CVD TAC kaplama potası

TAC kaplama rotasyon duyucusu, CVD ve MBE gibi yüksek sıcaklık biriktirme işlemlerinde önemli bir rol oynar ve yarı iletken üretiminde gofret işleme için önemli bir bileşendir. Aralarında,Tac kaplamaGofret işleme sırasında yüksek hassasiyet ve yüksek kalite sağlayan mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine ve kimyasal stabiliteye sahiptir.

CVD TAC kaplama Crucible genellikle TAC kaplama vegrafitsubstrat. Bunlar arasında TAC, 3880 ° C'ye kadar erime noktası olan yüksek bir erime noktası seramik malzemedir. Son derece yüksek sertliğe (2000 HV'ye kadar vickers sertliği), kimyasal korozyon direncine ve güçlü oksidasyon direncine sahiptir. Bu nedenle, TAC kaplama yarı iletken işleme teknolojisinde mükemmel yüksek sıcaklığa dayanıklı bir malzemedir.

Grafit substrat iyi termal iletkenliğe (termal iletkenlik yaklaşık 21 w/m · k) ve mükemmel mekanik stabiliteye sahiptir. Bu karakteristik, grafitin ideal bir kaplama haline geldiğini belirlersubstrat.

CVD TAC kaplama potası esas olarak aşağıdaki yarı iletken işleme teknolojilerinde kullanılır:

Gofret üretimi: Vetek Yarıiletken CVD TAC kaplama potası mükemmel yüksek sıcaklık direncine (3880 ° C'ye kadar erime noktasına sahiptir) ve korozyon direncine sahiptir, bu nedenle genellikle yüksek sıcaklık buhar birikimi (CVD) ve epitaksiyal büyüme gibi anahtar üretim işlemlerinde kullanılır. Ürünün ultra yüksek sıcaklık ortamlarındaki mükemmel yapısal stabilitesi ile birleştiğinde, ekipmanın son derece sert koşullar altında uzun süre stabil bir şekilde çalışabilmesini ve böylece gofretlerin üretim verimliliğini ve kalitesini etkili bir şekilde iyileştirmesini sağlar.

Epitaksiyal büyüme süreci: Epitaksiyal süreçlerdeKimyasal buhar birikimi (CVD)ve moleküler ışın epitaksisi (MBE), CVD TAC kaplama potası, taşınmada önemli bir rol oynar. TAC kaplaması, sadece aşırı sıcaklık ve aşındırıcı atmosfer altında malzemenin yüksek saflığını korumakla kalmaz, aynı zamanda reaktanların malzeme üzerindeki kontaminasyonunu ve reaktörün korozyonunu etkili bir şekilde önleyerek üretim sürecinin ve ürün tutarlılığının doğruluğunu sağlar.

Çin'in önde gelen CVD TAC kaplama pota üreticisi ve lideri olarak, Vetek Semiconductor ekipman ve süreç gereksinimlerinize göre özelleştirilmiş ürünler ve teknik hizmetler sağlayabilir. Çin'deki uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama：

TAC kaplamanın fiziksel özellikleri：

Yarıiletken CVD TAC Kaplama Yürütme Mağazaları ：