TAC kaplı grafit desteği

En son satan, düşük fiyatlı ve yüksek kaliteli TaC Kaplamalı Grafit Susceptor'u satın almak için VeTek Semiconductor fabrikamıza gelmenizden memnuniyet duyarız. Sizinle işbirliği yapmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Tantal karbür seramik malzemenin erime noktası 3880 ° C'ye kadardır, yüksek bir erime noktası ve bileşiğin iyi kimyasal stabilitesidir, yüksek sıcaklık ortamı hala istikrarlı performansı koruyabilir, ayrıca yüksek sıcaklık direncine, kimyasal korozyon direncine, iyi kimyasallara sahiptir. ve karbon malzemeler ve diğer özelliklerle mekanik uyumluluk, onu ideal bir grafit alt tabaka koruyucu kaplama malzemesi haline getirir. Tantal karbür kaplama, grafit bileşenlerini zorlu kullanım ortamında sıcak amonyak, hidrojen ve silikon buharı ve erimiş metalin etkisinden etkili bir şekilde koruyabilir, grafit bileşenlerinin servis ömrünü önemli ölçüde uzatabilir ve grafitteki yabancı maddelerin göçünü engelleyebilir, Epitaksi ve kristal büyümesinin kalitesinin sağlanması. Esas olarak ıslak seramik prosesinde kullanılır.

Kimyasal buhar birikimi (CVD), grafit yüzeyinde tantal karbür kaplaması için en olgun ve optimal hazırlık yöntemidir.

TaC Kaplamalı Grafit Süseptör için CVD TaC Kaplama Yöntemi:

Kaplama işleminde, yüksek sıcaklıkta gazlaştırmanın ardından tantal pentaklorür buharını reaksiyon odasına getirmek için sırasıyla karbon kaynağı ve tantal kaynağı olarak TaCl5 ve propilen ve taşıyıcı gaz olarak argon kullanılır. Hedef sıcaklık ve basınç altında, öncü malzemenin buharı grafit parçanın yüzeyine adsorbe edilir ve karbon kaynağı ile tantal kaynağının ayrışması ve kombinasyonu gibi bir dizi karmaşık kimyasal reaksiyon meydana gelir. Aynı zamanda öncü maddenin difüzyonu ve yan ürünlerin desorpsiyonu gibi bir dizi yüzey reaksiyonu da söz konusudur. Son olarak grafit parçanın yüzeyinde, grafit parçanın aşırı çevre koşullarında stabil kalmasını önleyen yoğun bir koruyucu tabaka oluşur. Grafit malzemelerin uygulama senaryoları önemli ölçüde genişletilmiştir.

TAC kaplı grafit suyunun ürün parametresi:

Üretim Mağazaları:

Yarı iletken çip epitaksi endüstri zincirine genel bakış: