SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi

Vetek Semiconductor SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi, yarı iletken EPI işleminin üretiminde önemli bir rol oynamaktadır. Bir epitaksiyal reaksiyon odasında gaz dağılımı ve kontrolü için kullanılan temel bileşenlerden biridir.Sic kaplamaVeTac kaplamaFabrikamızda.

SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi'nin rolü aşağıdaki gibidir:

● Gaz dağılımı: Epitaksiyal reaksiyon odasına farklı gazlar eklemek için SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi kullanılır. Belirli epitaksiyal büyüme ihtiyaçlarını karşılamak için farklı gazları istenen yerlere dağıtabilen birden fazla giriş ve çıkışa sahiptir.

● Gaz kontrolü: SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi, vanalar ve akış kontrol cihazları aracılığıyla her gazın kesin kontrolünü sağlar. Bu kesin gaz kontrolü, epitaksiyal büyüme sürecinin istenen gaz konsantrasyonu ve akış hızını elde etmek için başarısı için gereklidir, bu da filmin kalitesini ve tutarlılığını sağlar.

● Tekdüzelik: Merkezi gaz toplama halkasının tasarımı ve düzeni, tek tip bir gaz dağılımının elde edilmesine yardımcı olur. Makul gaz akış yolu ve dağıtım modu aracılığıyla, gaz, filmin eşit büyümesini sağlamak için epitaksiyal reaksiyon odasında eşit olarak karıştırılır.

Epitaksiyal ürünlerin üretiminde, SIC Kaplama Koleksiyoner Merkezi, filmin kalitesi, kalınlığı ve tekdüzeliğinde önemli bir rol oynar. Uygun gaz dağılımı ve kontrolü yoluyla, SIC Kaplama Toplayıcı Merkezi,epitaksiyal büyüme süreci, yüksek kaliteli epitaksiyal filmler elde etmek için.

Grafit Toplayıcı Merkezi ile karşılaştırıldığında, SIC kaplamalı koleksiyon merkezi geliştirilmiş termal iletkenlik, gelişmiş kimyasal inertlik ve üstün korozyon direncidir. Silikon karbür kaplaması, grafit malzemenin termal yönetim kapasitesini önemli ölçüde arttırır, bu da epitaksiyal süreçlerde daha iyi sıcaklık homojenliğine ve tutarlı film büyümesine yol açar. Ek olarak, kaplama, grafit bileşenlerinin ömrünü uzatan kimyasal korozyona direnen koruyucu bir tabaka sağlar. Genel olarak,silikon karbür kaplıGrafit malzemesi, epitaksiyal süreçlerde gelişmiş stabilite ve yüksek kaliteli film büyümesi sağlayarak üstün termal iletkenlik, kimyasal inertlik ve korozyon direnci sunar.

CVD SIC Film Kristal Yapısı:

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

YarıiletkenSIC Kaplama Toplayıcı MerkeziYapım mağazası