TAC kaplama nedir? - Vetek Yarıiletken

TAC kaplama (Tantal karbür kaplama) kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi ile üretilen yüksek performanslı bir kaplama malzemesidir. TAC kaplamanın aşırı koşullar altında mükemmel özellikleri nedeniyle, yarı iletken üretim işleminde, özellikle yüksek sıcaklık ve güçlü korozif ortam gerektiren ekipman ve bileşenlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. TAC kaplama genellikle substratları (grafit veya seramik gibi) yüksek sıcaklık, aşındırıcı gazlar ve mekanik aşınma ile korumak için kullanılır.

TAC kaplamanın fiziksel özellikleri

Ürün özellikleri ve avantajlar

● Son derece yüksek termal stabilite:

Özellik Tanımı: TAC kaplama 3880 ° C'den fazla bir erime noktasına sahiptir ve son derece yüksek sıcaklık ortamında ayrışma veya deformasyon olmadan stabiliteyi koruyabilir.

Avantaj: Bu, özellikle Aixtron G5 ekipmanı gibi MOCVD reaktörlerindeki uygulamalar için CVD TAC kaplama ve TAC kaplı suyurucu gibi yüksek sıcaklık yarı iletken ekipmanlarında vazgeçilmez bir malzeme haline getirir.

● Mükemmel korozyon direnci:

Özellik Tanımı: TAC, son derece güçlü kimyasal inertliğe sahiptir ve klorürler ve florürler gibi aşındırıcı gazların erozyonuna etkili bir şekilde direnebilir.

Avantajlar: Yüksek aşındırıcı kimyasalları içeren yarı iletken işlemlerde TAC kaplama, ekipman bileşenlerini kimyasal saldırıdan korur, hizmet ömrünü uzatır ve özellikle silikon karbür gofret teknesi ve diğer anahtar bileşenlerin uygulanmasında süreç stabilitesini geliştirir.

● Mükemmel mekanik sertlik:

Özellik Tanımı: TAC kaplamanın sertliği 9-10 Mohs kadar yüksektir, bu da mekanik aşınmaya ve yüksek sıcaklık stresine dirençli hale getirir.

Avantaj: Yüksek sertlik özelliği, TAC kaplamasını özellikle yüksek aşınma ve yüksek stresli ortamlarda kullanım için uygun hale getirerek, sert koşullar altında ekipmanın uzun süreli stabilitesini ve güvenilirliğini sağlar.

● Düşük kimyasal reaktivite:

Özellik Tanımı: Kimyasal inertliği nedeniyle TAC kaplama, yüksek sıcaklık ortamlarında düşük reaktiviteyi koruyabilir ve reaktif gazlarla gereksiz kimyasal reaksiyonlardan kaçınabilir.

Avantaj: Bu özellikle yarı iletken üretim sürecinde önemlidir, çünkü işlem ortamının saflığını ve malzemelerin yüksek kaliteli birikmesini sağlar.

Yarıiletken işlemede TAC kaplamanın rolü

● Anahtar ekipman bileşenlerini koruma:

Fonksiyon Açıklaması: TAC kaplama, aşırı koşullar altında çalışması gereken TAC kaplı duyucu gibi yarı iletken üretim ekipmanının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. TAC ile kaplama yaparak, bu bileşenler yüksek sıcaklık ve aşındırıcı gaz ortamlarında uzun süre hasar görmeden çalışabilir.

● Ekipman ömrünü uzatın:

Fonksiyon Açıklaması: Aixtron G5 gibi MOCVD ekipmanlarında, TAC kaplama ekipman bileşenlerinin dayanıklılığını önemli ölçüde artırabilir ve korozyon ve aşınma nedeniyle ekipman bakımı ve değiştirme ihtiyacını azaltabilir.

● Süreç istikrarını geliştirin:

Fonksiyon Açıklaması: Yarı iletken üretiminde, TAC kaplama, kararlı bir yüksek sıcaklık ve kimyasal ortam sağlayarak birikme işleminin tekdüzeliğini ve tutarlılığını sağlar. Bu özellikle silikon epitaksi ve galyum nitrür (GAN) gibi epitaksiyal büyüme süreçlerinde önemlidir.

● Süreç verimliliğini artırın:

Fonksiyon Açıklaması: TAC kaplama, ekipmanın yüzeyindeki kaplamayı optimize ederek işlemin genel verimliliğini artırabilir, kusur oranını azaltabilir ve ürün verimini artırabilir. Bu, yüksek hassasiyetli, yüksek saflıkta yarı iletken malzemelerin üretimi için kritiktir.

Yarı iletken işleme sırasında TAC kaplamanın sergilediği yüksek termal stabilite, mükemmel korozyon direnci, mekanik sertlik ve düşük kimyasal reaktivite, yarı iletken üretim ekipmanı bileşenlerini korumak için ideal bir seçim haline getirir. Yarı iletken endüstrisinin yüksek sıcaklık, yüksek saflık ve verimli üretim süreçlerine olan talebi artmaya devam ettikçe, TAC kaplama, özellikle CVD TAC kaplama, TAC kaplamalı sansür ve Aixtron G5 içeren ekipman ve işlemlerde geniş uygulama beklentilerine sahiptir.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd, yarı iletken endüstrisi için gelişmiş kaplama malzemelerinin lider sağlayıcısıdır. Şirketimiz endüstri için en yeni çözümler geliştirmeye odaklanıyor.

Ana ürün tekliflerimizCVD silikon karbür (sic) kaplamalar, Tantal karbür (TAC) kaplamalar, toplu sic, sic tozları ve yüksek saflıkta sic malzemeleri, sic kaplı grafit suyunu, ön ısıtma halkaları, TAC kaplı saptırma halkası, yarımmoon parçaları, vb., Saflık 5ppm'nin altındadır, müşteri gereksinimlerini karşılayabilir.

Vetek yarı iletken, yarı iletken endüstrisi için en yeni teknoloji ve ürün geliştirme çözümleri geliştirmeye odaklanmaktadır.Çin'de uzun vadeli partneriniz olmayı içtenlikle umuyoruz.