Gözenekli tantal karbür

Vetek yarı iletken gözenekli tantal karbür (TAC), tantal ve karbonun özelliklerini birleştiren yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Gözenekli yapısı, yüksek sıcaklık ve aşırı ortamlardaki belirli uygulamalar için çok uygundur. TAC, mükemmel sertliği, termal stabiliteyi ve kimyasal direnci birleştirir ve yarı iletken işlemede ideal bir malzeme seçimi yapar.

Gözenekli tantal karbür (TAC), tantalumun karbon atomları ile güçlü bir kimyasal bağ oluşturduğu, malzemeye son derece yüksek dayanıklılık ve aşınma direnci sağladığı tantal (TA) ve karbondan (C) oluşur. Gözenekli TAC'nin gözenekli yapısı, malzemenin üretim işlemi sırasında oluşturulur ve gözeneklilik belirli uygulama ihtiyaçlarına göre kontrol edilebilir. Bu ürün genellikle tarafından üretilirKimyasal buhar birikimi (CVD)Gözenek boyutunun ve dağılımının kesin kontrolünü sağlayan yöntem.

Tantal karbürün moleküler yapısı

Vetek Semiconductor Gözenekli Tantalum Karbür (TAC) aşağıdaki ürün özelliklerine sahiptir

● Gözeneklilik: Gözenekli yapı, gaz difüzyonu, filtreleme veya kontrollü ısı dağılımı dahil olmak üzere belirli uygulama senaryolarında farklı işlevler sunar.

● Yüksek erime noktası: Tantal karbür, son derece yüksek sıcaklık ortamları için uygun olan yaklaşık 3.880 ° C'lik son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir.

● Mükemmel sertlik: Gözenekli TAC, Diamond'a benzer şekilde Mohs Sertlik ölçeğinde yaklaşık 9-10 oranında son derece yüksek bir sertliğe sahiptir. ve aşırı koşullar altında mekanik aşınmaya direnebilir.

● Termal stabilite: Tantal karbür (TAC) malzemesi, yüksek sıcaklık ortamlarında stabil kalabilir ve güçlü termal stabiliteye sahiptir ve yüksek sıcaklık ortamlarında tutarlı performansını sağlar.

● Yüksek termal iletkenlik: Gözenekliliğine rağmen, gözenekli tantal karbür hala iyi termal iletkenliği korur ve verimli ısı transferi sağlar.

● Düşük termal genleşme katsayısı: Tantalum karbürün (TAC) düşük termal genleşme katsayısı, malzemenin önemli sıcaklık dalgalanmaları altında boyutsal olarak stabil kalmasına yardımcı olur ve termal stresin etkisini azaltır.

TAC kaplamanın fiziksel özellikleri

Yarıiletken üretiminde, gözenekli tantal karbür (TAC) aşağıdaki özel anahtar rolü oynars

Gibi yüksek sıcaklık süreçlerindeplazma gravürüVe CVD, Vetek yarı iletken gözenekli tantal karbür, genellikle işleme ekipmanı için koruyucu bir kaplama olarak kullanılır. Bu, güçlü korozyon direncinden kaynaklanmaktadır.Tac kaplamave yüksek sıcaklık stabilitesi. Bu özellikler, reaktif gazlara veya aşırı sıcaklıklara maruz kalan yüzeyleri etkili bir şekilde korumasını sağlar, böylece yüksek sıcaklık süreçlerinin normal reaksiyonunu sağlar.

Difüzyon süreçlerinde, gözenekli tantal karbür, yüksek sıcaklık işlemlerinde malzemelerin karıştırılmasını önlemek için etkili bir difüzyon bariyeri görevi görebilir. Bu özellik genellikle iyon implantasyonu ve yarı iletken gofretlerin saflık kontrolü gibi işlemlerde dopanların difüzyonunu kontrol etmek için kullanılır.

Vetek yarı iletken gözenekli tantal karbürün gözenekli yapısı, hassas gaz akışı kontrolü veya filtrasyonu gerektiren yarı iletken işleme ortamları için çok uygundur. Bu süreçte, gözenekli TAC esas olarak gaz filtrasyonu ve dağılımının rolünü oynar. Kimyasal eylemsizliği, filtrasyon işlemi sırasında hiçbir kirletici maddenin getirilmemesini sağlar. Bu, işlenen ürünün saflığını etkili bir şekilde garanti eder.

Mikroskobik bir kesit üzerinde tantal karbür (TAC) kaplama