Tantalum karbür teknolojisi atılımı, SIC epitaksiyal kirliliği%75 azaldı?

Son zamanlarda, Alman Araştırma Enstitüsü Fraunhofer IISB, araştırma ve geliştirmede bir atılım yaptı.tantal karbür kaplama teknolojisive CVD biriktirme çözümünden daha esnek ve çevre dostu bir sprey kaplama çözeltisi geliştirdi ve ticarileştirildi.

Ve yerli Vetek Semiconductor da bu alanda atılımlar yaptı, ayrıntılar için lütfen aşağıya bakın.

Fraunhofer IISB:

Yeni bir TAC kaplama teknolojisi geliştirmek

5 Mart'ta medyaya göre "Bileşik yarı iletken", Fraunhofer IISB yeni birTantal karbür (TAC) kaplama teknolojisi-Taccotta. Teknoloji lisansı Nippon Kornmeyer Carbon Group'a (NKCG) aktarıldı ve NKCG, müşterileri için TAC kaplı grafit parçaları sağlamaya başladı.

Sektörde TAC kaplamaları üretmenin geleneksel yöntemi, yüksek üretim maliyetleri ve uzun teslimat süreleri gibi dezavantajlarla karşı karşıya olan kimyasal buhar birikimidir (CVD). Ek olarak, CVD yöntemi, bileşenlerin tekrarlanan ısıtılması ve soğutulması sırasında TAC'nin çatlamasına da eğilimlidir. Bu çatlaklar, zamanla ciddi şekilde bozulan ve değiştirilmesi gereken temel grafiti ortaya çıkarır.

Taccotta'nın inovasyonu, yüksek mekanik stabilite ve ayarlanabilir kalınlıkta bir TAC kaplama oluşturmak için su bazlı bir sprey kaplama yöntemi kullanması ve ardından sıcaklık tedavisi kullanmasıdır.grafit substratı. Kaplamanın kalınlığı, farklı uygulama gereksinimlerine uyacak şekilde 20 mikrondan 200 mikrona ayarlanabilir.

Fraunhofer IISB tarafından geliştirilen TAC proses teknolojisi, aşağıda 35μm ila 110 μm aralığında gösterildiği gibi kalınlık gibi gerekli kaplama özelliklerini ayarlayabilir.

Özellikle, Taccotta sprey kaplaması da aşağıdaki temel özelliklere ve avantajlara sahiptir:

● Daha çevre dostu: Su bazlı sprey kaplama ile bu yöntem daha çevre dostudur ve sanayileşmesi kolaydır;

● Esneklik: Taccotta teknolojisi, CVD'de mümkün olmayan kısmi kaplama ve bileşen yenilemesine izin vererek farklı boyut ve geometrilerdeki bileşenlere uyum sağlayabilir.

● Azaltılmış tantal kirliliği: Taccotta kaplamalı grafit bileşenleri SIC epitaksiyal üretiminde kullanılır ve tantal kirliliği mevcuta kıyasla% 75 azalır.CVD kaplamalar.

● Aşınma Direnci: Sırık testleri, kaplama kalınlığının arttırılmasının aşınma direncini önemli ölçüde artırabileceğini göstermektedir.

Çizik testi

Teknolojinin, yüksek performanslı grafit malzemeleri ve ilgili ürünler sağlamaya odaklanan bir ortak girişim olan NKCG tarafından ticarileştirme için teşvik edildiği bildirilmektedir. NKCG ayrıca Taccotta teknolojisinin geliştirilmesine gelecekte uzun süre katılacak. Şirket, müşterilerine Taccotta teknolojisine dayalı grafit bileşenleri sağlamaya başladı.

Vetek Semiconductor, TAC'nin lokalizasyonunu teşvik eder

2023'ün başlarında, Vetek Semiconductor yeni nesilleri başlattı.Sic kristal büyümesitermal alan malzemesi-gözenekli tantal karbür.

Raporlara göre, Vetek Semiconductor gelişiminde bir atılım başlattı.gözenekli tantal karbürbağımsız teknoloji araştırma ve geliştirme yoluyla büyük gözeneklilik ile. Gözenekliliği%75'e kadar ulaşabilir ve uluslararası liderliğe ulaşabilir.