Alüminyum Nitrür (AlN) Seramik Elektrostatik Ayna

1.Avantajları

• Verimli ısı transferi ve sıcaklık eşitliği için ~180 W/m·K'ye kadar termal iletkenliğe sahip yüksek saflıkta AlN seramik

• 1–3 kV'de kararlı kenetlemeyi destekleyen güçlü elektrik yalıtımı ve yüksek hacim direnci (daha yüksek voltajlar mevcuttur)

• Özel dielektrik katman malzemeleri ve elektrot düzenleri: Coulomb veya Johnsen-Rahbek (JR); tek veya çok bölgeli

• Tipik olarak 0,1 saniyenin altında hızlı kelepçeleme ve kelepçeyi çözme performansı

• ~300 mikron çapa kadar yüzey çukurlu mikroyapılar, temas alanını ~%1'e kadar azaltır

• Yüksek düzlük yeteneği; 300 mm sınıfı platformlar için 0,5–3 μm PV düzeyinde tipik küresel düzlük

• Proses ortamları için sıfıra yakın su emme ve iyi kimyasal dirence sahip yoğun mikro yapı

2.Tipik Uygulamalar

Alüminyum Nitrür Seramik Elektrostatik Aynalar, hem güvenli levha tutma hem de kontrollü termal davranış gerektiren proses adımlarında kullanılır:

• Kuru plazma aşındırma (ICP/RIE) ve ilgili hazne işlemleri

• CVD, PEALD, termal ALD ve diğer ince film biriktirme aşamaları

• Eşit plaka sıcaklığı gerektiren tavlama ve termal işlem modülleri

• Düşük parçacık ve stabil bağlamanın kritik olduğu denetim, metroloji ve hassas aşamalar

3.AlN Malzeme Sınıfları – Tipik Özellikler

VeTek, ESC tasarımlarında termal iletkenliği, mekanik gücü ve maliyeti dengelemek için birden fazla Alüminyum Nitrür kalitesi sunar:

Birimler: W/(m·K) cinsinden ısıl iletkenlik; kV/mm cinsinden dielektrik dayanımı; Ω·cm cinsinden hacim direnci (25 °C); 1 MHz'de dielektrik sabiti. Değerler tipiktir ve prosese ve parça geometrisine göre değişebilir.

4.Tipik ESC Tasarım Parametreleri

5.Neden ÇooookVeTek AlN Elektrostatik Aynalar mı?

VeTek Semiconductor, hem termal performansa hem de güvenilir kelepçelemeye ihtiyaç duyan yarı iletken müşterileri için gelişmiş AlN seramiklerini hassas ESC üretimiyle birleştirir:

• Proses termal bütçelerine uyum sağlamak için ~90 ila ~180 W/m·K arası termal iletkenliğe sahip birden fazla AlN sınıfı

• Coulomb veya JR kenetleme davranışı için esnek elektrot ve dielektrik tasarımı

• Düzlüğün, yüzey mikro yapısının ve elektrik yalıtım performansının sıkı kontrolü

• Tam yaşam döngüsü desteği: tasarım, yeni yapı ve çok düzeyli yenileme

VeTek Alüminyum Nitrür Seramik Elektrostatik Aynalar, eşit plaka sıcaklığına ve temiz, tekrarlanabilir bağlamaya bağlı olan dağlama, biriktirme ve termal aletler için, uygulama odaklı mühendislik desteğiyle desteklenen yüksek performanslı bir seramik platform sağlar.