Yarıiletken seramik bileşenlerinde hangi malzemeler kullanılır?

Alümina seramikleri (al₂o₃) ‌

Alümina seramikleri seramik bileşenleri üretimi için "işgücü" dir. Mükemmel mekanik özellikler, ultra yüksek erime noktaları ve sertlik, korozyon direnci, güçlü kimyasal stabilite, yüksek direnç ve üstün elektriksel yalıtım sergilerler. Genellikle parlatma plakaları, vakum aynaları, seramik kollar ve benzer parçalar üretmek için kullanılırlar.

‌Aluminum nitrür seramikleri (ALN)

Alüminyum nitrür seramikleri, yüksek termal iletkenlik, silikonla eşleşen bir termal genleşme katsayısı ve düşük dielektrik sabiti ve kaybına sahiptir. Yüksek erime noktası, sertlik, termal iletkenlik ve yalıtım gibi avantajlarla, öncelikle ısı-zayıflama substratlarında, seramik nozullarda ve elektrostatik aynalarda kullanılırlar.

‌Yttria seramikleri (y₂o₃)

Yttria seramikleri yüksek bir erime noktasına, mükemmel kimyasal ve fotokimyasal stabilite, düşük fonon enerjisi, yüksek termal iletkenlik ve iyi şeffaflığa sahiptir. Yarı iletken endüstrisinde, genellikle alümina seramikleri ile birleştirilirler - örneğin, seramik pencereler üretmek için alümina seramiklerine yttria kaplamaları uygulanır.

‌Silikon Nitrür Seramikleri (Si₃n₄) ‌

Silikon nitrür seramikleri, yüksek bir erime noktası, olağanüstü sertlik, kimyasal stabilite, düşük termal genleşme katsayısı, yüksek termal iletkenlik ve güçlü termal şok direnci ile karakterizedir. 1200 ° C'nin altındaki olağanüstü darbe direncini ve mukavemeti korurlar, bu da onları seramik substratlar, yük taşıyan kancalar, konumlandırma pimleri ve seramik tüpler için ideal hale getirir.

‌Silicon Karbür Seramikleri (sic) ‌

Silikon karbür seramikleriDiamond'a benzeyen özelliklerde, hafif, ultra sert ve yüksek mukavemetli malzemelerdir. Olağanüstü kapsamlı performans, aşınma direnci ve korozyon direnci ile valf koltuklarında, kayar yataklarda, brülörlerde, nozullarda ve ısı eşanjörlerinde yaygın olarak kullanılırlar.

‌Zirkonia seramikleri (zro₂) ‌

Zirkonya seramikleri yüksek mekanik mukavemet, ısı direnci, asit/alkali direnci ve mükemmel yalıtım sunar. Zirkonya içeriğine dayanarak, şu şekilde kategorize edilir:

• Hassas seramikler (%99.9'u aşan içerik, entegre devre substratları ve yüksek frekanslı yalıtım malzemeleri için kullanılan).
• Sıradan seramikler‌ (genel amaçlı seramik ürünler için).

Yapısal özellikleriYarı iletken seramik Bileşenler

‌Dense seramikler‌

Yarı iletken endüstrisinde yoğun seramikler yaygın olarak kullanılmaktadır. Gözenekleri en aza indirerek yoğunlaştırma sağlarlar ve reaksiyon sinterleme, basınçsız sinterleme, sıvı faz sinterleme, sıcak presleme ve sıcak izostatik presleme gibi yöntemlerle hazırlanırlar.

‌ ‌ ‌ ‌ ‌Ous seramikleri

Yoğun seramiklerin aksine, gözenekli seramikler kontrollü bir boşluk içerir. Gözenek boyutuna göre mikro gözenekli, mezoparan ve makro gözenekli seramiklere sınıflandırılırlar. Düşük yığın yoğunluğu, hafif yapı, büyük spesifik yüzey alanı, etkili filtrasyon/termal yalıtım/akustik sönüm özellikleri ve kararlı kimyasal/fiziksel performans ile yarı iletken ekipmanlarda çeşitli bileşenler üretmek için kullanılır.