CVD SIC kaplı gofret varil tutucusu

Metal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD), şu anda yarı iletken lazer ve LED'lerin, özellikle Gan epitaksisinin üretiminde yaygın olarak kullanılan en sıcak epitaksiyal büyüme teknolojisidir. Epitaksi, bir kristal substrat üzerindeki başka bir tek kristal filmin büyümesini ifade eder. Epitaksi teknolojisi, yeni yetiştirilen kristal filmin altta yatan kristal substrat ile yapısal olarak hizalanmasını sağlayabilir. Bu teknoloji, yüksek performanslı yarı iletken cihazların üretimi için gerekli olan substrat üzerinde belirli özelliklere sahip filmlerin büyümesine izin verir.

Gofret varil tutucu epitaksiyal büyüme fırınının temel bir bileşenidir. CVD SIC kaplama gofret tutucu, çeşitli CVD epitaksiyal büyüme fırınlarında, özellikle MOCVD epitaksiyal büyüme fırınlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.

Fonksiyonlar ve FECVD SIC kaplı gofret namlu tutucusunun atürleri

● Alt tabakaların taşıma ve ısıtma: CVD SIC kaplamalı namlu suyeni, MOCVD işlemi sırasında substratları taşımak ve gerekli ısıtmayı sağlamak için kullanılır. CVD SIC kaplı gofret varil tutucu yüksek saflıkta grafit ve sic kaplamadan oluşur ve mükemmel performansa sahiptir.

● Tekdüzelik: MOCVD işlemi sırasında, grafit namlu tutucu epitaksiyal tabakanın düzgün bir şekilde büyümesini sağlamak için sürekli olarak döner.

● Termal stabilite ve termal homojenlik: SIC kaplı namlu suyunun SIC kaplaması, mükemmel termal stabiliteye ve termal homojenliğe sahiptir, böylece epitaksiyal tabakanın kalitesini sağlar.

● kontaminasyondan kaçının: CVD SIC kaplı gofret namlu tutucusu mükemmel stabiliteye sahiptir, böylece operasyon sırasında düşen kirleticiler üretmez.

● Ultra uzun hizmet ömrü: SIC kaplaması nedeniyle, CVD SIC kaplı BArrel Suyu, MOCVD'nin yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gaz ortamında hala yeterli dayanıklılığa sahiptir.

Namlu CVD reaktörünün şeması

Vetek Semiconductor'ın CVD SIC kaplı gofret var tutucusunun en büyük özelliği

● En yüksek özelleştirme derecesi: Grafit substratının malzeme bileşimi, SIC kaplamanın malzeme bileşimi ve kalınlığı ve gofret tutucunun yapısı müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.

● Diğer tedarikçilerin önünde olmak: EPI için Vetek Semiconductor'ın SIC kaplamalı grafit varil suyunu da müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir. İç duvarda, müşteri ihtiyaçlarına yanıt vermek için karmaşık kalıplar yapabiliriz.

Kuruluşundan bu yana, Vetek Semiconductor SIC kaplama teknolojisinin sürekli araştırılmasına bağlıdır. Bugün, Vetek Semiconductor endüstrinin önde gelen SIC kaplama ürün gücüne sahiptir. Vetek Semiconductor, CVD SIC kaplamalı gofret varil tutucu ürünlerinde ortağınız olmayı dört gözle bekliyor.

CVD SIC kaplama filmi kristal yapısının SEM verileri

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri