Yüksek Saflıkta CVD SiC Kaplamalı Gofret Teknesi

1. Temel Performans Faktörleri?

• 7N Düzeyinde Saflık:%99,99999 (7N) saflık standardını koruyoruz. Uzun sürme veya oksidasyon adımları sırasında metal kirleticilerin levhaya geçmesini önlemek için bu tartışılamaz.
• CVD Mührü (50–300μm):Biz sadece yüzeyi "boyamıyoruz". 50–300μm CVD SiC katmanımız alt tabaka üzerinde tam bir yalıtım oluşturur. Bu, gözenekliliği ortadan kaldırır, yani tekne, reaktif gazlara tekrar tekrar maruz kaldıktan veya agresif SPM/DHF temizliğinden sonra bile kimyasalları tutmayacak veya parçacık saçmayacak anlamına gelir.
• Termal Sertlik:Silisyum Karbürün doğal düşük termal genleşmesi bu teknelerin düz durmasını sağlar. Hızlı Termal Tavlama (RTA) sırasında sarkmayacak veya bükülmeyecekler ve robot kolunun sıkışmadan her zaman doğru yuvaya çarpmasını sağlayacaklar.
• Sürdürülebilir Verim:Yüzey düşük yan ürün yapışması için tasarlanmıştır. Daha az birikme, levhalarınıza daha az parçacık çarpması ve ıslak tezgah temizleme döngüleri arasında daha fazla işlem yapılması anlamına gelir.
• Özel Geometri:Her fabrikanın kendi düzeni vardır. İster yatay bir fırın ister dikey 300 mm'lik otomatik bir hat çalıştırıyor olun, bunları özel Pitch ve Slot çizimlerinize göre işliyoruz.

2. Süreç Uyumluluğu

• Atmosfer:TMGa, AsH₃ ve yüksek konsantrasyonlu O₂ ortamlarına dayanıklıdır.
• Termal Aralık:1400°C'ye kadar uzun süreli kararlı çalışma.
• Malzemeler:Mantık, Güç ve Analog levhaların oksidasyon ve difüzyon işlemleri için özel olarak tasarlanmıştır.