SiC kaplama Monokristalin silikon epitaksiyel tepsi

Vetek Semiconductor’ın SIC kaplama monokristalin silikon epitaksiyal tepsi, monokristalin silikon epitaksiyal büyüme için özel olarak tasarlanmıştır ve monokristalin silikon epitaksi ve ilgili yarı iletken cihazların endüstriyel uygulamasında önemli bir rol oynar.Sic kaplamaSadece tepsinin sıcaklık direncini ve korozyon direncini önemli ölçüde iyileştirmekle kalmaz, aynı zamanda aşırı ortamlarda uzun süreli stabilite ve mükemmel performans sağlar.

SIC kaplamanın avantajları

● Yüksek termal iletkenlik: SiC kaplama, tepsinin termal yönetim kapasitesini büyük ölçüde artırır ve yüksek güçlü cihazların ürettiği ısıyı etkili bir şekilde dağıtabilir.

●  Korozyon direnci: SiC kaplama, yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı ortamlarda iyi performans göstererek uzun süreli hizmet ömrü ve güvenilirlik sağlar.

● Yüzey tekdüzeliği: Düz ve pürüzsüz bir yüzey sağlayarak yüzey pürüzlülüğünden kaynaklanan üretim hatalarını etkili bir şekilde önler ve epitaksiyel büyümenin stabilitesini sağlar.

Araştırmaya göre, grafit substratın gözenek boyutu 100 ila 500 nm arasında olduğunda, grafit substrat üzerinde bir SiC gradyan kaplaması hazırlanabiliyor ve SiC kaplama daha güçlü bir anti-oksidasyon özelliğine sahip oluyor. Bu grafit (üçgen eğri) üzerindeki SiC kaplamanın oksidasyon direnci, grafitin diğer özelliklerinden çok daha güçlüdür, tek kristal silikon epitaksinin büyümesi için uygundur. VeTek Semiconductor'ın SiC kaplaması Monokristalin silikon epitaksiyel tepsisi, SGL grafiti kullanırgrafit substratıböyle bir performansa ulaşabilen.

VeTek Semiconductor'ın SiC kaplaması Monokristalin silikon epitaksiyel tepsisi, en iyi grafit malzemeleri ve en gelişmiş SiC kaplama işleme teknolojisini kullanır. En önemlisi, müşterilerin ürün özelleştirme ihtiyaçları ne olursa olsun, bunları karşılamak için elimizden gelenin en iyisini yapabiliriz.

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

Vetek Yarıiletken Üretim Mağazaları