VeTek Yarı İletken, Silikonize grafit, pirolitik karbon, gözenekli grafit, camsı karbon kaplama, yüksek saflıkta grafit levha ve yüksek saflıkta izostatik grafit gibi Özel Grafit sağlar; bunlar ortak özellikleri ve uygulamaları paylaşan çeşitli özel grafit malzemeleridir. Özelliklerine ve uygulamalarına kısa bir giriş:
● Silikonlu Grafit: Silikonlu grafit, grafitin silikon bileşikleri ile birleştirilmesiyle oluşturulan özel bir grafit malzemesidir. Mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve mekanik özellikler sergiler. Silikonlu grafit, yüksek sıcaklık fırınlarında, korozyona dayanıklı ekipmanlarda ve yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılır.
● Pirolitik Karbon: Pirolitik karbon, kömür ve petrol koku gibi organik maddelerin yüksek sıcaklıkta pirolizi ile elde edilen bir karbon malzemesidir. Yüksek saflığa, yoğunluğa, dayanıklılığa ve düşük elektrik iletkenliğine sahiptir. Pirolitik karbon, yarı iletken, kimyasal ekipman, havacılık ve diğer alanlarda yüksek sıcaklık malzemeleri ve yapısal bileşenler olarak geniş uygulama alanları bulur.
● Gözenekli Grafit: Gözenekli grafit, mikro ve mezogözenekli yapılara sahip özel bir grafit malzemesidir. Mükemmel adsorpsiyon ve termal iletkenlik özellikleri sunan geniş bir spesifik yüzey alanına ve gözenekliliğe sahiptir. Gözenekli grafit, gaz ayırma, SiC kristal büyütme ve diğer uygulamalarda yaygın olarak kullanılır.
● Camsı Karbon Kaplama: Camsı karbon kaplama, camsı karbon malzemenin yüzey kaplaması olarak uygulanması tekniğini ifade eder. Olağanüstü korozyon direnci, aşınma direnci ve elektrik iletkenliği sergiler. Camsı karbon kaplamalar sıklıkla korozyona dayanıklı kaplamalarda, E-Işın Tabancası için kaplama malzemesinde ve diğer yarı iletken alanlarda kullanılır.
● Yüksek Saflıkta İzostatik Grafit: Yüksek saflıkta izostatik grafit, yüksek sıcaklıkta izostatik presleme işlemiyle hazırlanan yüksek saflıkta özel bir grafit malzemedir. Düzgün bir mikro yapıya, yüksek yoğunluğa ve düşük oksijen içeriğine sahiptir. Yüksek saflıkta izostatik grafit, hassas işleme, ısı dağıtma malzemeleri, yarı iletken imalatı, fotovoltaik, havacılık ve diğer endüstrilerde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yüksek saflıkta grafit kağıt, yarı iletken endüstrisinde kullanılan özel bir malzemedir. Olağanüstü termal ve elektrik iletkenliği ile ısı emiciler, termal arayüz malzemeleri ve elektrik yalıtımı gibi uygulamalarda hayati bir rol oynar. Yüksek saflıkta grafit kağıdın hafif ve esnek yapısı, onu termal yönetimi geliştirmek ve yarı iletken cihazların performansını optimize etmek için ideal kılar. Yüksek saflığı (5 ppm'nin altındaki safsızlık) güvenilir ve verimli çalışmayı garanti eder ve bu da onu yarı iletkenlerin üretimi ve montajında değerli bir bileşen haline getirir.
Bu özel grafit malzemeler, kendi alanlarında benzersiz özellikler ve uygulama avantajları sunmaktadır. Yüksek sıcaklık ortamlarında, korozyon direncinde, elektronik, enerji, kimya mühendisliği, havacılık ve yarı iletken endüstrilerinde kritik bir rol oynayarak bu sektörlerdeki ilerlemeler ve yenilikler için temel destek sağlarlar.
Temel Özellikler
● Kritik yarı iletken işlemler için 5 ppm'nin altında yabancı madde seviyelerine sahip ultra yüksek saflık seçenekleri.
● PVT SiC kristal büyütme ve vakum fırınlarına uygun, mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesi ve termal şok direnci.
