Haberler

Yarı iletken imalat endüstrisinde, cihaz büyüklüğü küçülmeye devam ettikçe, ince film malzemelerinin biriktirme teknolojisi benzeri görülmemiş zorluklar yarattı. Atomik seviyede hassas kontrol elde edebilen ince bir film biriktirme teknolojisi olarak atomik tabaka birikimi (ALD), yarı iletken üretiminin vazgeçilmez bir parçası haline gelmiştir. Bu makale, ileri yonga üretimindeki önemli rolünü anlamaya yardımcı olmak için ALD süreç akışını ve ilkelerini tanıtmayı amaçlamaktadır.

Mükemmel bir kristalin taban katmanı üzerine entegre devreler veya yarı iletken cihazlar oluşturmak idealdir. Yarı iletken üretimindeki epitaksi (epi) işlemi, tek kristalli bir alt tabaka üzerinde genellikle yaklaşık 0,5 ila 20 mikron kadar ince bir tek kristalli katman biriktirmeyi amaçlar. Epitaksi işlemi, özellikle silikon levha imalatında yarı iletken cihazların üretiminde önemli bir adımdır.

Epitaksi ve atomik tabaka birikimi (ALD) arasındaki temel fark, film büyüme mekanizmalarında ve çalışma koşullarında yatmaktadır. Epitaksi, aynı veya benzeri kristal yapıyı koruyarak, belirli bir yönlendirme ilişkisine sahip kristal bir substrat üzerinde kristalin ince bir film yetiştirme işlemini ifade eder. Aksine, ALD, bir seferde ince bir film bir atomik tabaka oluşturmak için sırayla bir substratın farklı kimyasal öncülere maruz bırakılmasını içeren bir biriktirme tekniğidir.

CVD TAC kaplama, bir substrat (grafit) üzerinde yoğun ve dayanıklı bir kaplama oluşturmak için bir işlemdir. Bu yöntem, TAC'nin yüksek sıcaklıklarda substrat yüzeyine biriktirilmesini içerir, bu da mükemmel termal stabilite ve kimyasal dirençli bir tantal karbür (TAC) kaplamasına neden olur.

8 inçlik silisyum karbür (SiC) işlemi olgunlaştıkça üreticiler 6 inçten 8 inçe geçişi hızlandırıyor. Son zamanlarda ON Semiconductor ve Resonac, 8 inç SiC üretimine ilişkin güncellemeleri duyurdu.

Bu makale, İtalyan LPE şirketinin yeni tasarlanan PE1O8 sıcak duvarlı CVD reaktöründeki en son gelişmeleri ve bu reaktörün 200 mm SiC üzerinde tekdüze 4H-SiC epitaksi gerçekleştirme yeteneğini tanıtmaktadır.