7N Yüksek Saflıkta CVD SiC hammaddesi

1. Temel Performans Faktörleri

• 7N Sınıfı Saflık: Metalik safsızlıkları ppb seviyelerinde tutarak %99,99999 (7N) tutarlı bir saflık sağlıyoruz. Bu, yüksek dirençli yarı yalıtımlı (HPSI) kristallerin yetiştirilmesi ve güç veya RF uygulamalarında sıfır kirlenmenin sağlanması için gereklidir.
• Yapısal Kararlılık ve C-Toz Karşılaştırması: Süblimleştirme sırasında çöken veya ince tanecikler salan geleneksel tozların aksine, büyük taneli CVD yığınımız yapısal olarak stabil kalır. Bu, kristal kalıntılarının ve mikro boru kusurlarının ana nedeni olan karbon tozunun (C tozu) büyüme bölgesine geçişini önler.
• Optimize Edilmiş Büyüme Kinetikleri: Endüstriyel ölçekte üretim için tasarlanan bu kaynak, 1,46 mm/saat'e kadar büyüme hızlarını destekler. Bu, geleneksel toz bazlı yöntemlerle tipik olarak elde edilen 0,3-0,8 mm/saat'e göre 2 ila 3 kat arasında bir iyileşmeyi temsil eder.
• Termal Gradyan Yönetimi: Bloklarımızın yüksek kütle yoğunluğu ve özel geometrisi, pota içinde daha agresif bir sıcaklık gradyanı yaratır. Bu, Silikon ve Karbon buharlarının dengeli bir şekilde salınmasını teşvik ederek standart süreçleri rahatsız eden "Si açısından zengin erken / C açısından zengin geç" dalgalanmaları azaltır.
• Pota Yükleme Optimizasyonu: Malzememiz, toz yöntemleriyle karşılaştırıldığında 8 inçlik potalar için yükleme kapasitesinde 2 kg'dan fazla artış sağlar. Bu, döngü başına daha uzun külçelerin büyümesine olanak tanıyarak, üretim sonrası verim oranını doğrudan %100'e doğru artırır.

1. Teknik Özellikler

Karşılaştırma: Geleneksel Toz ve VETEK CVD Dökme