● Çeşitli malzeme formları: izostatik grafit, gözenekli grafit, silikonlu grafit, PyC kaplama, camsı karbon kaplama ve esnek grafit tabakalar.
● Gaz yönetimi ve termal alan uygulamaları için üstün korozyon direnci, aşınma direnci ve kontrollü gözeneklilik.
● Tek elden özelleştirilmiş çözümler sağlayan şirket içi işleme ve kaplama kapasitesi (SiC / TaC / PyC).
● Başlıca yarı iletken ve kristal büyütme ekipmanı platformlarıyla uyumludur.
Ürün Özellikleri
| Pirolitik Karbon (PyC) Kaplama Parametresi |
| Öğe |
Birim |
değer |
| Kristal Yapısı |
-
|
Altıgen |
| Hizalama |
-
|
001 yönünde yönlendirilmiş veya yönlendirilmemiş |
| Yığın Yoğunluğu |
g/cm³ |
~2.24 |
| Mikroyapı |
-
|
Çok kristalli/Çok katmanlı grafen |
| Sertlik |
not ortalaması |
1.1
|
| Elastik Modül |
not ortalaması |
10
|
| Tipik Kalınlık |
μm |
30-100 |
| Yüzey Pürüzlülüğü |
μm |
1.5
|
| Ürün Saflığı |
ppm |
≤5ppm |
Uygulamalar
Yarı iletken ve yüksek sıcaklık proseslerinin farklı ihtiyaçlarını karşılamak için VeTek, hedefe yönelik Özel Grafit ürünleri sunmaktadır. Aşağıdaki tablo bunları ana uygulama alanlarına göre sınıflandırır, tipik malzemeleri/bileşenleri ve uygulanabilir süreçleri listeler:
| Uygulama Alanı |
Tipik Malzemeler / Ürünler |
Uygulama Açıklaması |
| SiC Kristal Büyümesi (PVT) |
Gözenekli grafit, PyC kaplı grafit halka, izostatik grafit pota, kılavuz halkası
|
PVT SiC kristal büyütme termal alanlarında kullanılır; >2200°C'ye kadar kontrollü buhar aktarımı, yüksek saflık ve termal stabilite sağlayarak partikül kirliliğini azaltır. |
| Yarı İletken Epitaksi / MOCVD |
ısıtıcılar, PyC / camsı karbon kaplı parçalar
|
Si/SiC/GaN epitaksi ve MOCVD sistemleri için yüksek saflıkta termal alan bileşenleri; mükemmel sıcaklık homojenliği ve kimyasal inertlik. |
| Yüksek Sıcaklık Fırınları ve Vakum |
Grafit ısıtıcılar, Üç Yapraklı Grafit Pota
|
Vakumlu fırınlar, sıcak bölge ısıtıcıları ve yüksek sıcaklıktaki işleme ekipmanları için korozyona dayanıklı ve termal olarak stabil malzemeler. |
| Termal Yönetim |
Yüksek saflıkta grafit keçe, Grafit kağıdı
|
Yarı iletken cihazlarda ısı emiciler, termal arayüz malzemeleri ve elektrik yalıtımı için esnek, yüksek termal/elektrik iletkenlikli levhalar (kirlilik <5 ppm). |
| Korozyona / Aşınmaya Karşı Koruma |
Camsı karbon kaplama, silikonlu grafit |
E-beam tabancaları ve zorlu ortamlar için olağanüstü korozyon direnci, aşınma direnci ve elektrik iletkenliği sunan yüzey kaplamaları ve dökme malzemeler. |
| Gaz Ayırma ve Adsorpsiyon |
Gözenekli grafit
|
Gaz ayırma, filtreleme ve kontrollü atmosfer uygulamaları için geniş spesifik yüzey alanına sahip mikro/mezoporöz yapı. |
Daha ayrıntılı ürün ve süreç eşleştirme çözümleri için lütfen ilgili alt kategori sayfalarına bakın:Gözenekli Grafit, İzotropik Grafit, Pirolitik Karbon Kaplamavesaire.
Çin'de profesyonel bir Özel Grafit üreticisi ve tedarikçisi olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de üretilen gelişmiş ve dayanıklı Özel Grafit satın almak isteyin,bize mesaj bırakın.
