Haberler

Bu makale, İtalyan LPE şirketinin yeni tasarlanan PE1O8 sıcak duvarlı CVD reaktöründeki en son gelişmeleri ve bu reaktörün 200 mm SiC üzerinde tekdüze 4H-SiC epitaksi gerçekleştirme yeteneğini tanıtmaktadır.

Güç elektroniği, optoelektronik ve diğer alanlarda SiC malzemelerine olan talebin artmasıyla birlikte SiC tek kristal büyütme teknolojisinin geliştirilmesi, bilimsel ve teknolojik yeniliklerin önemli bir alanı haline gelecektir. SiC tek kristal büyütme ekipmanının temeli olan termal alan tasarımı, yoğun ilgi görmeye ve derinlemesine araştırmalara konu olmaya devam edecektir.

Sürekli teknolojik ilerleme ve derinlemesine mekanizma araştırması sayesinde, 3C-SiC heteroepitaksiyel teknolojisinin yarı iletken endüstrisinde daha önemli bir rol oynaması ve yüksek verimli elektronik cihazların geliştirilmesini teşvik etmesi bekleniyor.

Mekansal ALD, mekansal olarak izole edilmiş atomik tabaka birikimi. Gofret farklı pozisyonlar arasında hareket eder ve her pozisyonda farklı öncüllere maruz kalır. Aşağıdaki şekil, geleneksel ALD ve mekansal olarak izole edilmiş ALD arasında bir karşılaştırmadır.