Camsı karbon potası

1. Malzeme Özellikleri: Graphited Glassy Karbon, Performans her açıdan geleneksel malzemeleri aşar

Veteksemicon'un camsı karbon potası, gelişmiş yüksek sıcaklık sinterleme teknolojisini benimser ve polimer öncüsü, inert bir gaz ortamında 3000 ° C'de işlenir. Hem cam yoğunluğuna hem de seramiklerin yüksek sıcaklık direncine sahiptir.Temel avantajlar arasında:

✔ Ultra yüksek saflık: Kafa içeriği, yarı iletken dereceli malzemelerin ihtiyaçlarını karşılayan 2ppm'den (alüminyum ve demir gibi metal safsızlıklar gibi) daha azdır.

✔ Aşırı sıcaklık direnci: Vakum veya inert gazda 3000 ° C'ye kadar kullanılabilir ve sıcaklık artışı ile mukavemet artar (2400 ° C'deki mukavemet normal sıcaklığın iki katıdır).

✔ Sıfır gözeneklilik ve anti-geçerlilik: Açık gözenekler yoktur ve gaz geçirgenlik katsayısı 10⁻⁹ cm²/s kadar düşüktür, bu da erimiş metalin oksidasyonunu veya kontaminasyonunu önleyebilir.

✔ Mükemmel elektrik ve termal iletkenlik: Termal iletkenlik 6.3 w/(m · k), direnç 45μΩ · m, yüksek frekanslı indüksiyon ısıtma işlemi için uygundur.

✔ Kimyasal korozyon direnci: Güçlü asit, güçlü alkali ve erimiş tuz korozyonuna dirençli, parçacık dökülmesinde, yarı iletken üretiminin temizliğini sağlıyor.

2. Yarıiletken işlemede temel uygulama senaryoları

Veteksemicon'un camsı karbon pota ürünleri, genellikle aşağıdakiler dahil olmak üzere yarı iletken üretimdeki tüm işlemin temel bağlantılarını kapsar:

1) Tek kristal silikon büyümesi:

SIC kristal büyüme fırını için kullanılan yalıtım kaplaması, termal alan stabilitesini iyileştirme ve enerji tüketimini%20 azaltma.

Yüksek saflık özellikleri silikon eriyik kontaminasyonundan kaçınır ve kafes kusurlarını azaltır.

2) İyon implantasyonu ve dağlama işlemi:

Plazma aşındırma sistemi için bir elektrot ve gaz difüzörü olarak, homojen deşarj ve işlem tutarlılığı sağlar.

Anti-iyon bombardıman özellikleri ekipman ömrünü uzatır.

3) Metalleştirme ve alaşım eritme:

Erimiş altın, paladyum ve titanyum alaşımları için ideal kap, ıslanmayan yüzey malzeme kaybını azaltır.

Oldukça aktif nadir metallerin (galyum ve indiyum gibi) saflaştırılması ve kalıplanması için uygundur.

Uyarı: Cam karbon holdetleri, krom-kobalt-molibden alaşımlarını eritmek için kullanılamaz. Benzer şekilde, silikon veya tungsten gibi herhangi bir karbürü eritmek için kullanılamazlar.

4) Gelişmiş ambalaj ve test:

Bir gofret transfer taşıyıcısı (kukla gofret) ve ısı reflektörü olarak, yüksek sıcaklık süreçlerinin stabilitesini sağlar.

3. Kurumsal Üretim Gücü: Büyük Ölçekli Üretim ve Teknolojik Yenilik

Çin'in önde gelen cam karbon hammaddesi tedarikçisi olarak Veteksemicon'un aşağıdaki temel avantajları var:

✔ Tam süreli bağımsız üretim

Hammadde polimerizasyondan yüksek sıcaklık sinterlemeye kadar, toplu tutarlılık sağlamak için tüm işlem kontrol edilebilir.

Kütle üretim kapasitesi, 5μm düzeyinde ultra ince kaplamaları büyük haçlara kapsar (çap 132mm, yükseklik 273mm spesifikasyonlar).

✔ Özelleştirilmiş işleme özellikleri

± 0.2 mm'lik bir tolerans doğruluğuna sahip standart olmayan boyutta özelleştirmeyi (özel şekilli hükmü, tüpler, filmler gibi) destekler.

✔ Technology R&D reserves

Nano camsı karbon (3GPA'ya kadar güç) geliştirmek ve minyatürleştirilmiş yarı iletken ekipman uygulamasını genişletmek için Çin Bilimler Akademisi Bilimsel Araştırma Kurumları ile işbirliği yapın.

Malzemelerin sınır ötesi inovasyonunu teşvik etmek için yakıt hücresi bipolar plakaları ve havacılık kuyruk nozulları gibi ortaya çıkan alanları yerleştirin.