Gofretlerdeki Çentik Nedir?

Silikon gofretentegre devrelerin ve yarı iletken cihazların temelidir. İlginç bir özelliği var; düz kenarlar veya yanlarda küçük oyuklar. Bu bir kusur değil, bilinçli olarak tasarlanmış işlevsel bir işarettir.Aslında bu çentik, tüm üretim süreci boyunca yönsel bir referans ve kimlik işareti görevi görür.

İlk günlerde, levhalar işaretleyici olarak çoğunlukla "düz" bir işaret kullanıyordu; bu, dairesel kenar üzerinde kısa, düz bir parça zemin anlamına geliyordu. Bu düzlüklerin konumu ve sayısı, kristal yönelimlerini ve katkı türlerini ayırt etmek için kullanıldı. Plaka boyutu arttıkça ve proses hassasiyeti geliştikçe, ana akım 200 mm ve 300 mm plakalar, küçük yay şeklindeki çentik tasarımında büyük ölçüde standartlaştı. Bu çentiğin konumu standartlarla tanımlanır ve sabit bir yönelimde bulunur; levhanın kristal yönelimini (örneğin <100> veya <111>) belirtmek ve sonraki ekipman için ortak bir referans noktası sağlamak için kullanılır.

Gofret çentiğinin işlevi nedir? 

• İlk olarak, levha hizalaması için bir referans sağlar. Litografi, dağlama ve iyon implantasyonu gibi önemli adımlar, birden fazla desen katmanının istiflenmesini gerektirir. Her katmanın koordinat sistemi tutarlı değilse son cihazlar yanlış hizalanacak ve hurdaya ayrılacaktır. Ekipman, çentik konumunu tespit ederek hızlı bir şekilde birleşik bir koordinat sistemi oluşturabilir ve ardından hassas kaplama elde etmek için hizalama işaretlerini kullanabilir.
• İkincisi, gofret bilgisini kodlar. Farklı kristal yönelimleri ve farklı katkı türleri (P tipi ve N tipi gibi) farklı malzeme özelliklerine ve tasarım hususlarına sahiptir. Arka taraftaki işaretler ve diğer araçlarla birleştirilen çentik yönlendirmesi, üretim hattının otomatik taşıma ve sınıflandırma sırasında gofretleri hızlı bir şekilde tanımlamasına olanak tanıyarak farklı ürün türleri arasındaki karışıklıkları önler.
• Üçüncüsü, otomatik kullanımda güvenliği sağlar. Modern fabrikalar robot kollarından ve Otomatik Malzeme Taşıma Sistemlerinden (AMHS) kapsamlı şekilde yararlanıyor. Bu sistemler, levhanın ön/arka tarafını ve yönünü belirlemek için çentiğe güvenir ve aksi takdirde verim kaybına yol açacak yanlış yükleme veya ters dönmeyi önler.

Cihaz ve proses mühendisleri için, bir levha üzerindeki çentik önemsiz görünebilir ancak bu çentik, kristal çekme, epitaksi ve levha imalatından ön paketleme testine kadar tüm süreç zincirini kapsar. "Yön" söz konusu olduğunda (kristal yönelimi, düzen hizalaması, gerilim yönelimi ve hatta belirli güç cihazlarının yapı tasarımı) bu küçük geometrik işaretleyici neredeyse her zaman arka plandadır. Çentiğin rolünü anladığınızda, bir levhanın üretim hattında nasıl "hareket ettiğini" ve her işlem adımının kendi koordinat sistemini bu silikon parçası etrafında nasıl oluşturduğunu takip etmek çok daha kolay hale gelir.