Haberler

Silikon karbür nanomalzemeleri (sic), nanometre ölçeğinde (1-100nm) en az bir boyutu olan malzemelerdir. Bu malzemeler sıfır, bir, iki veya üç boyutlu olabilir ve çeşitli uygulamalara sahip olabilir.

CVD SIC, kimyasal buhar birikimi ile üretilen yüksek saflıkta bir silikon karbür malzemesidir. Esas olarak yarı iletken işleme ekipmanındaki çeşitli bileşenler ve kaplamalar için kullanılır. Aşağıdaki içerik, CVD SIC'nin ürün sınıflandırması ve temel işlevlerine bir giriştir.

Bu makale esas olarak yarı iletken işlemede TAC kaplamanın ürün türlerini, ürün özelliklerini ve ana işlevlerini tanıtmakta ve TAC kaplama ürünlerinin bir bütün olarak kapsamlı bir analizini ve yorumlanmasını sağlar.

Bu makale esas olarak yarı iletken işlemede MOCVD suyunun ürün türlerini, ürün özelliklerini ve ana işlevlerini tanıtmakta ve bir bütün olarak MOCVD Sindancı ürünlerinin kapsamlı bir analizini ve yorumlanmasını sağlar.

ASM için SiC kaplı grafit tutucu yalnızca bir epitaksi sistemi içindeki yedek parça değildir. Termal homojenliği, levha temizliğini, kaplama dayanıklılığını, hazne stabilitesini ve uzun vadeli üretim maliyetini etkileyen, süreç açısından kritik bir taşıyıcıdır.

CVD TaC Kaplama Kapağı yalnızca koruyucu bir kapak veya kaplanmış grafit bileşen değildir. Yüksek sıcaklıktaki yarı iletken proseslerde hazne temizliğini, termal stabiliteyi, parça ömrünü ve proses tutarlılığını etkileyebilir.