Silikon nitrür

1. Mükemmel kimyasal stabilite

Silikon nitrür seramikleri mükemmel kimyasal stabiliteye sahiptir ve çeşitli güçlü asitlere, alkalilere ve aşındırıcı gazlara dayanabilir. Yarı iletken üretim sürecinde genellikle aşındırıcı kimyasallarla uğraşması gerekir, silikon nitrür seramikleri uzun süreli kararlı performans garantisi sağlayabilir.

2. Mükemmel mekanik özellikler

Silikon nitrür seramikleri yüksek sertliğe, mükemmel basınç mukavemetine ve aşınma direncine, mekanik strese ve yüzey aşınmasına dayanabilen, deformasyon veya rüptüre kolay değil. Bu mekanik özellik, yarı iletken ekipmandaki yapısal ve proses parçaları için bir malzeme olarak çok uygun hale getirir.

3. Yüksek sıcaklık istikrarı

Silikon nitrür seramikleri, yüksek sıcaklık ortamlarında stabiliteyi koruyabilir, yumuşatılması veya eritilmesi kolay değildir ve yarı iletken üretim işleminde yüksek sıcaklık işlemeye ve kullanımına dayanabilir. Bu, tutkunlar, reaksiyon odası bileşenleri vb.Gibi yüksek sıcaklık işlem ekipmanı temel bileşenlerinin üretiminde kullanılmasını sağlar.

4. Mükemmel yalıtım özellikleri

Yalıtım özellikleri yarı iletken cihaz üretiminde kritiktir. Silikon nitrür seramikleri, devre bileşenlerini mevcut sızıntı veya elektromanyetik parazitten etkili bir şekilde izole edip koruyabilen, cihazın stabilitesini ve güvenilirliğini artırmaya yardımcı olan iyi yalıtım özelliklerine sahiptir.

5. Termal iletkenlik ve termal iletkenlik

Silikon nitrür seramikleri yüksek bir termal iletkenliğe sahiptir, cihaz tarafından üretilen ısıyı etkili bir şekilde yürütebilir ve dağıtabilir ve cihazın çalışma işleminde sıcaklık stabilitesinin korunmasına yardımcı olabilir. Bu, yarı iletken cihazların yüksek performanslı çalışması için kritiktir.

1. Elektrostatik Chucks ve Draving Odası Bileşenleri

Silikon nitrür seramikleri genellikle mükemmel kimyasal stabilitesi ve yüksek sıcaklık dirençleri nedeniyle yarı iletken üretiminde elektrostatik aynalar ve dağlama odası bileşenleri için malzemeler olarak kullanılır. Elektrostatik aynalar gofretleri veya substratları sabitlemek ve stabilize etmek için kullanılırken, aşındırma odası bileşenleri aşındırıcı gazlara ve yüksek sıcaklık ortamlarına dayanmak için kullanılır.

2. Gaz dağılım plakaları ve reflektörleri

Silikon nitrür seramikleri, gaz dağılım plakalarında ve reflektörlerinde yarı iletken ekipman üretiminde de kullanılır. Gaz dağılım plakaları, reaktif veya koruyucu gazları reaksiyon odasına eşit olarak dağıtmak için kullanılırken, reflektörler reaksiyon verimliliğini ve homojenliği arttırmak için reaksiyon odası içindeki ışığın dağılımını ve yansımasını optimize etmek için kullanılır.

3. Tutucular ve termal bileşenler

Silikon nitrür seramikleri genellikle yarı iletken üretim ekipmanlarında tutucular ve termal yönetim bileşenleri olarak kullanılır. Bu bileşenlerin, kararlı ekipman çalışması ve cihaz işleme doğruluğunu sağlamak için iyi mekanik mukavemet, aşınma direnci ve termal iletkenliğe sahip olması gerekir.

4. Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP) pedleri

Silikon nitrür seramik, kimyasal mekanik parlatma (CMP) işleminde ped malzemesi olarak yaygın olarak kullanılır. Mükemmel düzlük ve aşınma direncine sahiptir ve parlatma işlemi sırasında yarı iletken gofret yüzeyinin düzlüğünü ve hassasiyetini sağlamak için sabit destek sağlayabilir.