Malzemeler ve Tasarım

Eşleşen alt tabaka ve kaplama kombinasyonunun seçilmesi, erken bileşen arızasını önlemenin, parçacık kirliliğini azaltmanın ve levha verimini maksimuma çıkarmanın anahtarıdır. Müşterinin özel proses penceresine (çalışma sıcaklığı, reaktif gaz kimyası, rampa oranları) göre özel malzeme ve yapısal tasarım çözümleri sunuyoruz.

Temel Tasarım Yeteneklerimiz:

• Titiz CTE Stres Eşleştirmesi:Hızlı termal döngü (>100 °C/dak) için, yüksek saflıkta grafit alt tabakaların ve CVD kaplamaların CTE sıcaklık eğrilerini hassas bir şekilde eşleştirerek kaplamanın delaminasyon ve mikro çatlama riskini temelden azaltıyoruz.
• Proses Senaryosuna Özel Kaplama Seçimi:Si/SiC epitaksi (Epi), MOCVD ve plazma aşındırma ortamları için CVD SiC kaplama; Daha yüksek sıcaklık ve son derece aşındırıcı koşullar için CVD TaC kaplama (örneğin, SiC tek kristalli PVT büyümesi).
• Kontrol Edilebilir Direnç ve Termal İletkenlik Optimizasyonu:RF, ESC elektrostatik aynalar veya Isıtma Bölgelerinin belirli elektrik ve termal alan gereksinimlerini karşılamak için alt tabakanın ve kaplamanın toplu direncinin ve termal iletkenliğinin hassas kontrolü.
• Kirlilik Kaynağı Kontrolü ve CoO Azaltımı:Yüksek saflıkta CVD biriktirme katmanları, gözenekli grafiti yoğun bir şekilde kapatarak parçacık dökülmesini, ultra eser miktarda metal yabancı madde difüzyonunu ve yüksek sıcaklıkta gaz çıkışı riskini önemli ölçüde azaltır.

Tipik Kaplama Seçimi Karşılaştırması (Bir Bakışta Kılavuz)

Gerçek Durum ve Müşteri Avantajları (Deneyim):

Lider bir SiC epitaksi (Epi) üreticisi:Orijinal bileşende uyumsuz bir CVD TaC kaplama kullanılmış, bu da aşırı arayüz gerilimine ve yüksek sıcaklıkta sık sık mikro çatlaklara neden olmuştur. Termodinamik simülasyonları yeniden çalıştırdık veCTE uyumlu özel yüksek saflıkta grafit alt tabaka + tampon katman + CVD SiC kaplamaçözüm. Sonuç: ortalama bileşen ömrü 200 saatten 850 saate çıktı; takım başına yıllık değiştirme sıklığı 40'tan 9'a düştü; kapsamlı ekipman İşletme ve Bakım maliyet tasarrufu yılda 650.000 RMB'yi aştı.

TaC ve SiC kaplamalar için GDMS saflık analiz raporu

SSS

Ayrıcalıklı Hizmetinize Şimdi Başlayın