Gözenekli sic

Gözenekli sic


Vetek Semiconductor, yarı iletken endüstrisi için önde gelen gözenekli SIC seramik üreticisidir. ISO9001 geçti, Vetek Semiconductor kalite üzerinde iyi bir kontrole sahiptir. Vetek Semiconductor her zaman gözenekli SIC seramik endüstrisinde yenilikçi ve lider olmaya kararlıdır.


Porous SiC Ceramic Disc

Gözenekli sic seramik disk


Gözenekli SIC seramikleri, yüksek sıcaklıklarda ateşlenen ve içinde çok sayıda birbirine bağlı veya kapalı gözeneklere sahip seramik malzemedir. Aynı zamanda, gözenek boyutları 2 ila 100um arasında değişen mikro gözenekli vakum emme bardağı olarak da bilinir.


Gözenekli SIC seramikleri metalurji, kimya endüstrisi, çevre koruma, biyoloji, yarı iletken ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Gözenekli SIC seramikleri köpükleme yöntemi, sol jel yöntemi, bant döküm yöntemi, katı sinterleme yöntemi ve emprenye piroliz yöntemi ile hazırlanabilir.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

Sinterleme yöntemi ile gözenekli SIC seramiklerinin hazırlanması

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

Gözenekli Silikon Karbür Seramiklerinin Özellikleri Gözenekliliğin bir fonksiyonu olarak farklı yöntemlerle hazırlanmıştır



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

Yarıiletken gofret imalatında gözenekli SIC seramik vantuzları


Vetek Semiconductor'ın gözenekli SIC seramikleri, yarı iletken üretiminde kelepçeleme ve taşıma taşıma rolünü oynar. Yoğun ve düzgün, mukavemet bakımından yüksek, hava geçirgenliğinde iyi ve adsorpsiyonda üniforma.


Gofret girintisi ve çip elektrostatik dökümü gibi birçok zor sorunu etkili bir şekilde ele alırlar ve aşırı yüksek kaliteli gofretlerin işlenmesine yardımcı olurlar.

Gözenekli SIC seramiklerinin çalışma diyagramı:

Working diagram of porous SiC ceramics


Gözenekli SIC seramiklerinin çalışma prensibi: Silikon gofret vakum adsorpsiyon prensibi ile sabitlenir. İşleme sırasında, gözenekli SIC seramikleri üzerindeki küçük delikler, silikon gofret ve seramik yüzey arasındaki havayı çıkarmak için kullanılır, böylece silikon gofret ve seramik yüzey düşük basınçta, böylece silikon gofret sabitlenir.


İşlemden sonra, silikon gofretin seramik yüzeye yapışmasını önlemek için plazma suyu deliklerden akar ve aynı zamanda silikon gofret ve seramik yüzey temizlenir.


Microstructure of the porous SiC ceramics

Gözenekli SIC seramiklerinin mikro yapısı


Avantajları ve özellikleri vurgulayın:


● Yüksek sıcaklık direnci

● Aşınmaya karşı direnç

● Kimyasal direnç

● Yüksek mekanik mukavemet

● Yenilenmesi kolay

● Mükemmel termal şok direnci


öğe
birim
gözenekli sic seramikleri
Gözenek çapı
bir
10 ~ 30
Yoğunluk
g / cm3
1.2 ~ 1.3
Yüzey rouhung
bir
2.5 ~ 3
Hava emme değeri
KPA
-45
Bükülme mukavemeti
MPa
30
Dielektrik sabiti
1MHz
33
Termal iletkenlik
W/(m · k)
60 ~ 70

Gözenekli SIC seramikleri için birkaç yüksek gereksinim vardır:


1. Güçlü vakum adsorpsiyonu

2. Düzlük çok önemlidir, aksi takdirde operasyon sırasında sorunlar olacaktır

3. Deformasyon yok ve metal safsızlık yok


Bu nedenle, Vetek Semiconductor'ın gözenekli SIC seramiklerinin hava emilim değeri -45kPa'ya ulaşır. Aynı zamanda, safsızlıkları gidermek için fabrikadan ayrılmadan önce 1,5 saat boyunca 1200 ℃ 'de temperlenirler ve vakum torbalarında paketlenirler.


Gözenekli SIC seramikleri gofret işleme teknolojisinde, transfer ve diğer bağlantılarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Bağlanma, kinasyon, montaj, parlatma ve diğer bağlantılarda büyük başarılar elde ettiler.


View as  
 
Gözenekli SiC Vakum Chuck

Gözenekli SiC Vakum Chuck

Vetek Semiconductor'ın Gözenekli SiC Vakum Aynası, özellikle CVD ve PECVD süreçleri söz konusu olduğunda, genellikle yarı iletken üretim ekipmanlarının temel bileşenlerinde kullanılır. Vetek Semiconductor, yüksek performanslı Gözenekli SiC Vakumlu Chuck'ın üretimi ve tedarikinde uzmanlaşmıştır. Daha fazla sorularınız için hoş geldiniz.
Gözenekli Seramik Vakum Chuck

Gözenekli Seramik Vakum Chuck

Vetek Semiconductor'ın Gözenekli Seramik Vakum Aynası, mükemmel yüksek sıcaklık direncine, kimyasal stabiliteye ve mekanik dayanıma sahip silisyum karbür seramik (SiC) malzemeden yapılmıştır. Yarı iletken prosesinde vazgeçilmez bir temel bileşendir. Daha fazla sorunuza hoş geldiniz.
Gözenekli sic seramik aynası

Gözenekli sic seramik aynası

Vetek Semiconductor, gofret işleme teknolojisinde, transfer ve diğer bağlantılarda, bağlama, kaydırma, yama, parlatma ve diğer bağlantılara uygun diğer bağlantılarda yaygın olarak kullanılan gözenekli SIC seramik Chuck'ı sunar. Gözenekli SIC seramik Chuck'ımız ultra güçlü vakum adsorpsiyonu, yüksek düzlük ve yüksek saflıkta çoğu yarı iletken endüstrinin ihtiyaçlarını karşılamaktadır.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


Çin'de profesyonel bir Gözenekli sic üretici ve tedarikçi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı Gözenekli sic satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept