Gözenekli SiC Vakum Chuck

Vetek Yarı İletken Gözenekli SiC Vakumlu Ayna esas olarak mükemmel performansa sahip bir seramik malzeme olan silisyum karbürden (SiC) oluşur. Gözenekli SiC Vakum Chuck, yarı iletken işleme sürecinde levha desteği ve sabitleme rolünü oynayabilir. Bu ürün, düzgün bir emme sağlayarak, levhanın bükülmesini ve deformasyonunu etkili bir şekilde önleyerek levha ile ayna arasındaki yakın uyumu sağlayabilir, böylece işlem sırasında akışın düzlüğünü sağlar. Ek olarak, silisyum karbürün yüksek sıcaklık direnci, aynanın stabilitesini sağlayabilir ve termal genleşme nedeniyle levhanın düşmesini önleyebilir. Daha fazla danışmak hoş geldiniz.

Elektronik alanında, gözenekli SIC vakum aynası, lazer kesimi, üretim gücü cihazları, fotovoltaik modüller ve güç elektronik bileşenleri için yarı iletken bir malzeme olarak kullanılabilir. Yüksek termal iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci onu elektronik cihazlar için ideal bir malzeme haline getirir. Optoelektronik alanında, lazerler, LED ambalaj malzemeleri ve güneş pilleri gibi optoelektronik cihazlar üretmek için gözenekli SIC vakum chuck kullanılabilir. Mükemmel optik özellikleri ve korozyon direnci, cihazın performansını ve stabilitesini artırmaya yardımcı olur.

Vetek Semiconductor şunları sağlayabilir::

1. Temizlik: SIC taşıyıcı işleme, gravür, temizlik ve son teslimattan sonra, tüm safsızlıkları yakması ve daha sonra vakum torbalarıyla paketlenmesi için 1,5 saat boyunca 1200 derece temperlenmelidir.

2. Ürün düzlüğü: Gofret yerleştirmeden önce, hızlı iletim sırasında taşıyıcının uçmasını önlemek için ekipmana yerleştirildiğinde -60kpa'nın üzerinde olmalıdır. Gofret yerleştirdikten sonra -70kpa'nın üzerinde olmalıdır. Yüksüz sıcaklık -50kPa'dan düşükse, makine uyarmaya devam edecektir ve çalışamaz. Bu nedenle, sırtın düzlüğü çok önemlidir.

3. Gaz Yolu Tasarımı: Müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilmiştir.

Müşteri testinin 3 aşaması:

1. Oksidasyon testi: Oksijen yok (müşteri hızlı bir şekilde 900 dereceye kadar ısınır, bu nedenle ürünün 1100 derecede tavlanması gerekir).

2. Metal Tortu Testi: Hızla 1200 dereceye kadar ısıtın, gofreti kirletmek için metal safsızlıklar serbest bırakılmaz.

3. Vakum testi: Gofretli ve gofretsiz basınç arasındaki fark +2ka (emme kuvveti) içindedir.

VeTek Yarı İletken Gözenekli SiC Vakumlu Ayna Özellikleri Tablosu:

Vetek Yarıiletken Gözenekli Sic Vakum Chuck Mağazaları:

Yarı iletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: