Yarıiletken ekipmanlarına kuvars bileşenlerinin uygulanması

Kuvars ürünleriyüksek saflık, yüksek sıcaklık dirençleri ve güçlü kimyasal stabiliteleri nedeniyle yarı iletken üretim işleminde yaygın olarak kullanılmaktadır.

1. Quartz Crucible

Uygulama - Monokristalin silikon çubuklar çizmek için kullanılır ve silikon gofret üretiminde çekirdek bir sarf malzemesidir.

Kuvars hacimlerimetal safsızlıklarla kontaminasyonu azaltmak için yüksek saflıkta kuvars kumdan (4N8 derecesi ve üstü) yapılmıştır. Yüksek sıcaklık stabilitesine (erime noktası> 1700 ° C) ve düşük bir termal genleşme katsayısına sahip olmalıdır. Yarıiletken alanındaki kuvars hakemleri esas olarak silikon tek kristallerin üretimi için kullanılır. Polikristalin silikon hammaddeleri yüklemek için sarf malzemesi kaplarıdır ve kare ve yuvarlak tiplere ayrılabilir. Kare olanlar, polikristalin silikon ingotların dökümü için kullanılırken, yuvarlak olanlar monokristal silikon çubukların çizimi için kullanılır. Yüksek sıcaklıklara dayanabilir ve silikon tek kristallerin saflığını ve kalitesini sağlayarak kimyasal stabiliteyi koruyabilir.

2. kuvars fırın tüpleri

Kuvars tüpleriyüksek sıcaklık direnci (uzun süreli çalışma sıcaklığı 1100 ° C'nin üzerine ulaşabilir), kimyasal korozyon direncine (hidroflüorik asit gibi birkaç reaktif hariç) (safsızlık içeriği hariç, PPM veya hatta PPB seviyesine karşı) ve mükemmel ışık aktaranına karşı (özellikle ultraviyol römorklarına karşı) yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılır. Temel senaryolar, gofret üretiminin birden fazla önemli işlem bağlantısında yoğunlaşmıştır.

Ana Uygulama Bağlantıları:difüzyon, oksidasyon, CVD (kimyasal buhar birikimi)

Amaç:

• Difüzyon Tüpü: Yüksek sıcaklık difüzyon işlemlerinde kullanılır, doping için silikon gofret taşır.
• Fırın tüpü: Yüksek sıcaklık oksidasyon tedavisi için oksidasyon fırınındaki kuvars tekneleri destekler.

Özellikler:

Yüksek saflıkta (metal iyonu ≤1ppm) ve yüksek sıcaklık deformasyon direncinin (1200 ° C'nin üzerinde) gereksinimlerini karşılamalıdır.

3. Kuvars kristal tekne

Farklı ekipmanlara bağlı olarak, dikey ve yatay tiplere ayrılır. Farklı fab üretim hatlarına bağlı olarak, boyut aralığı 4 ila 12 inçtir. Yarıiletken IC'lerin imalatında,kuvars kristal tekneleresas olarak gofret transferi, temizleme ve işleme işlemlerinde kullanılır. Yüksek saflık ve yüksek sıcaklık dirençli gofret taşıyıcıları olarak, vazgeçilmez bir rol oynarlar. Fırın tüpünün difüzyonu veya oksidasyon işleminde, kuvars kristal teknelerine birden fazla gofret yerleştirilir ve daha sonra toplu üretim için fırın tüpüne itilir.

Yarıiletkenlerdeki enjektörler esas olarak gaz veya sıvı malzemelerin tam olarak taşınması için kullanılır ve ince film birikimi, dağlama ve doping gibi çoklu anahtar işlem bağlantılarına uygulanır.

Silikon transistör ve entegre devre üretiminin temizleme işleminde, silikon gofret taşımak için kullanılır ve silikon gofretlerin temizleme işlemi sırasında kirlenmemesini sağlamak için asit ve alkali dirençli olması gerekir.

6. Kuvars flanşları, kuvars halkaları, odaklanma halkaları, vb.

Boşluğun kapalı bir korumasını elde etmek için, gofretin yakından çevrelenmesi, dağlama üretim süreci sırasında çeşitli kontaminasyon türlerini önleyen ve koruyucu bir rol oynaması için diğer kuvars ürünleri ile birleştirilmiş yarı iletken dağlama işlemlerinde kullanılır.

Kuvars çan kavanozlarıYarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve yüksek ışık geçirgenliği içeren temel bileşenlerdir.Polysilikon azaltma fırını kapağı: Kuvars çan kapağı esas olarak polissilikon için indirgeme fırını kapağı olarak kullanılır. Polisilikon üretiminde, yüksek saflıkta triklorosilan, belirli bir oranda hidrojen ile karıştırılır ve daha sonra bir kuvars çan örtüsü ile donatılmış indirgeme fırına sokulur, burada iletken silikon çekirdeğinde polisilicon depolamak ve oluşturmak için bir indirgeme reaksiyonu meydana gelir.

8. Kuvars ıslak temizlik tankı

Uygulama aşaması: Silikon gofretlerin ıslak temizliği

Kullanım: Asit yıkama (HF, H₂SO₄, vb.) Ve ultrasonik temizlik için kullanılır.

Özellikler: Güçlü kimyasal stabilite ve güçlü asit korozyonuna direnç.

9. Quartz Sıvı Koleksiyon Şişesi

Sıvı toplama şişesi esas olarak ıslak temizleme işleminde atık sıvı veya artık sıvı toplamak için kullanılır

Gofretlerin ıslak temizleme işlemi sırasında (RCA temizliği, SC1/SC2 temizliği gibi), gofretleri durulamak için büyük miktarda ultra örgü su veya reaktif gereklidir ve durulandıktan sonra, eser safsızlıklar içeren artık sıvı üretilecektir. Bazı kaplama işlemlerinden sonra (fotorezist kaplama gibi), toplanması gereken fazla sıvılar (fotorezist atık sıvı gibi) de olacaktır.

Fonksiyon Kuvars sıvı toplama şişeleri, bu kalıntı veya atık sıvıları, özellikle "yüksek hassasiyetli temizleme adımı" (gofret yüzeyinin tedavi öncesi aşaması gibi) yakından toplamak için kullanılır; Kuvars şişelerinin düşük kontaminasyonu, artık sıvının yeniden kontamine olmasını önleyebilir, sonraki iyileşmeyi (reaktif saflaştırma gibi) veya hassas tespiti (artık sıvıdaki safsızlık içeriğinin analizi gibi) kolaylaştırabilir.

Ek olarak, sentetik kuvars malzemelerinden yapılmış kuvars maskeleri, fotolitografiye desen transferi için fotolitografi makinelerinin "negatifleri" olarak uygulanır. Ve ince filmin kalınlığını izlemek ve diğer birçok yönün yanı sıra birikimin tekdüzeliğinin bu makalede detaylandırılmamasını sağlamak için ince film birikiminde (PVD, CVD, ALD) kullanılan kuvars kristal osilatörleri.

Sonuç olarak, kuvars ürünleri, monokristalin silikonun (kuvars haçlı) büyümesinden fotolitografiye (kuvars maskeleri), aşınma (kuvars halkaları) ve ince film biriktirme (kuvars kristal osilatörler), bunların hepsi mükemmel ve kimyasal özelliklerine dayanan tüm yarı iletken üretim süreci boyunca neredeyse mevcuttur. Yarı iletken işlemlerin evrimi ile kuvars malzemelerinin saflığı, sıcaklık direnci ve boyutsal doğruluğu için gereksinimler daha da artırılacaktır.