Ürünler
EPI için SIC kaplı grafit varil suyeni
  • EPI için SIC kaplı grafit varil suyeniEPI için SIC kaplı grafit varil suyeni
  • EPI için SIC kaplı grafit varil suyeniEPI için SIC kaplı grafit varil suyeni
  • EPI için SIC kaplı grafit varil suyeniEPI için SIC kaplı grafit varil suyeni

EPI için SIC kaplı grafit varil suyeni

Namlu tipi epitaksiyel gofret ısıtma tabanı, işleme ekipmanı ve yeteneği açısından çok zorlu olan karmaşık işleme teknolojisine sahip bir üründür. Vetek yarı iletken, EPI için SiC kaplı grafit varil tutucunun işlenmesinde gelişmiş donanıma ve zengin deneyime sahiptir, orijinal fabrika ömrünün aynısını, daha uygun maliyetli epitaksiyel varilleri sağlayabilir. Verilerimizle ilgileniyorsanız, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

VeTek Semiconductor, uzun yıllara dayanan tecrübesiyle esas olarak EPI için SiC kaplı grafit varil tutucu üreten Çin üreticisi ve tedarikçisidir. Sizinle iş ilişkisi kurmayı umuyoruz.EPI (Epitaksi)gelişmiş yarı iletkenlerin üretiminde kritik bir süreçtir. Karmaşık cihaz yapıları oluşturmak için bir alt tabaka üzerine ince malzeme katmanlarının biriktirilmesini içerir. EPI için SiC kaplı grafit varil tutucu, mükemmel termal iletkenlikleri ve yüksek sıcaklıklara dirençleri nedeniyle EPI reaktörlerinde yaygın olarak tutucu olarak kullanılır. İleCVD-SiC kaplama, kontaminasyon, erozyon ve termal şoka daha dirençli hale gelir. Bu, suyun için daha uzun bir ömür ve gelişmiş film kalitesi ile sonuçlanır.


SiC Kaplamalı Grafit Namlu Süseptörümüzün Avantajları:


Azaltılmış kontaminasyon: SIC'nin inert doğası, safsızlıkların suyunun yüzeyine yapışmasını önler ve biriken filmlerin kontaminasyon riskini azaltır.

Arttırılmış Erozyon Direnci: SIC, erozyona geleneksel grafitten önemli ölçüde daha dirençlidir ve bu da duyucu için daha uzun bir ömre yol açar.

Geliştirilmiş termal stabilite: SIC mükemmel termal iletkenliğe sahiptir ve önemli bozulma olmadan yüksek sıcaklıklara dayanabilir.

Gelişmiş Film Kalitesi: Geliştirilmiş termal kararlılık ve azaltılmış kirlenme, geliştirilmiş tekdüzelik ve kalınlık kontrolü ile daha yüksek kalitede biriktirilmiş filmlerle sonuçlanır.


Uygulamalar:

SiC kaplı grafit varil tutucular, aşağıdakiler de dahil olmak üzere çeşitli EPI uygulamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır:

✔ Gan tabanlı LED'ler

✔ Güç elektroniği

✔ Optoelektronik cihazlar

✔ Yüksek frekanslı transistörler

✔ Sensörler

SIC kaplı grafit varil suyunun ürün parametresi

Fiziksel özellikleriizostatik grafit
Mülk Birim Tipik değer
Yığın Yoğunluğu g/cm³ 1.83
Sertlik HSD 58
Elektriksel Direnç μω.m 10
Bükülme mukavemeti MPa 47
Sıkıştırma mukavemeti MPa 103
Çekme Dayanımı MPa 31
Young Modülü Genel not ortalaması 11.8
Termal Genleşme (CTE) 10-6K-1 4.6
Termal iletkenlik W · M-1· K-1 130
Ortalama Tane Boyutu μm 8-10
Gözeneklilik % 10
Kül içeriği ppm ≤10 (saflaştırıldıktan sonra)

        Not: Kaplamadan önce ilk arıtmayı, kaplamadan sonra ikinci arıtmayı yapacağız.

CVD SiC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri
Mülk Tipik değer
Kristal Yapısı FCC β faz polikristalin, esas olarak (111) yönelimli
SIC kaplama yoğunluğu 3.21 g/cm³
CVD SiC kaplama Sertlik 2500 Vickers sertliği (500g yük)
Tahıl boyutu 2 ~ 10mm
Kimyasal Saflık %99,99995
Isı kapasitesi 640 j · kg-1· K-1
Süblimasyon sıcaklığı 2700 ℃
Bükülme mukavemeti 415 MPA RT 4 noktalı
Young Modülü 430 Gpa 4nokta viraj, 1300°C
Termal iletkenlik 300W · m-1· K-1
Termal Genişleme (CTE) 4,5×10-6K-1

YarıiletkenEPI için SIC kaplı grafit varil suyeniÜretim Atölyesi

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Sıcak Etiketler: EPI için SiC Kaplamalı Grafit Namlu Tutucu
Talep Gönder
İletişim bilgileri
Silisyum Karbür Kaplama, Tantal Karbür Kaplama, Özel Grafit veya fiyat listesi ile ilgili sorularınız için lütfen e-posta adresinizi bize bırakın, 24 saat içinde sizinle iletişime geçeceğiz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept