Tantal karbür tac kaplama nedir? - Veteksemicon

Tantalik karbür (TAC) nedir?

Tantal karbür (TAC) seramik malzemesinin erime noktasına 3880 ℃ 'ye kadar bir erime noktasına sahiptir ve yüksek erime noktası ve iyi kimyasal stabiliteye sahip bir bileşiktir. Yüksek sıcaklık ortamlarında kararlı performansı koruyabilir. Ek olarak, yüksek sıcaklık direnci, kimyasal korozyon direncine ve karbon malzemeleriyle iyi kimyasal ve mekanik uyumluluğa sahiptir, bu da onu ideal bir grafit substrat koruyucu kaplama malzemesi haline getirir. 

Tantal karbür kaplamaGrafit bileşenlerini sert kullanım ortamlarında sıcak amonyak, hidrojen, silikon buhar ve erimiş metalin etkilerinden etkili bir şekilde koruyabilir, grafit bileşenlerinin hizmet ömrünü önemli ölçüde genişletebilir ve grafitte safsızlıkların göçünü bastırarak kalitesini sağlar.epitaksiyalVekristal büyümesi.

Şekil 1. Yaygın tantal karbür kaplı bileşenler

TAC kaplamanın CVD işlemi ile hazırlanması

Kimyasal buhar birikimi (CVD), grafit yüzeylerde TAC kaplamaları üretmek için en olgun ve optimal yöntemdir.

Tacl5 ve propilene sırasıyla karbon ve tantal kaynakları olarak ve taşıyıcı gaz olarak argon kullanılarak, reaksiyon odasına yüksek sıcaklıklı buharlaştırılmış TACL5 buharı sokulur. Hedef sıcaklık ve basınçta, öncü malzeme buharı, grafit yüzeyinde adsorbe eder, karbon ve tantal kaynaklarının ayrışması ve kombinasyonu gibi bir dizi karmaşık kimyasal reaksiyonun yanı sıra, prekürörün difüzyonu ve desorpsiyonu gibi bir dizi yüzey reaksiyonu geçirir. Son olarak, grafitin yüzeyinde, grafiti aşırı çevresel koşullar altında sabit varoluştan koruyan ve grafit malzemelerin uygulama senaryolarını önemli ölçüde genişleten yoğun bir koruyucu tabaka oluşur.

Şekil 2.Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Süreç prensibi

CVD TAC kaplamasının hazırlanması ilkeleri ve süreci hakkında daha fazla bilgi için lütfen makaleye bakın:CVD TAC kaplama nasıl hazırlanır?

Neden Veteksemicon'u seçmelisiniz?

YarımEsas olarak tantal karbür ürünleri sağlar: TAC kılavuz yüzüğü, TAC kaplı Üç Petal Ring,Tac kaplama potası, TAC kaplama gözenekli grafit yaygın olarak kullanılır sic kristal büyüme işlemidir; TAC kaplı, TAC kaplı kılavuz halkalı gözenekli grafit,TAC kaplı grafit gofret taşıyıcı, Tac kaplama duyucuları,gezegenVe bu tantal karbür kaplama ürünleri yaygın olarak kullanılmaktadır.Sic epitaksi süreciVeSic tek kristal büyüme işlemi.

Şekil 3.VeterinerEK Semiconductor'ın en popüler tantal karbür kaplama ürünleri