VeTek yarı iletken, yarı iletken endüstrisine yönelik Tantal Karbür Kaplama malzemelerinin lider üreticisidir. Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD tantal karbür kaplama parçaları, SiC kristal büyütme için sinterlenmiş TaC kaplama parçaları veya yarı iletken epitaksi işlemi yer alır. ISO9001'i geçen VeTek Semiconductor, kalite konusunda iyi bir kontrole sahiptir. VeTek Semiconductor, sürekli olarak tekrarlanan teknolojilerin araştırılması ve geliştirilmesi yoluyla Tantal Karbür Kaplama endüstrisinde yenilikçi olmaya kendini adamıştır.
Ana ürünlerTaC Kaplamalı Kılavuz Halkası, CVD TaC kaplı üç yapraklı kılavuz halkası, Tantal Karbür TaC Kaplamalı Yarım Ay, CVD TaC kaplama planeter SiC epitaksiyel suseptör, Tantal Karbür Kaplama Halkası, Tantal Karbür Kaplı Gözenekli Grafit, TaC Kaplama Rotasyon Tutucusu, Tantal Karbür Yüzük, TaC Kaplama Döndürme Plakası, TaC kaplı gofret tutucu, TaC Kaplamalı Deflektör Halkası, CVD TaC Kaplama Kapağı, TaC Kaplamalı Aynavb., saflık 5 ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.
TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt katmanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur. Avantajı aşağıdaki resimde gösterilmektedir:
Tantal karbür (TaC) kaplama, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemeti, sertliği ve termal şoklara karşı direnci nedeniyle dikkat çekmiş olup, bu da onu daha yüksek sıcaklık gereksinimleri olan bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerine çekici bir alternatif haline getirmektedir. Aixtron MOCVD sistemi ve LPE SiC epitaksi prosesi gibi. Ayrıca PVT metodu SiC kristal büyütme prosesinde de geniş bir uygulamaya sahiptir.
Temel Özellikler:
●Sıcaklık kararlılığı
●Ultra yüksek saflık
●H2, NH3, SiH4,Si'ye karşı direnç
●Termal stoğa karşı direnç
●Grafitte güçlü yapışma
●Uyumlu kaplama kapsamı
● 750 mm çapa kadar boyut(Çin'de bu boyuta ulaşan tek üretici)
Uygulamalar:
●Gofret taşıyıcı
● Endüktif ısıtma tutucusu
● Dirençli ısıtma elemanı
●Uydu diski
●Duş başlığı
●Kılavuz halkası
●LED Epi alıcısı
●Enjeksiyon memesi
●Maskeleme halkası
● Isı kalkanı
Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TaC) kaplama:
VeTek Yarı İletken Tantal Karbür Kaplama Parametresi:
|
TaC kaplamanın fiziksel özellikleri
|
|
Yoğunluk
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Spesifik emisyon
|
0.3
|
|
Termal genleşme katsayısı
|
6.3 10-6/K
|
|
Sertlik (HK)
|
2000 Hong Kong
|
|
Rezistans
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Termal stabilite
|
<2500°C
|
|
Grafit boyutu değişiklikleri
|
-10~-20um
|
|
Kaplama kalınlığı
|
≥20um tipik değer (35um±10um)
|
TaC kaplama EDX verileri：
TaC kaplama kristal yapı verileri:
|
Öğe
|
Atom yüzdesi
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Ortalama
|
|
CK
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Onlara
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
