Haberler

Yarı iletken imalatında aşındırma teknolojisinde sıklıkla yükleme etkisi, mikro oluk etkisi ve yükleme etkisi gibi ürün kalitesini etkileyen sorunlarla karşılaşılmaktadır. İyileştirme çözümleri arasında plazma yoğunluğunun optimize edilmesi, reaksiyon gazı bileşiminin ayarlanması, vakum sistemi verimliliğinin arttırılması, makul litografi düzeninin tasarlanması ve uygun aşındırma maskesi malzemelerinin ve proses koşullarının seçilmesi yer alır.

Sıcak presleme sinterleme, yüksek performanslı SIC seramikleri hazırlamak için ana yöntemdir. Sıcak presli sinterleme işlemi şunları içerir: yüksek saflıkta SIC tozunun seçilmesi, yüksek sıcaklık ve yüksek basınç altında presleme ve kalıplama ve sonra sinterleme. Bu yöntemle hazırlanan SIC seramikleri, yüksek saflık ve yüksek yoğunlukta avantajlara sahiptir ve gofret işleme için öğütme disklerinde ve ısıl işlem ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.

Silikon Karbür (SIC) 'nin temel büyüme yöntemleri, her biri farklı avantajlara ve zorluklara sahip PVT, TSSG ve HTCVD'dir. Yalıtım sistemleri, haç, TAC kaplamalar ve gözenekli grafit gibi karbon bazlı termal alan malzemeleri, SIC'nin kesin imalat ve uygulaması için gerekli olan stabilite, termal iletkenlik ve saflık sağlayarak kristal büyümesini arttırır.

SiC'nin yüksek sertliği, termal iletkenliği ve korozyon direnci vardır, bu da onu yarı iletken üretimi için ideal kılar. CVD SiC kaplama, yüksek termal iletkenlik, kimyasal stabilite ve epitaksiyel büyüme için eşleşen bir kafes sabiti sağlayan kimyasal buhar biriktirme yoluyla oluşturulur. Düşük termal genleşmesi ve yüksek sertliği, dayanıklılık ve hassasiyet sağlar; bu da onu levha taşıyıcılar, ön ısıtma halkaları ve daha fazlası gibi uygulamalarda vazgeçilmez kılar. VeTek Semiconductor, çeşitli endüstri ihtiyaçlarına yönelik özel SiC kaplamalarda uzmanlaşmıştır.

Silikon karbür (sic), yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci ve yüksek mekanik mukavemet gibi mükemmel özellikleri ile bilinen yüksek hassasiyetli bir yarı iletken malzemedir. 200'den fazla kristal yapıya sahiptir, 3C-SIC tek kübik tiptir, diğer tiplere kıyasla üstün doğal küresellik ve yoğunlaşma sunar. 3C-SIC, yüksek elektron hareketliliği için öne çıkıyor, bu da güç elektroniğinde mosfetler için idealdir. Ek olarak, nanoelektronik, mavi LED'ler ve sensörlerde büyük bir potansiyel gösterir.

Potansiyel dördüncü nesil "nihai yarı iletken" olan elmas, olağanüstü sertliği, termal iletkenlik ve elektriksel özellikleri nedeniyle yarı iletken substratlarda dikkat çekiyor. Yüksek maliyet ve üretim zorlukları kullanımını sınırlarken, CVD tercih edilen yöntemdir. Doping ve büyük alan kristal zorluklarına rağmen, Diamond umut vaat ediyor.