SiC Tek Kristal Büyüme Prosesi Yedek Parçaları

VeTek Semiconductor'ın ürünü, SiC Tek Kristal Büyüme Süreci için tantal karbür (TaC) kaplama ürünleri, silisyum karbür (SiC) kristallerinin büyüme arayüzüyle ilgili zorlukları, özellikle de kristalin kenarında meydana gelen kapsamlı kusurları ele alır. TaC kaplama uygulayarak kristal büyüme kalitesini iyileştirmeyi ve hızlı ve kalın büyüme elde etmek için çok önemli olan kristal merkezinin etkili alanını arttırmayı hedefliyoruz.

TaC kaplama, yüksek kaliteli SiC tek kristal büyütme sürecini büyütmek için temel bir teknolojik çözümdür. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) kullanarak uluslararası düzeyde ileri bir seviyeye ulaşan bir TaC kaplama teknolojisini başarıyla geliştirdik. TaC, 3880°C'ye kadar yüksek erime noktası, mükemmel mekanik mukavemet, sertlik ve termal şok direnci gibi olağanüstü özelliklere sahiptir. Ayrıca yüksek sıcaklıklara ve amonyak, hidrojen ve silikon içeren buhar gibi maddelere maruz kaldığında iyi bir kimyasal inertlik ve termal stabilite sergiler.

VeTek Semiconductor'ın tantal karbür (TaC) kaplaması, SiC Tek Kristal Büyüme Sürecinde kenarla ilgili sorunlara çözüm sunarak büyüme sürecinin kalitesini ve verimliliğini artırır. Gelişmiş TaC kaplama teknolojimiz ile üçüncü nesil yarı iletken endüstrisinin gelişimini desteklemeyi ve ithal edilen temel malzemelere olan bağımlılığı azaltmayı hedefliyoruz.

PVT yöntemi SiC Tek kristal büyütme prosesi yedek parçaları:

TaC Kaplamalı Pota, TaC Kaplamalı Tohum Tutucu, TaC kaplama Kılavuz Halkası, PVT yöntemiyle SiC ve AIN tek kristal fırınlarında önemli parçalardır.

Temel Özellik:

-Yüksek sıcaklık dayanımı

-Yüksek saflık, SiC hammaddelerini ve SiC tek kristallerini kirletmez.

-Al buharına ve N₂ korozyonuna karşı dayanıklı

-Kristal hazırlama döngüsünü kısaltmak için yüksek ötektik sıcaklık (AlN ile).

-Geri dönüştürülebilir (200 saate kadar), bu tür tek kristallerin hazırlanmasının sürdürülebilirliğini ve verimliliğini artırır.

TaC Kaplama Özellikleri

Tac Kaplamanın tipik fiziksel özellikleri

Tantal karbür kaplı saptırma halkası TaC Kaplama Kılavuz Halkası TaC Kaplama Halkası Tantal Karbür Kaplamalı Plaka TaC kaplı ayna TaC kaplama tüpü