Gözenekli Tantal Karbür: SiC kristal büyümesi için yeni nesil malzemeler

İletken SiC substratlarının kademeli seri üretimiyle birlikte, sürecin stabilitesi ve tekrarlanabilirliği konusunda daha yüksek gereksinimler ortaya çıkıyor. Özellikle kusurların kontrolü, fırın içindeki termal alanda yapılan hafif ayarlamalar veya kaymalar kristalde değişikliklere veya kusurların artmasına yol açacaktır.

Daha sonraki aşamada, "daha hızlı, daha kalın ve daha uzun büyüyen" mücadelesiyle karşılaşacağız. Teori ve mühendisliğin iyileştirilmesine ek olarak, destek olarak daha gelişmiş termal alan malzemeleri gereklidir. Gelişmiş kristalleri büyütmek için gelişmiş malzemeler kullanın.

Pota içerisinde grafit, gözenekli grafit ve tantal karbür tozu gibi malzemelerin termal alanda yanlış kullanımı karbon kalıntılarının artması gibi kusurlara yol açacaktır. Ayrıca bazı uygulamalarda gözenekli grafitin geçirgenliği yeterli olmayıp, geçirgenliğin arttırılması için ilave deliklerin açılması gerekmektedir. Yüksek geçirgenliğe sahip gözenekli grafit, işleme, toz kaybı ve dağlama gibi zorluklarla karşı karşıyadır.

Son zamanlarda VeTek Semiconductor, yeni nesil SiC kristal büyüme termal alan malzemelerini piyasaya sürdü.gözenekli tantal karbür, dünyada ilk kez.

Tantal karbürün yüksek mukavemeti ve sertliği vardır ve onu gözenekli hale getirmek daha da zordur. Büyük gözenekliliğe ve yüksek saflığa sahip gözenekli tantal karbür yapmak daha da zordur. VeTek Semiconductor, büyük gözenekliliğe sahip çığır açan gözenekli tantal karbürü piyasaya sürdü.maksimum %75 gözeneklilik ile uluslararası lider seviyeye ulaşıyor.

Ek olarak, gaz fazı bileşenlerinin filtrelenmesi, yerel sıcaklık değişimlerinin ayarlanması, malzeme akış yönünün yönlendirilmesi, sızıntının kontrol edilmesi vb. için de kullanılabilir; farklı yerel akış iletkenliklerine sahip bileşenler oluşturmak için VeTek Semiconductor'ın başka bir katı tantal karbür (yoğun) veya tantal karbür kaplamasıyla birleştirilebilir; bazı bileşenler yeniden kullanılabilir.

Teknik parametreler

Gözeneklilik ≤% 75 uluslararası lider

Şekil: pul, silindirik Uluslararası lider

Düzgün gözeneklilik

VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbür (TaC) aşağıdaki ürün özelliklerine sahiptir

●   Çok Yönlü Uygulamalar için Gözeneklilik

TaC'nin gözenekli yapısı, çok işlevlilik sağlayarak aşağıdaki gibi özel senaryolarda kullanılmasına olanak tanır:

Gaz difüzyonu: Yarı iletken işlemlerde hassas gaz akışı kontrolünü kolaylaştırır.

Filtrasyon: Yüksek performanslı partikül ayırma gerektiren ortamlar için idealdir.

Kontrollü ısı dağılımı: Yüksek sıcaklık sistemlerinde ısıyı verimli bir şekilde yöneterek genel termal düzenlemeyi artırır.

● Aşırı yüksek sıcaklık direnci

Yaklaşık 3.880°C erime noktasına sahip Tantal Karbür, ultra yüksek sıcaklık uygulamalarında üstün performans gösterir. Bu olağanüstü ısı direnci, çoğu malzemenin başarısız olduğu koşullarda tutarlı performans sağlar.

● Üstün sertlik ve dayanıklılık

MOHS sertlik ölçeğinde 9-10 sıralaması, elmasa benzer şekilde, gözenekli TAC, aşırı stres altında bile mekanik aşınmaya benzersiz bir direnç gösterir. Bu dayanıklılık, aşındırıcı ortamlara maruz kalan uygulamalar için idealdir.

● Olağanüstü termal stabilite

Tantal karbür, yapısal bütünlüğünü ve performansını aşırı sıcakta korur. Dikkat çekici termal stabilitesi, yarı iletken üretimi ve havacılık gibi yüksek sıcaklık tutarlılığı gerektiren endüstrilerde güvenilir bir çalışma sağlar.

●   Mükemmel Isı İletkenliği

Gözenekli doğasına rağmen, gözenekli TAC, hızlı ısı dağılmasının kritik olduğu sistemlerde kullanımını sağlayarak etkili ısı transferini korur. Bu özellik, malzemenin ısı yoğun süreçlerde uygulanabilirliğini artırır.

● Boyutsal stabilite için düşük termal genleşme

Düşük termal genleşme katsayısına sahip Tantal Karbür, sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu boyutsal değişikliklere direnç gösterir. Bu özellik termal stresi en aza indirerek bileşenlerin ömrünü uzatır ve kritik sistemlerde hassasiyeti korur.

Yarıiletken üretiminde, gözenekli tantal karbür (TAC) aşağıdaki belirli anahtar rolleri oynar

●  Plazma aşındırma ve CVD gibi yüksek sıcaklıktaki işlemlerde VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbür genellikle işleme ekipmanı için koruyucu bir kaplama olarak kullanılır. Bunun nedeni TaC Kaplamanın güçlü korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesidir. Bu özellikler, reaktif gazlara veya aşırı sıcaklıklara maruz kalan yüzeyleri etkili bir şekilde korumasını ve böylece yüksek sıcaklık işlemlerinin normal reaksiyonunu sağlamasını sağlar.

●  Difüzyon proseslerinde Gözenekli Tantal Karbür, yüksek sıcaklık proseslerinde malzemelerin karışmasını önlemek için etkili bir difüzyon bariyeri görevi görebilir. Bu özellik genellikle iyon implantasyonu ve yarı iletken levhaların saflık kontrolü gibi işlemlerde katkı maddelerinin difüzyonunu kontrol etmek için kullanılır.

●  VeTek yarı iletken Gözenekli Tantal Karbürün gözenekli yapısı, hassas gaz akışı kontrolü veya filtreleme gerektiren yarı iletken işleme ortamları için çok uygundur. Bu süreçte Gözenekli TaC esas olarak gaz filtreleme ve dağıtım rolünü oynar. Kimyasal inertliği, filtreleme işlemi sırasında hiçbir kirletici maddenin girmemesini sağlar. Bu, işlenmiş ürünün saflığını etkili bir şekilde garanti eder.

VeTek Semiconductor Hakkında

Bir Çin profesyonel gözenekli tantal karbür üreticisi, tedarikçi, fabrika olarak kendi fabrikamız var. İster bölgenizin özel ihtiyaçlarını karşılamak için özelleştirilmiş hizmetlere ihtiyacınız olsun, ister Çin'de yapılan gelişmiş ve dayanıklı gözenekli tantal karbür satın almak istiyorsanız, bize bir mesaj bırakabilirsiniz.

Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsaGözenekli Tantal Karbür、Tantal karbür kaplı gözenekli grafitve diğerTantal karbür kaplı bileşenler- Lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

☏☏☏Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

☏☏☏E -posta: Anny@veteksemi.com