Yüksek saflık sic konsol kürek

Yüksek saflıkta Sic Konsol kürek, yarı iletken işleme ekipmanlarında kullanılan temel bir bileşendir. Ürün yüksek saflıkta silikon karbür (sic) malzemeden yapılmıştır.  Müşteriler sinterlenmiş SIC malzemesini veya yeniden kristalli SIC malzemesini serbestçe seçebilir. Yüksek saflık, yüksek termal stabilite ve korozyon direncinin mükemmel özelliklerinin yardımıyla, gofret transferi, destek ve yüksek sıcaklık işlemesi gibi işlemlerde yaygın olarak kullanılır ve süreç doğruluğu ve ürün kalitesinin sağlanması için güvenilir bir garanti sağlar.

Yüksek Saflık Sic Candilever Paddle, yarı iletken işleme işleminde aşağıdaki belirli rolleri oynar:

Gofret transferi: Yüksek saflıkta Sic konsol kürek genellikle yüksek sıcaklık difüzyon veya oksidasyon fırınlarında bir gofret transfer cihazı olarak kullanılır. Yüksek sertliği, aşınmaya dayanıklı ve uzun süreli kullanım sırasında deforme olmasını kolaylaştırmaz ve aktarım işlemi sırasında gofretin doğru bir şekilde konumlandırılmasını sağlayabilir. Yüksek sıcaklık ve korozyon direnci ile birleştiğinde, gofretleri yüksek sıcaklık ortamlarında fırın tüpüne içine ve dışına, gofretlerde herhangi bir kontaminasyon veya hasara neden olmadan güvenli bir şekilde aktarabilir.

Gofret desteği: SIC malzemesi düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir, bu da sıcaklık değiştiğinde boyutunun daha az değiştiği anlamına gelir, bu da işlemdeki hassas kontrolün korunmasına yardımcı olur. Kimyasal buhar birikimi (CVD) veya fiziksel buhar birikimi (PVD) işlemlerinde, sic konsol kürek, gofretin biriktirme işlemi sırasında sabit ve düz kalmasını sağlamak için gofreti desteklemek ve düzeltmek için kullanılır, böylece filmin tekdüzeliğini ve kalitesini iyileştirir.

Yüksek sıcaklık işlemlerinin uygulanması: SIC Konsol kürek mükemmel termal stabiliteye sahiptir ve 1600 ° C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir. Bu nedenle, bu ürün yüksek sıcaklık tavlama, oksidasyon, difüzyon ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yüksek saflıkta temel fiziksel özellikler:

Yüksek saflık sic konsol kürekdükkanlar:

Yarıiletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: