Silikon karbür epitaksi

Yüksek kaliteli silikon karbür epitaksisinin hazırlanması ileri teknoloji ve ekipman ve ekipman aksesuarlarına bağlıdır. Şu anda, en yaygın kullanılan silikon karbür epitaksi büyüme yöntemi kimyasal buhar birikimidir (CVD). Epitaksiyal film kalınlığı ve doping konsantrasyonu, daha az kusur, orta büyüme oranı, otomatik süreç kontrolü vb.

Silikon karbür CVD epitaksi genellikle yüksek büyüme sıcaklığı koşulları altında (1500 ~ 1700 ℃) epitaksi tabakası 4H kristal siC'nin devam etmesini sağlayan sıcak duvar veya sıcak duvar CVD ekipmanını benimser, inil hava akış yönü ve reaksiyon yüzeyi, reaksiyon yüzeyi, reaksiyon yüzeyi, reaksiyon yüzeyi, reaksiyon yapımı arasında bölünebilir.

SIC epitaksiyal fırının kalitesi için üç ana gösterge vardır, ilki kalınlık, doping homojenliği, kusur oranı ve büyüme oranı dahil olmak üzere epitaksiyal büyüme performansıdır; İkincisi, ısıtma/soğutma hızı, maksimum sıcaklık, sıcaklık homojenliği dahil olmak üzere ekipmanın kendisinin sıcaklık performansıdır; Son olarak, tek bir birimin fiyatı ve kapasitesi de dahil olmak üzere ekipmanın kendisinin maliyet performansı.

Üç çeşit silikon karbür epitaksiyal büyüme fırını ve çekirdek aksesuar farklılıkları

Sıcak duvar yatay CVD (LPE Company'nin tipik model PE1O6), sıcak duvar gezegensel CVD'si (tipik model Aixtron G5WWC/G10) ve Nuflare Company'nin epirevos6'sı tarafından temsil edilir), bu sahnede ticari uygulamalarda gerçekleştirilen ana epitaksiyal ekipman teknik çözümleridir. Üç teknik cihaz da kendi özelliklerine sahiptir ve Talep'e göre seçilebilir. Yapıları şu şekilde gösterilmiştir:

Karşılık gelen çekirdek bileşenleri aşağıdaki gibidir:

(a) Sıcak duvar yatay tipi çekirdek bölüm- yarı yarıya parçalar

Akış aşağı yalıtım

Ana yalıtım üstü

Üst yarıya

Yukarı akış yalıtım

Geçiş parçası 2

Geçiş parçası 1

Harici hava memesi

Konik şnorkel

Dış Argon Gazı Meme

Argon gaz nozeri

Gofret destek plakası

Merkezleme pimi

Merkezi muhafız

Akış aşağı sol koruma kapağı

Akış aşağı sağ koruma kapağı

Yukarı akış sol koruma kapağı

Akış yukarı sağ koruma kapağı

Yan duvar

Grafit halkası

Koruyucu Keçe

Destekleyici keçe

İletişim bloğu

Gaz çıkışı silindiri

(b) Sıcak duvar gezegen tipi

SIC Kaplama Planet Disk ve TAC Kaplı Gezegen Disk

(c) yarı termal duvar ayakta durma tipi

Nuflare (Japonya): Bu şirket, artan üretim verimine katkıda bulunan çift odaklı dikey fırınlar sunmaktadır. Ekipman, epitaksiyal homojenlik için son derece faydalı olan dakikada 1000 devirlere kadar yüksek hızlı rotasyona sahiptir. Ek olarak, hava akışı yönü diğer ekipmanlardan farklıdır, dikey olarak aşağı doğru, böylece parçacıkların oluşumunu en aza indirir ve gofretlere düşen parçacık damlacıklarının olasılığını azaltır. Bu ekipman için çekirdek SIC kaplı grafit bileşenleri sağlıyoruz.

SIC epitaksiyal ekipman bileşenlerinin bir tedarikçisi olarak, Vetek Semiconductor, SIC epitaksisinin başarılı bir şekilde uygulanmasını desteklemek için müşterilere yüksek kaliteli kaplama bileşenleri sağlamayı taahhüt eder.

View as

Silikon karbür kaplama gofret tutucu

Veteksemicon tarafından silikon karbür kaplama gofret tutucu, MOCVD, LPCVD ve yüksek sıcaklık tavlama gibi gelişmiş yarı iletken işlemlerde hassasiyet ve performans için tasarlanmıştır. Düzgün bir CVD SIC kaplamasıyla, bu gofret tutucu, kontaminasyonsuz, yüksek katlı gofret işleme için gerekli olan olağanüstü termal iletkenlik, kimyasal inertlik ve mekanik mukavemet sağlar.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

CVD SIC kaplı gofret suyunu

Veteksemicon’un CVD SIC kaplı gofret suyu, yarı iletken epitaksiyal süreçler için son teknoloji bir çözümdür, ultra yüksek saflık (≤100PPB, ICP-E10 sertifikalı) ve olağanüstü termal/kimyasal stabilite, GAN, SIC ve SICAC tabanlı epi-layer'ların kontaminasyona dirençli büyümesi için. Hassas CVD teknolojisi ile tasarlanan 6 ”/8”/12 ”gofretleri destekler, minimal termal stres sağlar ve 1600 ° C'ye kadar aşırı sıcaklıklara dayanır.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Epitaksi için SIC kaplı sızdırmazlık halkası

Epitaksi için SIC kaplı sızdırmazlık halkamız, grafitin termal stabilitesini, grafitin termal stabilitesini SIC'nin aşırı çevresel direnci ile birleştiren ve MOC'nin aşırı çevresel direnci ile birleştiren, kimyasal buhar birikimi (SIC) ile kaplanmış grafit veya karbon-karbon kompozitlerine dayanan yüksek performanslı bir sızdırmazlık bileşenidir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Tek gofret epi grafit Undertaker

Veteksemicon tek gofret epi grafit suyeni, yüksek performanslı silikon karbür (sic), galyum nitrür (GAn) ve diğer üçüncü nesil yarı iletken epitaksiyal işlem için tasarlanmıştır ve kitle üretiminde yüksek hassasiyetli epitaksiyal tabakanın çekirdek taşıyan bileşenidir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

CVD SIC Odak Halkası

Vetek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için yüksek performanslı, yüksek güvenilirlik ürün çözümleri sağlamaya adanmış CVD SIC odak halkalarının önde gelen yerli üreticisi ve tedarikçisidir. Vetek Semiconductor'ın CVD SIC Odak Halkaları Gelişmiş Kimyasal Buhar Birikimi (CVD) teknolojisi kullanır, mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine ve termal iletkenliğe sahiptir ve yarı iletken litografi süreçlerinde yaygın olarak kullanılır. Sorularınız her zaman kabul edilir.

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Aixtron G5+ Tavan Bileşeni

Vetek Semiconductor, üstün işleme yetenekleriyle birçok MOCVD ekipmanı için sarf malzemeleri tedarikçisi haline gelmiştir. Aixtron G5+ tavan bileşeni, orijinal Aixtron bileşeniyle neredeyse aynı olan ve müşterilerden iyi geri bildirim alan en son ürünlerimizden biridir. Bu tür ürünlere ihtiyacınız varsa, lütfen Vetek Semiconductor ile iletişime geçin!

Daha fazla göster >> Talep Gönder >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Çin'de profesyonel bir Silikon karbür epitaksi üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Silikon karbür epitaksi satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
e-posta
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Yolu, Ziyang Caddesi, Wuyi İlçesi, Jinhua City, Zhejiang Eyaleti, Çin

Web Menüsü

Ürün Arama

Dil

Menüden Çık

Silikon karbür epitaksi

Üç çeşit silikon karbür epitaksiyal büyüme fırını ve çekirdek aksesuar farklılıkları

Karşılık gelen çekirdek bileşenleri aşağıdaki gibidir:

(a) Sıcak duvar yatay tipi çekirdek bölüm- yarı yarıya parçalar

(b) Sıcak duvar gezegen tipi

(c) yarı termal duvar ayakta durma tipi

Silikon karbür kaplama gofret tutucu

CVD SIC kaplı gofret suyunu

Epitaksi için SIC kaplı sızdırmazlık halkası

Tek gofret epi grafit Undertaker

CVD SIC Odak Halkası

Aixtron G5+ Tavan Bileşeni

Talep Gönder

QR kod

Hakkımızda

Ürünler

Bize Ulaşın

Telefon

Faks

e-posta

Adres