kılavuz halkası,kapak,ayna
|
PVT SiC külçe büyütmede kullanılır, 2500°C'ye kadar dayanır, grafit reaksiyonlarını önler ve kristal saflığını sağlar. |
| Yüksek Sıcaklık Isıtma ve Destek Bileşenleri |
Endüktif ısıtma tutucusu,dirençli ısıtma elemanı, gofret taşıyıcı
|
İndüksiyonlu veya dirençli ısıtma sistemleri için uygundur, yüksek sertlik ve termal şok direnci sunar, bileşen ömrünü 3-5 kat uzatır. |
Daha ayrıntılı süreç eşleştirme çözümleri için lütfen şuraya bakın:Silisyum Karbür Epitaksiİlgili uygulama sayfası.
Müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilmiş hizmetleri destekliyoruz. ISO9001'i iyi kalite kontrolüyle geçti.
Daha fazla danışma için bizimle iletişime geçebilir veya mesaj bırakabilirsiniz.
