SiC kaplama yarım ay grafit parçalar

SiC epitaksiyel büyütme fırınının reaksiyon odasında, SiC kaplama Halfmoon grafit parçaları, gaz akışı dağılımını, termal alan kontrolünü ve reaksiyon atmosferi homojenliğini optimize etmek için temel bileşenlerdir. Genellikle SiC kaplamadan yapılırlar.grafit, substrat alanını çevreleyen reaksiyon odasının üst ve alt grafit kısımlarında bulunan yarım ay şeklinde tasarlanmıştır.

    •Üst yarım ay grafit kısmı: Reaksiyon gazının alt kısmına, reaksiyon gazını substrat yüzeyine doğru akacak şekilde yönlendirmekten sorumlu, reaksiyon odasının üst kısmına takılmıştır.

    •Alt yarım ay grafit kısmı: Gaz akış yönünü kontrol etmek ve substratın altındaki termal alanı ve gaz dağılımını optimize etmek için kullanılan reaksiyon odasının altında bulunan, genellikle substrat tutucusunun altında yer alır.

SırasındaSic epitaksi süreciÜstteki yarım ay şeklindeki grafit kısım, gaz akışının alt tabaka üzerinde eşit şekilde dağıtılmasına yardımcı olur, gazın doğrudan alt tabaka yüzeyine çarpmasını ve yerel aşırı ısınmaya veya hava akışı türbülansına neden olmasını önler. Alt yarım ay grafit kısmı, gazın alt tabaka boyunca düzgün bir şekilde akmasına ve daha sonra boşaltılmasına olanak tanırken türbülansın epitaksiyel tabakanın büyüme tekdüzeliğini etkilemesini önler.

Termal alan düzenlemesi açısından SiC kaplama Halfmoon grafit parçaları, ısının reaksiyon odasında şekil ve konum yoluyla eşit şekilde dağıtılmasına yardımcı olur. Üst yarım ay grafit kısmı, alt tabakanın üzerindeki sıcaklığın sabit olmasını sağlamak için ısıtıcının radyant ısısını etkili bir şekilde yansıtabilir. Alt yarım ay grafit kısmı da benzer bir role sahiptir ve aşırı sıcaklık farklılıklarını önlemek için ısı iletimi yoluyla ısının alt tabakanın altına eşit şekilde dağıtılmasına yardımcı olur.

SiC kaplama, bileşenleri yüksek sıcaklıklara dayanıklı ve termal olarak iletken hale getirir, böylece VeTek Semiconductor'ın yarım ay parçaları uzun bir servis ömrüne sahiptir. Dikkatle tasarlanmış, SiC epitaksi için yarım ay grafit parçalarımız birçok epitaksiyel reaktöre sorunsuz bir şekilde entegre edilebilir, bu da yarı iletken üretim sürecinin genel verimliliğini ve güvenilirliğini artırmaya yardımcı olur. SiC kaplama Halfmoon grafit parçalarınızın ihtiyacı ne olursa olsun, lütfen VeTek Semiconductor ile iletişime geçin.

VeteksemSic kaplama yarımmoon grafit parça dükkanları: