Silisyum Karbür Kaplamalı Epi Süseptör

Yarı iletken epitaksi, bir substrat malzemesinin yüzeyinde gaz fazı, sıvı faz veya moleküler ışın birikimi gibi yöntemlerle spesifik bir kafes yapısına sahip ince bir filmin büyümesini ifade eder, böylece yeni yetiştirilen ince film tabakası (epitaksiyal tabaka) substrat ile aynı veya benzer kafes yapısı ve yönü. 

Epitaksi teknolojisi, yarı iletken üretiminde, özellikle de yüksek performanslı cihazların üretiminde kullanılan tek kristal katmanlar, heteroyapılar ve kuantum yapıları gibi yüksek kaliteli ince filmlerin hazırlanmasında çok önemlidir.

Silisyum karbür kaplı Epi suseptör, epitaksiyel büyüme ekipmanında substratı desteklemek için kullanılan önemli bir bileşendir ve Silikon epitakside yaygın olarak kullanılır. Epitaksiyel kaidenin kalitesi ve performansı, epitaksiyel katmanın büyüme kalitesini doğrudan etkiler ve yarı iletken cihazların nihai performansında hayati bir rol oynar.

Vetek yarı iletken, CVD yöntemi ile SGL grafit yüzeyinde bir SIC kaplama tabakasını kapladı ve yüksek sıcaklık direnci, oksidasyon direnci, korozyon direnci ve termal homojenlik gibi özelliklere sahip SIC kaplamalı EPI suskunu elde etti.

Tipik bir varil reaktöründe, silisyum karbür kaplı Epi tutucu, bir varil yapısına sahiptir. SiC kaplı Epi suseptörünün alt kısmı dönen mile bağlanır. Epitaksiyel büyüme süreci boyunca, saat yönünde ve saat yönünün tersine dönüşümlü rotasyonu sürdürür. Reaksiyon gazı reaksiyon odasına ağızlık yoluyla girer, böylece gaz akışı reaksiyon odasında oldukça düzgün bir dağılım oluşturur ve son olarak düzgün bir epitaksiyel katman büyümesi oluşturur.

SiC kaplı grafitin kütle değişimi ile oksidasyon süresi arasındaki ilişki

Yayınlanan çalışmaların sonuçları, 1400 ℃ ve 1600 ℃ 'de SIC kaplı grafit kütlesinin çok az arttığını göstermektedir. Yani, SIC kaplı grafit güçlü bir antioksidan kapasiteye sahiptir. Bu nedenle, SIC kaplamalı EPI suyeni çoğu epitaksiyal fırında uzun süre çalışabilir. Daha fazla gereksiniminiz veya özelleştirilmiş ihtiyaçlarınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçin. En iyi kalitede SiC kaplı Epi susceptor çözümlerini sunmaya kararlıyız.

CVD SIC kaplamanın temel fiziksel özellikleri

YarıiletkenSilisyum Karbür kaplı Epi tutucu mağazaları