MOCVD grafit tepsisi nasıl seçilir?

Soru 1: MOCVD grafit tepsisi nedir ve epitaksiyal süreç için neden bu kadar önemlidir?

MOCVD grafit tepsisi veya MOCVD grafit suyeni olarak da bilinen metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) grafit plakası, epitaksiyal büyüme sırasında yarı iletken gofretleri sabitlemek için kullanılan yüksek saflıkta bir bileşendir. Epitaksiyal süreçte, bir ısıtma elemanı görevi görür ve gelişmiş yarı iletken cihazlar, LED üretim ve güneş hücreleri gibi uygulamalarda ince filmlerin yatırılmasında yeri doldurulamaz bir rol oynayan tek tip sıcaklık dağılımı sağlar.

Grafit tepsisi aşırı sıcaklıklara (1.800 ° C'ye kadar) ve aşındırıcı gaz ortamlarına dayanabilir, bu da onu yüksek sıcaklık, korozyona dayanıklı MOCVD sistemleri için vazgeçilmez bir malzeme haline getirir. Performansı doğrudan süreç tutarlılığı ve gofret verimini etkiler.

Soru 2: MOCVD grafit tepsileri seçilirken hangi malzeme özelliklerine öncelik verilmelidir?

Doğru grafit plakasının seçilmesi, fiziksel ve kimyasal özelliklerinin değerlendirilmesini gerektirir:

● Yüksek saflık (%99.999'un üzerinde):

Tipik olarak, metaller veya kül gibi safsızlıklar epitaksiyal işlemi kirletebilir. Veteksemicon gibi yüksek saflıkta bir grafit suskun tedarikçisinin seçilmesi, yarı iletken epilayerde minimal kusurlar sağlar.

●  Mükemmel termal stabilite:

Gerçek işleme sırasında, grafit plakalar belirli termal şoklara dayanabilmeli ve hızlı sıcaklık döngüleri altında yapısal bütünlüğü koruyabilmelidir. Veteksemicon yüksek yoğunluklu grafit, tek tip film büyümesi için kritik olan tek tip ısı dağılımı sağlar.

●  Mükemmel korozyon direnci:

MOCVD işlem ortamında, grafit genellikle aşındırıcı gazlara (örn. Amonyak, hidrojen) maruz kalır. Yüksek sıcaklıkta korozyona dirençli MOCVD grafit plakaları ince taneli yapıya sahip korozyonu en aza indirir ve servis ömrünü uzatır.

●  Yüksek performanslı mekanik mukavemet:

Epitaksiyal işlemde, MOCVD grafit tepsileri, çarpışmadan birden fazla gofreti desteklemelidir. Veteksemicon'un gerçek işlemdeki istatistiklerine göre, tepsinin çatlamasını önlemek için grafit plakanın bükülme mukavemeti ≥50 MPa olmalıdır.

S3: Uygulama senaryosu MOCVD grafit tepsilerinin seçimini nasıl etkiler?

Farklı MOCVD işlemleri özel grafit plaka tasarımları gerektirir:

●  LED/Fotoniklerin Epitaksiyal Büyümesi:

Ultra pürüzsüz MOCVD grafit plakaları, epitaksi işleminde parçacık oluşumunu azaltmak ve kusursuz katmanları sağlamak için kullanılır.

Örneğin, Veteksemicon MOCVD grafit plakaları (veya MOCVD için Veteksemicon grafit plakaları) GAN ve GAAS epitaksisi için tasarlanmıştır ve optimize edilmiş termal yönetim sağlar.

●  Güç Yarıiletken Üretimi:

Semikera Semiconductor'ın deneysel istatistikleri ile birlikte, artan oksidasyon direncine sahip plakalar genellikle silikon karbür (sic) veya galyum nitrür (GaN) işlemleri için tercih edilir.

●  Yüksek verimli üretim:

Çok kaslı tepsiler, reaktör tasarımına hizalamak için hassas işlem gerektirir. Güvenilir tedarikçi Semikera Semikondüktör'den özelleştirilebilir MOCVD grafit tepsileri belirli takım konfigürasyonlarıyla eşleşebilir.

S4: Güvenilir bir MOCVD grafit plaka tedarikçisi bulmak için temel hususlar nelerdir?

●  Sertifikasyon ve Test:

Tedarikçinin malzeme sertifikası (örn. Saflık raporu, yoğunluk testi) sağladığını ve işleme sonrası yüzey işlemi (örn. Gözenekliliği azaltmak için kaplama) sağladığını doğrulayın. Önde gelen Çin yarı iletken kaplama ve epitaksiyal proses ekipmanı üreticisi olarak, Veteksemicon MOCVD grafit plakaları, devlet daireleri tarafından titiz sınır deneyleri için sertifikalandırılmıştır ve ürünlerinin saflık ve yoğunluk testi sonuçları akranlarının çok ötesindedir.

●  Özelleştirme yetenekleri:

Üst düzey yüksek saflıkta grafit suskun tedarikçileri, reaktör gereksinimlerinizi karşılamak için boyutu, delik desenini ve kaplamayı özelleştirmelidir. Hem Veteksemicon hem de Semikera Semiconductor, ilgili ürün ve teknolojilerin özelleştirme hizmeti özelliklerine sahiptir ve çeşitli özelleştirilmiş ihtiyaçlarınızı karşılayabilir.

●  Yaşam ve maliyet verimliliği:

Daha ucuz grafit açık maliyet tasarrufu sağlayabilirken, alt grafit plakalar sık ​​sık değiştirme ve kesinti süresine yol açarak normal üretim verimliliğini ciddi şekilde etkileyecektir. Veteksemicon grafit plakaları ve diğer kaliteli ürünleri seçmek, işletmenizin uzun süreli güvenilir üretim elde etmesini sağlayacaktır.

S5: MOCVD grafit tepsilerinin servis ömrü nasıl uzatılır?

●  Oksidasyonu önlemek: Isıtma/soğutma döngüleri sırasında inert gaz temizleme kullanın.

●  Düzenli olarak temizleyin: Birikmiş kalıntıları gidermek için aşındırıcı olmayan yöntemler (kuru dağlama gibi) kullanın.

●  Mekanik stresten kaçının: Gofret yükleme/boşaltma sırasında tepsiyi dikkatlice kullanın.

Veteksemicon'un size en iyi tavsiyesi:

Yüksek sıcaklık korozyonuna karşı dirençli MOCVD grafit plakaları için, yarı iletken dereceli malzemelerde uzmanlığa sahip tedarikçilere öncelik verin.

Performansı doğrulamak için örnekleri gerçek işlem koşulları altında test edin.

Aşırı ortamlarda dayanıklılığı ve güvenilirliği arttırmak için gelişmiş kaplamaları (SIC kaplama, TAC kaplama gibi) keşfedin.

SIC kaplama MOCVD grafit plakası hakkında daha fazla bilgi için buraya tıklayın.

TAC kaplama MOCVD grafit plakası hakkında daha fazla bilgi için buraya tıklayın.