Haberler

Sürekli teknolojik ilerleme ve derinlemesine mekanizma araştırması sayesinde, 3C-SiC heteroepitaksiyel teknolojisinin yarı iletken endüstrisinde daha önemli bir rol oynaması ve yüksek verimli elektronik cihazların geliştirilmesini teşvik etmesi bekleniyor.

Mekansal ALD, mekansal olarak izole edilmiş atomik tabaka birikimi. Gofret farklı pozisyonlar arasında hareket eder ve her pozisyonda farklı öncüllere maruz kalır. Aşağıdaki şekil, geleneksel ALD ve mekansal olarak izole edilmiş ALD arasında bir karşılaştırmadır.

Son zamanlarda, Alman Araştırma Enstitüsü Fraunhofer IISB, tantal karbür kaplama teknolojisinin araştırma ve geliştirilmesinde bir atılım yaptı ve CVD biriktirme çözümünden daha esnek ve çevre dostu bir sprey kaplama çözümü geliştirdi ve ticarileştirildi.