Gözenekli grafit

SIC substrat üreticileri, sıcak saha işlemi için genellikle gözenekli bir grafit silindiri olan bir pota tasarımını kullanır. Bu tasarım buharlaşma alanını ve şarj hacmini arttırır. Kristal kusurları ele almak, kütle transferini stabilize etmek ve SIC kristal kalitesini arttırmak için yeni bir süreç geliştirilmiştir. Termal genleşme ve stres giderme için çekirdeksiz bir kristal tepsi fiksasyon yöntemi içerir. Bununla birlikte, sınırlı pazara hükmü grafit ve gözenekli grafit arzı, SIC tek kristallerinin kalitesine ve verimine zorluklar doğurur.

Vetek Yarıiletken Gözenekli Grafitin Temel Özellikleri:

1. Kısa Sıcaklık Çevre Toleransı - Ürün, 2500 santigrat derece çevresine dayanarak mükemmel ısı direnci gösterebilir.

2. Gözeneklilik Kontrolü - Vetek Yarıiletken, tutarlı performans sağlayarak sıkı gözeneklilik kontrolünü korur.

3.ultra -yüksek saflık - kullanılan gözenekli grafit malzeme, titiz saflaştırma işlemleri yoluyla yüksek bir saflık seviyesine ulaşır.

4. Ürünlü Yüzey Parçacık Bağlanma Kapasitesi - Vetek Yarıiletken mükemmel yüzey partikül bağlanma kapasitesine ve toz yapışmasına karşı dirence sahiptir.

5. GAS taşınması, difüzyonu ve tekdüzeliği - Grafitin gözenekli yapısı, verimli gaz taşımasını ve difüzyonunu kolaylaştırır, bu da gazların ve partiküllerin homojenliğine neden olur.

6. Kalite Kontrol ve Kararlılık - Vetek Yarıiletken, kristal büyümesinde kaliteyi sağlamak için yüksek saflık, düşük safsızlık içeriğini ve kimyasal stabiliteyi vurgular.

7. sıcaklık kontrolü ve tekdüzeliği - Gözenekli grafitin termal iletkenliği, homojen sıcaklık dağılımını sağlar, büyüme sırasında stresi ve kusurları azaltır.

8. Denemeli çözünen difüzyon ve büyüme hızı - Gözenekli yapı, kristallerin büyüme hızını ve homojenliğini arttırarak çözünen dağılımını bile teşvik eder.