PZT Piezoelektrik Gofretler (Si/SOI üzerinde PZT)

1. Teknik Mimari

Plakalarımız, karmaşık MEMS işleme sırasında optimum yapışma, iletkenlik ve piezoelektrik tepkiyi sağlamak için tasarlanmış gelişmiş, çok katmanlı bir yığın yapısına sahiptir:

 ●Üst Elektrot (Anahtar Katman): Pt (Platin).

● Piezo Katmanı (Çekirdek Katman): PZT.

● Ara Katmanlar: Tane yönelimini ve yapısal stabiliteyi optimize etmek için Tampon Katmanı, Alt Elektrot ve Yapışma Katmanını içerir.

● Yüzey: Si veya SOI levhalarla uyumludur.

2. Kalite Güvencesi ve Mikroyapı Analizi

Titiz teknik karakterizasyon yoluyla yüksek güvenilirlik sağlıyoruz:

 ●SEM Analizi: Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntüleri, yüksek güvenilirliğe sahip MEMS uygulamaları için ideal olan, tekdüze tane boyutu dağılımına sahip, yoğun, çatlaksız bir yüzey morfolojisini ortaya çıkarır.

 ●XRD Karakterizasyonu: X-Işını Kırınımı (XRD) desenleri, güçlü (100) tercih edilen yönelimle saf perovskit faz oluşumunu doğrulayarak maksimum piezoelektrik performans katsayılarını sağlar.

3. Teknik Özellikler (Özellikler)

4. Temel Uygulamalar

 ● Piezoelektrik Mikro İşlenmiş Ultrasonik Dönüştürücüler (pMUT): Parmak izi sensörleri, hareket tanıma ve otomotiv ultrasonik radarı için yüksek frekanslı minyatür diziler.

 ● İletişim: Daha geniş bant genişliği ve daha düşük ekleme kaybı elde etmek için 5G/6G'de FBAR veya SAW filtreleri üretmenin anahtarı.

 ● Akustik MEMS: MEMS hoparlörleri için güçlü geçici yanıt sağlar ve MEMS mikrofonları için Sinyal-Gürültü Oranını (SNR) iyileştirir.

 ● Hassas Sıvı Kontrolü: Mürekkep püskürtmeli yazıcı kafalarındaki damlacık hacminin nanolitre ölçeğinde hassas kontrolü için d31 modu aracılığıyla yüksek hızlı titreşim.

 ● Tıp ve Güzellik (Mikro Pompalama): Tıbbi nebülizatörleri veya kozmetik ultrasonik pompaları yüksek güvenilirlik ve kompakt boyutla çalıştırır.

5. Özelleştirme Hizmetleri

Si levhalar üzerinde standart biriktirmeye ek olarak, özel biriktirme hizmetleri de sağlıyoruz:

 ●Film ve Kalınlık Özelleştirme: Tasarım gereksinimlerine göre özel film türlerinin ve özel kalınlıkların biriktirilmesi.

 ●OEM Dökümhanesi: Yüksek kaliteli piezoelektrik ince film büyütme için müşterilerden temin edilen levhaların kabulü.

 ●SOI Yüzey Desteği: Aşağıdaki özelliklere sahip SOI levhaları üzerinde özel biriktirme: