Gözenekli sic seramik plaka

Gözenekli SIC seramik plakası,silikon karbürana bileşen olarak ve özel bir sinterleme işlemi ile birleştirildi. Gözenekliliği ayarlanabilir (genellikle%30-70), gözenek boyutu dağılımı düzgün, mükemmel yüksek sıcaklık direncine, kimyasal stabiliteye ve mükemmel gaz geçirgenliğine sahiptir ve yarı iletken üretiminde, kimyasal buhar birikiminde (CVD), yüksek sıcaklık gaz filtrasyonu ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Gözenekli SIC seramik plakası hakkında daha fazla bilgi için lütfen bu bloga göz atın.

Gözenekli sic seramik diskMükemmel fiziksel özellikler

● Aşırı yüksek sıcaklık direnci:

SIC seramiklerinin erime noktası 2700 ° C'ye kadar yüksektir ve yine de, özellikle yarı iletken yüksek sıcaklık işlemleri için uygun olan geleneksel alümina seramiklerini (yaklaşık 2000 ° C) aşan 1600 ° C'nin üzerinde yapısal stabiliteyi koruyabilir.

● Mükemmel termal yönetim performansı:

✔ Yüksek termal iletkenlik: Yoğun SIC'nin termal iletkenliği yaklaşık 120 w/(m · k). Gözenekli yapı termal iletkenliği biraz azaltmasına rağmen, hala çoğu seramikten önemli ölçüde daha iyidir ve verimli ısı dağılmasını destekler.

✔ Düşük termal genleşme katsayısı (4.0 × 10⁻⁶/° C): Termal stresin neden olduğu cihaz arızasından kaçınarak yüksek sıcaklıkta neredeyse hiç deformasyon yok.

● Mükemmel kimyasal stabilite

Asit ve alkali korozyon direnci (özellikle HF ortamında olağanüstü), gravür ve temizlik gibi sert ortamlar için uygun yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.

● Olağanüstü mekanik özellikler

✔ Yüksek sertlik (Mohs sertliği 9.2, sadece elmastan ikinci), güçlü aşınma direnci.

✔ Bükme mukavemeti 300-400 MPa'ya ulaşabilir ve gözenek yapısı tasarımı hem hafif hem de mekanik mukavemeti dikkate alır.

● İşlevselleştirilmiş gözenekli yapı

✔ Yüksek spesifik yüzey alanı: Reaksiyon gaz dağıtım plakası olarak uygun gaz difüzyon verimliliğini artırın.

✔ Kontrol edilebilir gözeneklilik: CVD işleminde muntazam film oluşumu gibi sıvı penetrasyonunu ve filtrasyon performansını optimize edin.

Yarıiletken üretiminde özel rol

● Yüksek sıcaklık işlemi desteği ve ısı yalıtımı

Bir gofret destek plakası olarak, metal kontaminasyonunu önlemek için difüzyon fırınları ve tavlama fırınları gibi yüksek sıcaklık ekipmanlarında (> 1200 ° C) kullanılır.

Gözenekli yapı, ısı kaybını azaltarak hem yalıtım hem de destek fonksiyonlarına sahiptir.

● Tek tip gaz dağılımı ve reaksiyon kontrolü

Kimyasal buhar birikimi (CVD) ekipmanında, bir gaz dağılım plakası olarak gözenekler, ince film birikiminin homojenliğini artırmak için reaktif gazları (SIH₄, NH₃ gibi) eşit olarak taşımak için kullanılır.

Kuru aşındırmada, gözenekli yapı plazma dağılımını optimize eder ve dağlama doğruluğunu geliştirir.

● Elektrostatik Chuck (ESC) çekirdek bileşenleri

Gözenekli SIC, mikroporlar aracılığıyla vakum adsorpsiyonunu sağlayan, gofreti doğru bir şekilde sabitleyen ve plazma bombardımanına dirençli ve uzun bir servis ömrüne sahip olan elektrostatik chuck substratı olarak kullanılır.

● Korozyona dayanıklı bileşenler

Islak aşındırma ve temizleme ekipmanlarının boşluk astarı için kullanılır, güçlü asitler (H₂so₄, HNO₃ gibi) ve güçlü alkaliler (KOH gibi) ile korozyona direnir.

● Termal alan tekdüzelik kontrolü

Tek kristal silikon büyüme fırınlarında (czochralski yöntemi gibi), bir ısı kalkan veya destek olarak, yüksek termal stabilitesi, muntazam termal alanları korumak ve kafes kusurlarını azaltmak için kullanılır.

● Filtrasyon ve saflaştırma

Gözenekli yapı, partikül kirletici maddeleri kesebilir ve işlem temizliğini sağlamak için ultra saf gaz/sıvı dağıtım sistemlerinde kullanılır.

Geleneksel malzemelere göre avantajlar