Haberler

Bu makale esas olarak Moleküler Işın Epitaksi prosesi ve Metal-organik kimyasal buhar biriktirme teknolojilerinin ilgili proses avantajlarını ve farklılıklarını tartışmaktadır.

VeTek Semiconductor'ın yeni nesil SiC kristal büyütme malzemesi olan Gözenekli Tantal Karbür, birçok mükemmel ürün özelliğine sahiptir ve çeşitli yarı iletken işleme teknolojilerinde önemli bir rol oynar.

Epitaksiyel fırının çalışma prensibi, yarı iletken malzemeleri yüksek sıcaklık ve yüksek basınç altında bir altlık üzerine biriktirmektir. Silikon epitaksiyel büyüme, belirli bir kristal oryantasyonuna sahip bir silikon tek kristal substrat üzerinde, substrat ile aynı kristal oryantasyonuna ve farklı kalınlığa sahip bir kristal tabakasının büyütülmesidir. Bu makale temel olarak silikon epitaksiyel büyüme yöntemlerini tanıtmaktadır: buhar fazı epitaksi ve sıvı faz epitaksi.

Yarı iletken üretiminde kimyasal buhar biriktirme (CVD), SiO2, SiN vb. dahil olmak üzere ince film malzemelerini haznede biriktirmek için kullanılır ve yaygın olarak kullanılan türler arasında PECVD ve LPCVD bulunur. Sıcaklık, basınç ve reaksiyon gazı tipini ayarlayarak CVD, farklı proses gereksinimlerini karşılamak için yüksek saflık, tekdüzelik ve iyi film kapsamı elde eder.