MOCVD SiC Kaplamalı Süseptör

Teknik Parametreler

CVD SIC FİLM KRİSTAL YAPISI

Ürün Tanımı ve Bileşimi

VETEK MOCVD SiC Kaplamalı Süseptör, GaN ve SiC gibi üçüncü nesil yarı iletkenlerin epitaksiyel işlenmesi için özel olarak tasarlanmış birinci sınıf bir levha taşıma bileşenidir. Bu ürün iki yüksek performanslı malzemenin üstün fiziksel özelliklerini birleştirir:

Yüksek Saflıkta Grafit Substrat: Temel malzemenin olağanüstü yapısal bütünlüğe, yüksek yoğunluğa ve termal işlem stabilitesine sahip olmasını sağlamak için izostatik presleme teknolojisi kullanılarak üretilmiştir.

CVD SiC Kaplama: Gelişmiş Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) teknolojisi ile grafit yüzey üzerinde yoğun, gerilimsiz bir silisyum karbür (SiC) koruyucu katman büyütülür.

VETEK Neden Verim Garantinizdir?

Termal Tekdüzelik Kontrolünde Üstün Hassasiyet: Geleneksel taşıyıcıların aksine VETEK tutucular, kaplama kalınlığının ve termal direncin nanometre ölçeğinde hassas kontrolü sayesinde tüm yüzey boyunca yüksek derecede senkronize ısı transferi sağlar. Bu gelişmiş termal yönetim, levha yüzeyindeki dalga boyu standart sapmasını (STD) etkili bir şekilde en aza indirerek hem tek levha kalitesini hem de genel parti tutarlılığını önemli ölçüde artırır.

Sıfır Parçacık Kirliliği ile Uzun Süreli Koruma: Oldukça aşındırıcı gazlar içeren MOCVD reaksiyon odalarında, sıradan grafit kaideler parçacık dökülmesine eğilimlidir. VETEK'in CVD SiC kaplaması, olağanüstü kimyasal inertliğe sahiptir ve grafit mikro gözeneklerini kapatan, aşılmaz bir kalkan görevi görür. Bu, substrat safsızlıklarının tamamen izolasyonunu sağlayarak GaN veya SiC epitaksiyel katmanlarının kirlenmesini önler.

Olağanüstü Yorulma Direnci ve Hizmet Ömrü:VETEK'in tescilli arayüz işleme süreci sayesinde SiC kaplamamız, grafit alt tabakayla optimize edilmiş bir termal genleşme uyumu sağlar. Kaplama, aşırı sıcaklıklar arasındaki yüksek frekanslı termal döngü altında bile soyulmadan veya mikro çatlaklar oluşturmadan üstün yapışmayı korur. Bu, yedek parça bakım sıklığını önemli ölçüde azaltır ve toplam sahip olma maliyetinizi düşürür.

Atölyemiz