Elektrostatik emme bardaklarının üretim sürecinden seri üretim üreticilerine kadar

Dechuck prensibiElektrostatik aynaiş akışının elektrostatik kuvvet eliminasyonu ve gofret salım mekanizmalarını içeren önemli bir parçasıdır. Aşağıda ayrıntılı bir analiz:

Dechuck'ın çekirdeği, gofret üzerinde adsorbe edilen elektrostatik kuvveti ortadan kaldırmak veya nötralize etmektir ve spesifik yöntemler şunları içerir:

Youdaoplaceholder0 gücü kesti

Elektrot alanını kademeli olarak ortadan kaldırmak için elektrota doğrudan bir akım voltajı uygulamayı bırakın.

Youdaoplaceholder0 Ters voltaj veya gaz enjeksiyonu ‌

Bazı sistemler, yük nötralizasyonunu veya fiziksel ayrılmayı hızlandırmak için ters voltaj uygulayacak veya inert gazlar (He, N₂ gibi) getirecektir.

ESC üretiminin profesyonel tekniklerini karşılaştıralım ve önce şirketin böyle bir ölçeğe ulaşıp ulaşamayacağını görelim.

CAE analiz teknolojisi, plaka fonksiyonel malzemeleri, elektrot tasarımı, analiz teknolojisi, soğutma kanalı teknolojisi, ısıtıcı tasarım teknolojisi, yarı iletken ekipmanlarda üst düzey personel.

Japon ve Güney Koreli şirketler bu tür ilgili personel ile tam olarak görevlendirilmelidir. Değilse, şirketin teknolojisi hakkında konuşmaya gerek yoktur.

Chuck teknolojisi, elektrotlar, diskler ve hatta HE akış prensibi henüz açıklığa kavuşturulmadı. Kaba bir elektrostatik vantuz yapalım. Bu tür şirketler doğrudan aktarılır. Temel olarak yatırımcıların parasını dizginlemek için kullanılırlar. Bu, nasıl olduğunu bilmenin temel seviyesidir. Yatırımcılar ayrıca kart oyunlarıyla oynayan ve dağlama ekipmanlarında 10 yılı aşkın deneyime sahip hiçbir çalışanı olmayan bir şirketten vazgeçmelidir, çünkü bu pratik şeyler yapan bir şirket değildir.

Sektörde toz ateşleme söz konusu olduğunda, herkes aynı alanda. Her birinin kendine özgü formülü vardır. Hangisinin sinterlenmiş seramik yüzeylerle donatılacak gücü yok? Yatırımcılar ayrıca bu yapılandırmaları veya bunları tam olarak kavrayan şirketleri de aktarabilirler, çünkü temel mantıkları aynıdır: ürün geliştirmeyi değil, para kazanmayı amaçlamaktadırlar.

Onarımla ilgili olarak, birçok yerli şirket şimdiye kadar L1 ila L3 için ilgili yeteneklere sahip olmalıdır. Yetenekler biraz eksik olsa bile, L1 yine de halledebilir. L3 ve üstü için ya onarılamaz veya taşeronluk edilebilir. Her durumda, hala onarmanın bir yolu var.

L1 Onarım Yüzey Onarımı, Yüzey Pürüzlülüğü Geliştirme/Düzenlik İyileştirme/Yumru Rejenerasyonu.

L2 Onarımı: Ortak tabaka onarımı, metal tabanın yeniden yapılması ve eklem tabakasının seramik disk/yeniden doldurulması.

L3 Onarım seramik disk değiştirme, seramik disk üretimi/metal taban ve seramik diskin yeniden kullanımı.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Şirket, temel teknoloji olarak elektrostatik mandrenlere dayanan yerli elektrostatik aynaların tasarımı ve üretiminde önde gelen bir konuma sahiptir. Şu anda, Haituo Innovation ticari elektrostatik emme bardağı üretimine ulaştı ve 4 inç ila 12 inç yarı iletken FAB elektrostatik tabakalarının teslimatını tamamladı.

Pekin Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Şirket tarafından bağımsız olarak geliştirilen elektrostatik emme bardağı ilgili standartlara ve işlemeYarıiletken endüstrisinin gereksinimleri. Erken aşamada geliştirilen 12 inç PVD alüminyum nitrür elektrostatik emme bardağı, bir dereceye kadar, bu ürün alanındaki yabancı üreticilerin uzun vadeli tekelini kırmıştır. Şu anda, Huazhuo Jingke, elektrostatik emme bardaklarının ilgili teknolojisini ürün üretimine uyguladı ve küçük ölçekli seri üretim elde etti. Ayrıca müşteriler için özelleştirilmiş ürünler sağlayabilir.

2016 yılında kurulan, yarı iletken endüstrisi için ileri kaplama malzemelerinin önde gelen bir sağlayıcısıdır. Çin Bilimler Akademisi Malzeme Enstitüsü'nden eski bir uzman olan kurucumuz, şirketi endüstri için en yeni çözümler geliştirmeye odaklanarak kurdu.

Ana ürün tekliflerimiz arasında CVD silikon karbür (sic) kaplamalar, tantal karbür (TAC) kaplamalar, dökme sic, sic tozları ve yüksek saflıkta SIC malzemeleri bulunmaktadır. Ana ürünler SIC kaplamalı grafit suyunu, ön ısıtma halkaları, TAC kaplı saptırma halkası, yarımmoon parçaları, vb., Saflık 5ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

BT tarafından geliştirilen elektrostatik emme kupası ürünleri, çip imalat işletmelerinin taleplerini karşılayabilecek performans göstergeleri vardır. Kontrol edilebilir sıcaklık, düzgün adsorpsiyon kuvveti, adsorpsiyon sırasında çizik veya kırışıklık ve gofretler üzerinde kenar dışlama etkisi gibi olağanüstü özelliklere sahiptirler. Yangtze Bellek Teknolojileri, Silan Mikroelektronik ve Kuzey Çin yeniliği gibi önde gelen yerli yarı iletken endüstrisi işletmeleri tarafından sertifikalandırılmış ve satışa ulaşmışlardır. Bu ürün alanındaki yabancı üreticilerin tekelini kırdı.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

2022'de şirket, hassas seramik bileşenleri alanında stratejik hareketler yaptı ve ısıtma plakaları ve elektrostatik aynalar gibi son derece teknik hassas parçaların lokalizasyonunu sağladı. Zhongci Electronics tarafından geliştirilen seramik ısıtma plakalarının temel teknik göstergeleri benzer uluslararası ürünler seviyesine ulaşmış ve kullanıcılar tarafından doğrulanmıştır. Anahtar yurtiçi yarı iletken ekipmanlarda partiler halinde uygulanmıştır. Seramik ısıtma plakaları toplu olarak verilmiştir ve numune testi için elektrostatik tabakalar gönderilmiştir.