EPI Alıcı Parçaları

Genel ürün bilgileri

Ürün iş şartları

✔ Başvuru: SiC epitaksiyel proseslerde üstün performans ve verim arayışında olan Veteksemicon EPI Susceptor, mükemmel termal stabilite ve tekdüzelik sağlayarak, güç ve RF cihazlarının performansını artırmak ve genel maliyetleri azaltmak için önemli bir destek haline gelir.

✔ Sağlanabilecek hizmetler: müşteri uygulama senaryo analizi, materyallerin eşleştirilmesi, teknik problem çözümü. 

✔ Şirket Profili：Veteksemicon'un 2 laboratuvarı, 20 yıllık malzeme tecrübesine sahip, Ar-Ge ve üretim, test ve doğrulama yeteneklerine sahip uzman bir ekibi bulunmaktadır.

Rakibim EPI Yüklenici Parçası'nın temel avantajları

1. Nihai bütünlüğü sağlayın

Silisyum karbür epitaksiyel işlemlerde, mikron seviyesindeki kalınlık dalgalanmaları ve katkılama homojensizlikleri bile nihai cihazın performansını ve verimini doğrudan etkiler. Veteksemicon EPI Susceptor, hassas termodinamik simülasyon ve yapısal tasarım sayesinde reaksiyon odası içerisinde optimum termal alan dağılımına ulaşır. Benzersiz bir yüzey işleme süreciyle birleştirilmiş yüksek termal iletkenliğe sahip alt tabaka seçimimiz, levha yüzeyindeki herhangi bir noktadaki sıcaklık farklılıklarının, yüksek hızlı dönüş ve yüksek sıcaklık ortamlarında bile son derece küçük bir aralıkta kontrol edilmesini sağlar. Bunun getirdiği doğrudan değer, yüksek performanslı, son derece tutarlı güç yongaları üretimi için sağlam bir temel oluşturan, mükemmel bir homojenliğe sahip, yüksek oranda tekrarlanabilir, partiden partiye epitaksiyel katmandır.

2. Yüksek sıcaklıkların yarattığı zorluklara direnmek

SiC epitaksiyel işlemleri tipik olarak 1500°C'yi aşan sıcaklıklarda uzun süreli çalışma gerektirir ve bu da herhangi bir malzeme için ciddi bir zorluk teşkil eder. Veteksemicon Susceptor, yüksek sıcaklıkta bükülme mukavemeti ve sürünme direnci sıradan grafitinkini çok aşan, özel olarak işlenmiş izostatik olarak preslenmiş grafit kullanır. Yüzlerce saat süren sürekli yüksek sıcaklıkta termal döngüden sonra bile ürünümüz başlangıç ​​geometrisini ve mekanik gücünü koruyarak levha deformasyonu, kayma veya tepsi deformasyonunun neden olduğu proses boşluğu kontaminasyonu risklerini etkili bir şekilde önleyerek üretim faaliyetlerinin sürekliliğini ve güvenliğini temel olarak sağlar.

3. Süreç kararlılığını en üst düzeye çıkarın

Üretim kesintileri ve plansız bakım, levha üretiminde en büyük maliyet öldürücüdür. Veteksemicon, süreç istikrarını Susceptor için temel bir ölçüt olarak görüyor. Patentli CVD SiC kaplamamız yoğundur, gözeneksizdir ve ayna benzeri pürüzsüz bir yüzeye sahiptir. Bu, yalnızca yüksek sıcaklıktaki hava akışı altında parçacık dökülmesini önemli ölçüde azaltmakla kalmaz, aynı zamanda reaksiyon yan ürünlerinin (polikristalin SiC gibi) tepsi yüzeyine yapışmasını da önemli ölçüde yavaşlatır. Bu, reaksiyon odanızın daha uzun süre temiz kalabileceği, düzenli temizlik ve bakım arasındaki aralıkların uzatılabileceği ve böylece genel ekipman kullanımı ve veriminin iyileştirilebileceği anlamına gelir.

4. Servis ömrünü uzatın

Sarf malzemesi bir bileşen olarak, tutucuların değiştirilme sıklığı, üretim işletme maliyetlerini doğrudan etkiler. Veteksemicon, "yüzey optimizasyonu" ve "kaplama geliştirme" olmak üzere ikili teknolojik yaklaşımla ürün ömrünü uzatır. Yüksek yoğunluklu, düşük gözenekli bir grafit alt tabaka, proses gazlarının alt tabakaya nüfuz etmesini ve korozyonunu etkili bir şekilde yavaşlatır; Aynı zamanda kalın ve tekdüze SiC kaplamamız, yüksek sıcaklıklarda süblimleşmeyi önemli ölçüde bastıran sağlam bir bariyer görevi görür. Gerçek dünya testleri, aynı proses koşulları altında Veteksemicon suseptörlerinin daha yavaş bir performans bozulma oranı ve daha uzun etkili hizmet ömrü sergilediğini ve bunun da levha başına daha düşük işletme maliyetlerine yol açtığını göstermektedir.

5. Ekolojik zincir doğrulama onayı

Rakibim EPI Susceptor Part'ın ekolojik zincir doğrulaması, hammaddelerden üretime kadar olan süreci kapsar, uluslararası standart sertifikasını geçmiştir ve yarı iletken ve yeni enerji alanlarında güvenilirliğini ve sürdürülebilirliğini sağlamak için bir dizi patentli teknolojiye sahiptir.

Ayrıntılı teknik spesifikasyonlar, teknik incelemeler veya örnek test düzenlemeleri için lütfen Teknik Destek Ekibimizle iletişime geçerek Veteksemicon'un proses verimliliğinizi nasıl artırabileceğini keşfedin.

Ana uygulama alanları

Rakibim ürünleri deposu