Sektör Haberleri

Mevcut teknolojiler arasında, Büyük boyutlu rezistanslı ısıtma SiC kristal büyütme fırını, gelişmiş tutarlılık ve verimliliğe sahip, geniş çaplı, düşük kusurlu SiC kristalleri üretmek için kritik bir çözüm olarak ortaya çıkmıştır. Bu makale bu teknolojinin nasıl çalıştığını, avantajlarını, uygulamalarını ve sektör liderlerinin neden Veteksemi'nin yenilikçi çözümlerine güvendiğini araştırıyor.

ASM için SiC kaplı grafit tutucu yalnızca bir epitaksi sistemi içindeki yedek parça değildir. Termal homojenliği, levha temizliğini, kaplama dayanıklılığını, hazne stabilitesini ve uzun vadeli üretim maliyetini etkileyen, süreç açısından kritik bir taşıyıcıdır.

CVD TaC Kaplama Kapağı yalnızca koruyucu bir kapak veya kaplanmış grafit bileşen değildir. Yüksek sıcaklıktaki yarı iletken proseslerde hazne temizliğini, termal stabiliteyi, parça ömrünü ve proses tutarlılığını etkileyebilir.