Tantal karbür (TAC) nedir？

Tantal karbür (TAC)kimyasal formül genellikle tacₓ (burada x 0.4 ila 1 arasında değişen) ile tantal (Ta) ve karbon (c) ikili bir bileşiğidir. Mükemmel sertlik, yüksek sıcaklık stabilitesi ve metalik iletkenliğe sahip refrakter bir seramik malzeme olarak sınıflandırılır.

1. Tantalum karbür yapısı

1.1 Kimyasal bileşim ve kristal yapısı

Tantal karbür, tantal (TA) ve karbondan (C) oluşan ikili bir seramik bileşiğidir.

Kristal yapısı, mükemmel sertlik ve stabilite veren yüz merkezli kübik (FCC) 'dir.

1.2 Bağlama Özellikleri

Güçlü kovalent bağ, tantal karbürü son derece sert ve deformasyona dirençli hale getirir.

TAC, son derece düşük bir difüzyon katsayısına sahiptir ve yüksek sıcaklıklarda bile stabil kalır.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama

2. Tantal karbürün fiziksel özellikleri

2.1 Ultra yüksek erime noktası

3,880 ° C'lik bir erime noktası ile tantal karbür, bilinen herhangi bir materyalin en yüksek erime noktalarından birine sahiptir, bu da aşırı sıcaklıklarda mükemmel stabilite ile sonuçlanır.

2.2 Mükemmel Sertlik

Yaklaşık 9-10 MOHS sertliği ile elmasa yakındır ve bu nedenle aşınmaya dayanıklı kaplamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

2.3 İyi elektrik iletkenliği

Çoğu seramik malzemenin aksine, TAC, metal benzeri yüksek bir elektrik iletkenliğine sahiptir, bu da belirli elektronik cihazlardaki uygulamalar için değerlidir.

2.4 Korozyon ve oksidasyon direnci

TAC asit korozyonuna son derece dirençlidir ve uzun süreler boyunca sert ortamlardaki yapısal bütünlüğünü korur.

Bununla birlikte, TAC 1.500 ° C'nin üzerindeki havada tantal pentoksite (Ta₂o₅) oksitlenebilir. 

3. Yaygın bitmiş tantal karbür ürünleri

3.1 tantal karbür kaplı parçalar

● CVD Tantalum Karbür Kaplamalı Suyu: Yarıiletken epitaksisinde ve yüksek sıcaklık işlemede kullanılır.

● Tantal karbür kaplı grafit parçaları: Yüksek sıcaklık fırınlarında ve gofret işleme odalarında kullanılır. Örnekler arasında SIC kristal büyümesi sırasında gaz akışını optimize ederek, termal stresi azaltarak, termal homojenliği artırarak, korozyon direncini arttıran ve safsızlık difüzyonunu inhibe ederek süreç verimliliğini ve kristal kalitesini önemli ölçüde artıran tantal karbür kaplı gözenekli grafit sayılabilir.

● Tantal karbür kaplı rotasyon plakası: Veteksemicon'un TAC kaplı rotasyon plakası, 5ppm'den az safsızlık içeriğine ve LPE EPI sistemi, Aixtron sistemi, Nuflare Sistemi, Tel CVD sistemi, VeeCo Sistemi'nde yaygın olarak kullanılan yüksek saflıklı bir bileşime sahiptir. Sistemler, TSI sistemleri.

● TAC kaplı ısıtıcı: TAC kaplamanın son derece yüksek erime noktasının (~ 3880 ° C) kombinasyonu, özellikle metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) işlemindeki galyum nitrür (GAN) epitaksiyal tabakalarının büyümesinde çok yüksek sıcaklıklarda çalışmasına izin verir.

● Tantal karbür kaplı pota: CVD TAC kaplı haçlar genellikle Pvt tarafından SIC tek kristallerinin büyümesinde önemli bir rol oynar.

3.2 Kesme aletleri ve aşınmaya dayanıklı bileşenler

● Tantalum karbür kaplı karbür kesme aletleri: Takım ömrünü ve işleme doğruluğunu iyileştirin.

● Havacılık ve uzay nozulları ve ısı kalkanları: Aşırı ısı ve aşındırıcı ortamlarda koruma sağlayın.

3.3 Tantalum Karbür Yüksek Performanslı Seramik Ürünler

● Uzay Araç Termal Koruma Sistemleri (TPS): uzay aracı ve hipersonik araçlar için.

● Nükleer yakıt kaplamaları: Nükleer yakıt peletlerini korozyondan koruyun.

4. Yarıiletken üretiminde tantal karbür uygulamaları

4.1 epitaksiyal süreçler için tantal karbür kaplı taşıyıcılar (suskun)

Rol: Grafit taşıyıcılarına uygulanan tantal karbür kaplamalar, kimyasal buhar birikimi (CVD) ve metal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) işlemlerinde termal homojenliği ve kimyasal stabiliteyi geliştirir.

Avantaj: Azaltılmış işlem kontaminasyonu ve genişletilmiş taşıyıcı ömrü.

4.2 Aşındırma ve Biriktirme Bileşenleri

Gofret transfer halkaları ve kalkanlar: Tantal karbür kaplama, plazma etch odalarının dayanıklılığını artırır.

Avantaj: agresif dağlama ortamlarına dayanır ve kirletici yağışları azaltır.

4.3 Yüksek sıcaklık ısıtma elemanları

SIC CVD büyümesinde uygulama: Tantalum karbür kaplı ısıtma elemanları, silikon karbür (sic) gofret imalat sürecinin stabilitesini ve verimliliğini artırır.

4.4 Yarıiletken üretim ekipmanı için koruyucu kaplamalar

Neden TAC kaplamaya ihtiyacınız var?  Yarı iletken üretimi aşırı sıcaklıkları ve aşındırıcı gazları içerir ve tantal karbür kaplamalar, ekipmanın stabilitesini ve ömrünü iyileştirmede etkilidir.

5. Neden SeçinYarım?

Yarım, önde gelen bir üreticisi ve tedarikçisidir.Tantal karbür kaplamaÇin'deki yarı iletken endüstrisine malzemeler. Ana ürünlerimiz arasında CVD tantal karbür kaplı parçalar, SIC kristal büyümesi için sinterlenmiş TAC kaplı parçalar veya yarı iletken epitaksi süreçleri bulunmaktadır. Veteksemicon, sürekli Ar -Ge ve teknoloji yinelemesi yoluyla tantal karbür kaplama endüstrisinde yenilikçi ve lider olmayı taahhüt etmektedir.