Gözenekli Tantal Karbür (TaC) Kaplamalı Grafit Halka

Ürün Özellikleri

• Çekirdek Ekipman:PVT teknolojisiyle çalışan SiC tek kristal büyütme fırınları için tasarlanmıştır.
• Birincil Uygulama:Üçüncü nesil yarı iletken SiC kristal büyümesinde termal alan sistemleri için uygundur.
• Yüksek Sıcaklık Kararlılığı:TaC kaplama, ultra yüksek sıcaklıklarda yapısal bütünlüğü koruyarak zorlu termal ortamlarda uzun süreli çalışmayı destekler.
• Korozyon Koruması:Yoğun CVD TaC katmanı, grafit alt katmanını silikon buharından, karbon içeren gazlardan ve SiC büyümesi sırasında karşılaşılan diğer aşındırıcı türlerden korur.
• Termal Alan Performansı:Gözenekli grafit taban, ısı dağıtımına ve buhar taşınmasına yardımcı olarak istikrarlı büyüme koşullarının korunmasına yardımcı olur.
• Düşük Kirlilik:Yüksek saflıkta başlangıç ​​malzemeleri ve yoğun kaplama, safsızlık salınımını ve parçacık dökülmesini sınırlayarak kristal kalitesinden yararlanır.
• Uzatılmış Kullanım Ömrü:TaC katmanı oksidasyon direncini, yüzey sertliğini ve yüksek sıcaklıklarda genel dayanıklılığı artırır.
• Kaplama Yapışma:CVD işlemi, TaC filmi ile grafit substrat arasında güçlü bir bağ sağlar.
• Özel Seçenekler:Boyutlar, yapısal detaylar ve kaplama özellikleri, farklı SiC büyütme fırını gereksinimlerine uyacak şekilde ayarlanabilir.

Teknik Özellikler

Uygulamalar

VETEK Gözenekli TaC Kaplamalı Grafit Halka öncelikle aşağıdaki alanlarda kullanılır:

• PVT yoluyla SiC tek kristal büyümesi
• Üçüncü nesil yarı iletken üretimi
• SiC substrat üretimi
• Kristal büyütme fırınlarında termal alan sistemleri
• Yüksek sıcaklıkta yarı iletken işleme
• Gelişmiş grafit sıcak bölge bileşenleri

SSS

1. Gözenekli TaC Kaplamalı Grafit Halka Nedir?

SiC kristal büyütme fırınları için bir termal alan bileşenidir. Termal yönetim ve yüksek sıcaklıkta korozyona karşı koruma sağlamak için gözenekli bir grafit yapıyı CVD TaC kaplamayla birleştirir.

2. SiC kristal büyümesi için neden TaC kaplama kullanılmalı?

TaC, yüksek sıcaklıkta stabilite ve kimyasal direnç sağlar. Grafiti silikon buharının saldırısından korur ve temiz, istikrarlı bir büyüme ortamının korunmasına yardımcı olur.

3. Gözenekli grafit yapı neler sunuyor?

Gözenekli tasarım, fırın içindeki termal dağıtımı ve gaz taşınmasını destekler ve bu da stabil SiC kristal büyüme koşullarına katkıda bulunur.

4. VETEK özelleştirilmiş TaC kaplı grafit halkalar üretebilir mi?

Evet. VETEK, müşteri çizimlerine, fırın tasarımlarına ve boyutlar, alt tabaka konfigürasyonu ve kaplama parametreleri dahil olmak üzere proses ihtiyaçlarına göre özelleştirme sunar.