Gan epitaksisi

Gan epitaksi, yüksek performanslı elektronik ve optoelektronik cihazlar üretmek için kullanılan gelişmiş bir yarı iletken üretim teknolojisidir. Farklı substrat malzemelerine göre,Gan epitaksiyal gofretlerGAN tabanlı GAN, SIC tabanlı GAN, safir tabanlı GAN veGan-on-Si.

       Gan epitaksisi üretmek için mocvd sürecinin basitleştirilmiş şeması

Gan epitaksisinin üretiminde, substrat sadece epitaksiyal birikme için bir yere yerleştirilemez, çünkü gaz akışı yönü, sıcaklık, basınç, fiksasyon ve düşen kirleticiler gibi çeşitli faktörleri içerir. Bu nedenle, bir tabana ihtiyaç vardır ve daha sonra diske substrat yerleştirilir ve daha sonra CVD teknolojisi kullanılarak substrat üzerinde epitaksiyal biriktirme gerçekleştirilir. Bu taban Gan epitaksi suyunudur.

SIC ve GAN arasındaki kafes uyuşmazlığı küçüktür, çünkü SIC'nin termal iletkenliği Gan, Si ve Safir'den çok daha yüksektir. Bu nedenle, substrat GaN epitaksiyal gofretine bakılmaksızın, SIC kaplamalı gan epitaksi duyucu, cihazın termal özelliklerini önemli ölçüde iyileştirebilir ve cihazın bağlantı sıcaklığını azaltabilir.

Malzemelerin kafes uyumsuzluğu ve termal uyuşmazlık ilişkileri

Bot Semiconductor tarafından üretilen Gan Epitaksi Suyucusu aşağıdaki özelliklere sahiptir.:

Malzeme: Sensör, yüksek saflıkta grafit ve bir SIC kaplamasından yapılmıştır, bu da yüksek sıcaklıklara dayanmasını ve epitaksiyal üretim sırasında mükemmel stabilite sağlamasını sağlar.

Termal iletkenlik: İyi termal performans, hassas sıcaklık kontrolünü sağlar ve GaN epitaksi duyucusunun iyi termal iletkenliği, Gan epitaksisinin eşit birikmesini sağlar.

Kimyasal stabilite: SIC kaplaması kontaminasyon ve korozyonu önler, bu nedenle Gan epitaksi suyunu MOCVD sisteminin sert kimyasal ortamına dayanabilir ve GAN epitaksisinin normal üretimini sağlayabilir.

Tasarım: Yapısal tasarım, varil şeklindeki veya gözleme şeklindeki duyucular gibi müşteri ihtiyaçlarına göre gerçekleştirilir. Daha iyi gofret verimi ve tabaka homojenliği sağlamak için farklı epitaksiyal büyüme teknolojileri için farklı yapılar optimize edilmiştir.

Needr ne olursa olsun, Vetek Semiconductor size en iyi ürünleri ve çözümleri sağlayabilir. İstediğiniz zaman danışmanızı dört gözle bekliyorum.

Temel fiziksel özellikleriCVD SIC kaplama:

Bot yarı iletkenGan epitaks sensör dükkanları: