Gözenekli silikon karbür (sic) seramik plakalar: yarı iletken üretiminde yüksek performanslı malzemeler

Ⅰ. Gözenekli SIC seramik plakası nedir?

Gözenekli silikon karbür seramik plakası, özel işlemlerle (köpükleme, 3D baskı veya gözenek oluşturan ajanlar ekleme gibi) silikon karbürden (sic) yapılmış gözenekli bir yapı seramik malzemesidir. Temel özellikleri şunları içerir:

● Kontrol edilebilir gözeneklilik: Farklı uygulama senaryolarının ihtiyaçlarını karşılamak için% 30-% 70 ayarlanabilir.

● Düzgün gözenek boyutu dağılımı: Gaz/sıvı iletim stabilitesini sağlayın.

● Hafif tasarım: Ekipman enerji tüketimini azaltın ve işletim verimliliğini artırın.

Ⅱ.

1. Yüksek sıcaklık direnci ve termal yönetim (esas olarak ekipman termal arızası sorununu çözmek için)

● Aşırı sıcaklık direnci: Sürekli çalışma sıcaklığı 1600 ° C'ye (alümina seramiklerinden% 30 daha yüksek) ulaşır.

● Yüksek verimli termal iletkenlik: Termal iletkenlik katsayısı 120 w/(m · k), hızlı ısı dağılımı hassas bileşenleri korur.

● Ultra-düşük termal genişleme: Termal genleşme katsayısı, aşırı yüksek sıcaklık altında çalışma için uygun olan ve yüksek sıcaklık deformasyonundan etkili bir şekilde kaçınarak sadece 4.0 × 10⁻⁶/° C'dir.

2. Kimyasal stabilite (aşındırıcı ortamlarda bakım maliyetlerini azaltma)

● Güçlü asitlere ve alkalilere dirençli: HF ve H₂SO₄ gibi aşındırıcı ortamlara dayanabilir

● Plazma erozyonuna dirençli: Kuru dağlama ekipmanındaki yaşam 3 kattan fazla arttırılır

3. Mekanik mukavemet (ekipman ömrünü uzatan)

● Yüksek sertlik: Mohs sertliği 9.2 kadar yüksektir ve aşınma direnci paslanmaz çelikten daha iyidir

● Bükme gücü: 300-400 MPa, Çarpık olmadan gofretleri destekleyen

4. Gözenekli yapıların işlevselleştirilmesi (işlem verimini iyileştirme)

● Tek tip gaz dağılımı: CVD Process filmi tekdüzeliği%98'e yükseltildi.

● Kesin adsorpsiyon kontrolü: Elektrostatik chuck'ın (ESC) konumlandırma doğruluğu ± 0.01mm'dir.

5. Temizlik Garantisi (yarı iletken sınıfı standartlara uygun)

● Sıfır metal kontaminasyonu: saflık>%99.99, gofret kontaminasyonundan kaçınıyor

● Kendini temizleyen özellikler: Mikro gözenekli yapı, parçacık birikimini azaltır

III. Yarıiletken üretiminde gözenekli SIC plakalarının dört temel uygulaması

Senaryo 1: Yüksek Sıcaklık Proses Ekipmanı (Difüzyon Fırını/Tavlama Fırını)

● Kullanıcı ağrı noktası: Geleneksel malzemeler kolayca deforme olur, bu da gofret hurdası ile sonuçlanır

● Çözüm: Taşıyıcı bir plaka olarak, 1200 ° C ortamın altında stabil bir şekilde çalışır

● Veri karşılaştırması: Termal deformasyon alümina'dan% 80 daha düşüktür.

Senaryo 2: Kimyasal Buhar Birikimi (CVD)

● Kullanıcı ağrı noktası: Eşit olmayan gaz dağıtım film kalitesini etkiler

● Çözüm: Gözenekli yapı, reaksiyon gazı difüzyon homojenliğinin% 95'e ulaşmasını sağlar

● Endüstri davası: 3D NAND Flash Hafıza İnce Film Birikimi'ne uygulandı

Senaryo 3: kuru dağlama ekipmanı

● Kullanıcı ağrı noktası: Plazma erozyonu shoRtens Bileşen Yaşamı

● Çözüm: Anti-plazma performansı bakım döngüsünü 12 aya kadar uzatır

● Maliyet etkinliği: Ekipman kesinti süresi% 40 azaltılır

Senaryo 4: gofret temizleme sistemi

● Kullanıcı ağrı noktası: Asit ve alkali korozyon nedeniyle parçaların sık sık değiştirilmesi

● Çözüm: HF asit direnci, hizmet ömrünün 5 yıldan fazla ulaşmasını sağlar

● Doğrulama verileri: 1000 temizlik döngülerinden sonra mukavemet elde tutma oranı>% 90

IV. Geleneksel malzemelerle karşılaştırıldığında 3 ana seçim avantajı

Sektör kullanıcıları için V. SSS

S1: Galyum nitrür (GAN) cihaz üretimi için gözenekli SIC seramik plakası uygun mu?

Cevap: Evet, yüksek sıcaklık direnci ve yüksek termal iletkenliği özellikle gan epitaksiyal büyüme süreci için uygundur ve 5G baz istasyon çip üretimine uygulanmıştır.

S2: Gözeneklilik parametresi nasıl seçilir?

Cevap: Uygulama senaryosuna göre seçin:

● Gaz dağıtımibre:% 40-% 50 açık gözeneklilik önerilir

● Vakum adsorpsiyonu:% 60-% 70 yüksek gözeneklilik önerilir

S3: Diğer silikon karbür seramikleri ile fark nedir?

Cevap: Yoğun ile karşılaştırıldığındaSIC seramikleri, gözenekli yapıların aşağıdaki avantajları vardır:

●% 50 kilo azaltma

● Belirli yüzey alanında 20 kat artış

● Termal streste% 30 azalma